





| Projekt    | Sisaldus  | 
| Toode tüüp  | 6", 8", 12" raam wafer  | 
| 2D kontrollering elemendid  | Võõrand, jääkvihne, osatükid, kraadid, reviidid, saaste, CP hälve, üleliigne pindala jne  Lõigu kanali hälve ja tiputamine | 
| Lõikamisjoone kontrolleringud  | 6", 8", 12" kaadris kasett  | 
| Linss ja resolutsioon  | 2x(2,75 µm) / 3,5x(1,57 µm) /  5x(1,1 µm) / 7,5x(0,73 µm) / 10x(0,55 µm) | 
| Täpsus  | 0,55 µm/pikseline  | 
| Valikuline ja kohandatud  | INK moodul, IR moodul  | 







Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud