Hệ thống Etching Ion Phản ứng RIE , China Hệ thống Etching Ion Phản ứng RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Mô tả Sản phẩm

Etching ion phản ứng (RIE)

Etching ion phản ứng (RIE) có thể được sử dụng để chuẩn bị các cấu trúc vi-nano và là một trong những công nghệ quy trình sản xuất bán dẫn. Trong quá trình etching RIE, các hạt hoạt tính khác nhau trong plazma tạo thành các sản phẩm bay hơi với bề mặt của vật liệu. Các sản phẩm này được lấy đi khỏi bề mặt của vật liệu, cuối cùng đạt được việc etching cấu trúc vi mô hướng thẳng đứng trên bề mặt của vật liệu. Dòng sản phẩm máy etching ion phản ứng (RIE) dựa trên công nghệ plasma liên kết điện dung tấm phẳng và phù hợp cho việc etching theo mẫu của các vật liệu silic như silic đơn tinh thể, silic đa tinh thể, nitơ silic (SiNy), oxit silic (SiO), thạch anh (Quartz) và carbua silic (SiC); có thể được sử dụng cho việc etching theo mẫu và bóc lớp vật liệu của các vật liệu hữu cơ như chất kháng quang (PR), PMMAHDMS và các vật liệu khác; có thể được sử dụng cho việc etching vật lý của các vật liệu kim loại như niken (Ni), crôm (Cr) và các vật liệu gốm sứ; có thể được sử dụng cho việc etching vật liệu phosphua indi (InP) ở nhiệt độ phòng. Đối với một số quy trình etching có yêu cầu cao hơn, etching ICP RIE của chúng tôi cũng có thể được sử dụng.

Cấu hình chính:

1. Kích thước mẫu hỗ trợ: 4, 8, 12 inch, tương thích với các mẫu có kích thước nhỏ khác nhau, hỗ trợ tùy chỉnh
2. Phạm vi công suất plasma RF: tùy chọn 300/500/1000 W;
3. Bơm phân tử: tùy chọn 620/1300 //s, có thể chọn bộ bơm chống ăn mòn;
4. Bơm tiền cấp: tùy chọn bơm dầu cơ học/bơm khô;
5. Kiểm soát áp suất: tùy chọn 0 ~1 Torr; cũng có thể chọn cấu hình không chế độ kiểm soát áp suất,
6. Khí quy trình: tối đa 9 khí quy trình có thể được trang bị cùng lúc; nhiệt độ: 10 độ ~ nhiệt độ phòng/-30 độ~ nhiệt độ phòng/dải nhiệt độ tùy chỉnh,
7. Làm mát helium phía sau có thể được cấu hình theo ứng dụng;
8. Lớp lót chống ô nhiễm có thể tháo rời;
9. Tùy chọn Load-lock;
10. Hệ thống điều khiển tự động hoàn toàn bằng một nút bấm;

RIE Các vật liệu áp dụng:

1. Vật liệu dựa trên silic: silic (Si), oxit silic (SiO2), nitrua silic (SiNx), cacbua silic (SiC)
2. Vật liệu III-V: photphua铟 (InP), arsenide gallium (GaAs), nitrua gallium (GaN)
3. Vật liệu II-VI: cadmium telluride (CdTe)
4. Vật liệu từ tính/vật liệu hợp kim
5. Vật liệu kim loại: nhôm (AI), vàng (Au), tungsten (W), titan (Ti), tantalum (Ta)
6. Vật liệu hữu cơ: photoresist (PR), polymer hữu cơ (PMMA/HDMS), org

Ứng dụng liên quan đến RIE:

1. Etching của vật liệu dựa trên silic, mẫu nanoimprint, mẫu mảng và mẫu thấu kính;
2. Etching ở nhiệt độ phòng của indium phosphide (InP), etching có mẫu của thiết bị dựa trên InP trong truyền thông quang học, bao gồm cấu trúc waveguide, cấu trúc khoang cộng hưởng và cấu trúc ridge;
3. Độn SiC, phù hợp cho thiết bị vi sóng, thiết bị điện công suất, v.v.;
4. Độn vật lý bằng xạ tuyến được áp dụng cho một số kim loại nhất định, chẳng hạn như niken (Ni), crôm (Cr), gốm và các vật liệu khác khó độn hóa học, và đạt được độn theo mẫu của vật liệu thông qua va chạm vật lý;
5. Độn vật liệu hữu cơ được áp dụng để độn, làm sạch và loại bỏ vật liệu hữu cơ như photoresist (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polymer;
6. Độn phân tách lớp để phân tích lỗi chip (Failure Analysis-FA);
7. Độn vật liệu hai chiều: W, Mo vật liệu hai chiều, graphene;

Kết quả ứng dụng:

Cấu hình dự án và sơ đồ cấu trúc máy

Mục	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Kích thước sản phẩm	≤6 inch	≤8 inch	≤8 inch
Nguồn điện RF	0-300W/500W/1000W Điều chỉnh được, tự động khớp
Bơm phân tử	-620(L/s)/1300(L/s)/Tùy chỉnh			Kháng khuẩn620(L/s)/1300(L/s)/Tùy chỉnh
Bơm tiền xử lý	Bơm cơ học/bơm khô			Bơm khô
Áp suất quá trình	Áp suất không kiểm soát/0-1Torr áp suất kiểm soát
Loại khí	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Tùy chỉnh (Lên đến 9 kênh, không khí ăn mòn & độc hại)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Lên đến 9 kênh)
Dải khí gas	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/tùy chỉnh
Hệ thống LoadLock	Có\/Không			Có
Kiểm soát nhiệt độ mẫu	10°C~Nhiệt độ phòng/-30°C~100°C/Tùy chỉnh			-30°C~100°C/Tùy chỉnh
Làm mát helium phía sau	Có\/Không			Có
Lining khoang xử lý	Có\/Không			Có
Kiểm soát nhiệt độ tường khoang	Không/Nhiệt độ phòng~60/120°C			Nhiệt độ phòng-60/120°C
Hệ thống điều khiển	Tự động/tùy chỉnh
Vật liệu ăn mòn	Dựa trên silic: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Vật liệu từ tính/hợp kim Vật liệu kim loại: Ni/Cr/Al/Au..... Vật liệu hữu cơ: PR/PMMA/HDMS/Hữu cơ phim......			Dựa trên silic: Si/SiO2/SiNx...... III-V(Chú thích 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (chú thích 3): CdTe...... Vật liệu từ tính/hợp kim Vật liệu kim loại: Ni/Cr/A1/Au...... Vật liệu hữu cơ: PR/PMMA/HDMS/phim hữu cơ...

Ảnh thực tế của phòng thí nghiệm và nhà máy

Đóng gói & Giao hàng

Hồ sơ công ty

Minder-Hightech là đại diện bán hàng và dịch vụ trong lĩnh vực thiết bị công nghiệp sản phẩm bán dẫn và điện tử. Từ năm 2014, công ty cam kết cung cấp cho khách hàng những giải pháp tối ưu, đáng tin cậy và trọn gói về thiết bị máy móc.

Câu hỏi thường gặp

1. Về Giá cả:
Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.

2. Về Mẫu:
Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.

3. Về Thanh toán:
Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.

4. Về Giao hàng:
Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.

5. Lắp đặt và Điều chỉnh:
Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.

6. Về bảo hành:
Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.

Trang chủ

Giới thiệu

MH Equipment

Giải Pháp

Người dùng nước ngoài

Video

Liên hệ với chúng tôi

Hệ thống Etching Ion Phản ứng RIE

Etching ion phản ứng (RIE)

Cấu hình chính:

RIE Các vật liệu áp dụng:

Ứng dụng liên quan đến RIE:

Sản phẩm khác

Máy cuộn điện容器 loạt MD-FS

Máy cuộn điện容器 tự động loạt MD-FDS

Máy cuộn điện容器 loạt MD-EFS

Máy cuộn điện容器 phim loạt MD-EDFS

Truy vấn

Articles

Products

Get In Touch