

projekt |
Spetsifikatsioonid |
märkmed |
||
1 |
Seadme ülevaade |
Varustuse nimi: Täiesti automaatne ühtlane kliidi arendusmasin |
||
Varustuse mudel: MD-2C2D6 |
||||
Protsessitud plaadite spetsifikatsioonid: sobivad 4/6-tollsete standardplaadidega |
||||
Ühtlase kliidi protsess: Korgjooneline lõigamine → keskpunktiks viimine → ühtlane kliit (pilgutamine → ühtlane kliit → äärde eemaldamine, tagasi puhastamine ) → soojne plaat → külm plaat → korgjoone asetamine Arendusprotsess: Korgjooneline lõigamine → keskpunktiks viimine → arendamine (arendusrasv → deioniiseeritud vesi, tagasi puhastamine → nikselduva kuiva) → soojne plaat → külm plaat → korgjoone asetamine |
||||
Terviklik suurus (umbes): 2100mm (L) * 1800mm (P) * 2100mm (K) |
||||
Keemiliste kaubade kasti suurus (umbes): 1700(L) * 800(P) * 1600mm (K) |
||||
Kokku kaal (umbes): 1000kg |
||||
Töölaud kõrgus: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Kasettiüksus |
Kogus: 2 |
||
Vastuvõetav suurus: 4/6 tolli |
||||
Kassettade tuvastamine: mikroklahvi tuvastamine |
||||
Välja tõstmise tuvastamine: Jah, peegelsensor |
||||
3 |
robot |
Kogus: 1 |
||
Tüüp: Kaks kaela vakuumabsorptsiooniroobot |
||||
Vabadusastmed: 4-axel (R1, R2, Z, T) |
||||
Sõrme materjal: keramik |
||||
Aluse kitsendusmeetod: vakuumabsorptsioonimeetod |
||||
Kaardistusfunktsioon: Jah |
||||
Positsioneerimise täpsus: ± 0,1mm |
||||
4 |
Kesetamineüksus |
Kogus: 1 Komplekt |
Valikuline optiline joondamine |
|
Joondusmeetod: mehaaniline joondamine |
||||
Kesetamise täpsus: ± 0,2mm |
||||
5 |
Ühtlane liimaühik |
Kogus: 2 komplekti (allpool on iga ühiku konfiguratsioonid) |
||
Tiivne kiirtus: -5000tpm~5000tpm |
kandja idler |
|||
Tiivne pöörlemiskiirus: ± 1tpm (50tpm~5000tpm) |
||||
Tiivne pöörlemiskiiruse minimaalne kohandamine: 1tpm |
||||
Tiivne pöörlemiskiiruse maksimaalne kiirendus: 20000tpm/s |
kandja idler |
|||
Vilgarm: 1 komplekt |
||||
Fotorezistiti tee: 2 teed |
||||
Fotorezisti sõlmestiku läbimõõt: 2.5mm |
||||
Fotorezisti isolatsioon: 23 ± 0,5 ℃ |
valikulised |
|||
Lubrikatsiooni sõlmestik: Jah |
||||
RRC: Jah |
||||
Puhver: Jah, 200ml |
||||
Löögi pannemismeetod: keskpunktse pannemine ja skaneerimispannemine on valikulised |
||||
Äärise eemaldamise kael: 1 komplekt |
||||
Äärise eemaldamise noodeli läbimõõt: 0,2mm |
||||
Äärise eemaldamise vedeliku voolu jälgimine: pliidmõõtur |
||||
Äärise eemaldamise vedeliku voolukulu ulatus: 5-50ml/min |
||||
Tagasiplahvituskanne: 2 viisi (iga 4/6 tolli kanaliga 1 juht) |
||||
Tagasiplahvitusvoolu jälgimine: pliidmõõtur |
||||
Tagasiplahvitusvedeliku voolukulu ulatus: 20-200ml/min |
||||
Põrandapüksimise meetod: väikese ala vakuumse adsorptsioon Chuck |
||||
Vakuumi surve hoiatus: digitaalne vakuumi surve sensor |
||||
Chuck materjal: PPS |
||||
Kupi materjal: PP |
||||
Kupi ventiliator monitor: digitaalne survemeetja |
||||
6 |
Arendusüksus |
Läbipääste:jah |
||
Kogus: 2 komplekti (allpool on iga ühiku konfiguratsioonid) |
||||
Tiivne kiirtus: -5000tpm~5000tpm |
kandja idler |
|||
Tiivne pöörlemiskiirus: ± 1tpm (50tpm~5000tpm) |
||||
Tiivne pöörlemiskiiruse minimaalne kohandamine: 1tpm |
||||
Tiivne pöörlemiskiiruse maksimaalne kiirendus: 20000tpm/s |
kandja idler |
|||
Arenduskiil: 1 komplekt |
||||
Arenduskanne: 2-tee (ventiiliselt/kolmnurkne noozel) |
||||
Arendaja filtratsioon: 0.2um |
||||
Arendaja temperatuuri kontroll: 23 ± 0,5 ℃ |
valikulised |
|||
Arendusvoogi voolusuund: 100~1000ml/min |
||||
Arenduskae liikumisrežiim: fikseeritud punkt või skaneerimine |
||||
Liivkae: 1 komplekt |
||||
Desooniseeritud vee kanal: 1 tsükkel |
||||
Desooniseeritud vee sprajdi läbimõõt: 4mm (sisemõõt) |
||||
Desooniseeritud vee voolusuund: 100~1000ml/min |
||||
Nitrogeeni kuivamiskanal: 1 tsükkel |
||||
Nitrogeeni sprajdi läbimõõt: 4mm (sisemõõt) |
||||
Nitrogeeni voolusuund: 5-50L/min |
||||
Arendaja, destileeritud vesi, süsinikvahe jälgimine: pliiatsliikmete sularulet |
||||
Tagasiplahvituskanne: 2 viisi (iga 4/6 tolli kanaliga 1 juht) |
||||
Tagasiplahvitusvoolu jälgimine: pliidmõõtur |
||||
Tagasiplahvitusvedeliku voolukulu ulatus: 20-200ml/min |
||||
Põrandapüksimise meetod: väikese ala vakuumse adsorptsioon Chuck |
||||
Vakuumi surve hoiatus: digitaalne vakuumi surve sensor |
||||
Chuck materjal: PPS |
||||
Chuck materjal: PPS |
||||
Kupi materjal: PP |
||||
Kupi ventiliator monitor: digitaalne survemeetja |
||||
7 |
Liimiv liides |
Kogus: 2 |
valikulised |
|
Temperatuuriba: tuba temperatuur~180 ℃ |
||||
Temperatuuri ühtsus: Tuba temperatuur~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Eemalda 10mm äärist, välja arvatud võrkpinna nõlgnahk) |
||||
Vähim kohandusmäär: 0.1 ° C |
||||
Temperatuuri juhtimismeetod: PID kohandamine |
||||
PIN kõrguse vahemik: 0-20mm |
||||
PIN materjal: SUS304 keha, PIN pinna PI |
||||
Pakutud tühimik: 0,2mm |
||||
Ületemperatuuri hoiatus: positiivne ja negatiivne hälve hoiatus |
||||
Toimetamismeetod: Puhkimine, 10 ± 2ml/min |
||||
Tuba töötamine vakuumis: -5-20KPa |
||||
8 |
Soojusplaatüksus |
Kogus: 10 |
||
Temperatuuriba: ruumtemperatuur~250 ℃ |
||||
Temperatuuri ühtsus: Tuba temperatuur~120 ℃± 0.75 ℃ 120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ 180,1℃~250℃ ±2,0℃ (Eemalda 10mm äärist, välja arvatud võrkpinna nõlgnahk) |
||||
Vähim muutmistäht: 0,1 ℃ |
||||
Temperatuuri juhtimismeetod: PID kohandamine |
||||
PIN kõrguse vahemik: 0-20mm |
||||
PIN materjal: SUS304 keha, PIN pinna PI |
||||
Pakutud tühimik: 0,2mm |
||||
Ületemperatuuri hoiatus: positiivne ja negatiivne hälve hoiatus |
||||
9 |
Külmusplaatüksus |
Kogus: 2 |
||
Temperatuurivahemik: 15-25 ℃ |
||||
Jahutamismeetod: püsiv temperatuuri sirkuleerimispummi jahutamine |
||||
10 |
Keemiliste ainetega toimetulek |
Fotoressi salvestamine: pneumatiline liimipumpp * 4 komplekti (valikuline tank või elektriliimipumpp) |
||
Liimi andmise maht: maksimum 12ml ühes sessioonis, täpsus ± 0.2ml |
||||
Äärise eemaldamine/ tagapoolne pesemine/RRC toimetulek: 18L survitank * 2 (automaatne täitmine) |
||||
Äärise eemaldamise/tagapoolse pesemise/RRC veetase jälgimine: fotoelektriline sensor |
||||
Fotoressi veetase jälgimine: fotoelektriline sensor |
||||
Ühtlaselt liimist lähtestatud jäätise väljastamine: 10L jäätiseta tank |
||||
Areneja toimetulek: 18L survitank * 4 (salvestatud masina välises keemiatarmis kabinetis) |
||||
Destilleeritud vesi: tootja otsene pakkumine |
||||
Areneva vedeliku tase jälgimine: fotoelektriline sensor |
||||
Areneja jäätmete vabastamine: tootja jäätmete vabastamine |
||||
Tackifieri pakkumine: 10L rööpklaas * 1, 2L rööpklaas * 1 |
||||
Tackifieri tase jälgimine: fotoelektriline sensor |
||||
11 |
juhtimissüsteem |
Juhtimisviis: PLC |
||
Inimmasin liides: 17 tolli kuulus |
||||
Püsivõimsusallikas (UPS): Jah |
||||
Seadistage seadmeoperatsioonide krüpteerimisloovused, tehnikud, administraatorid |
||||
Signaaltorni tüüp: punane, kollane, roheline 3 värvi |
||||
12 |
Süsteemi usaldusväärsuse näitajad |
Üleskäigu aeg: ≥95% |
||
KES: ≥ 500h |
||||
KMTR: ≤ 4h |
||||
KABA: ≥24h |
||||
Murdumisaste: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Muud funktsioonid |
Kollane valgus: 4 komplekti (asukoht: liimimixeri ja arendusüksuse kohal) |
||
THC: Jah, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2% |
valikulised |
|||
FFU: Klasse 100, 5 komplekti (protsessiühik ja ROBOT piirkond) |
||||
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Kõik õigused kaitstud