Máy mài và đánh bóng chính xác cho vật liệu bán dẫn , China Máy mài và đánh bóng chính xác cho vật liệu bán dẫn Manufacturers, Suppliers, Factory - Công ty TNHH Công nghệ Cao Minder Quảng Châu

Mô tả sản phẩm

Thông tin tổng quan về thiết bị:

Máy mài và đánh bóng MDAM-CMP100/150 là thiết bị mài và đánh bóng chính xác, phục vụ các ứng dụng như vật liệu bán dẫn và vật liệu quang-điện. Thiết bị chủ yếu được sử dụng để mài và làm mỏng các chip vật liệu bán dẫn chính như silicon, silicon dioxide (SiO₂) và chip mặt phẳng tiêu cự indium antimonide (InSb), cũng như đánh bóng cơ học hóa học (CMP) ở mặt đáy, mặt trên và mặt đầu. Toàn bộ thiết bị và tất cả các thành phần đều được xử lý chống ăn mòn đầy đủ, và các thông số quy trình có thể được thiết lập thông qua giao diện tương tác màn hình cảm ứng.

Thiết kế khoa học và hợp lý, hiệu năng tiên tiến, mức độ tự động hóa cao, thao tác thuận tiện, bảo trì dễ dàng và độ tin cậy cao; liên kết nền mẫu, mài mỏng, đánh bóng cơ – hóa học, cũng như kết nối giữa các quy trình kiểm tra trước và sau đều được bố trí hợp lý nhằm đảm bảo các kích thước gia công của từng chức năng thiết bị luôn nhất quán. Bằng cách cấu hình các phần cứng và vật tư tiêu hao khác nhau, có thể đạt được nhiều cấu hình máy và giải pháp quy trình để đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật đa dạng của người dùng, chẳng hạn như vật liệu và kích thước khác nhau.

Với sự phát triển nhanh chóng của công nghệ bán dẫn, yêu cầu về hiệu năng và chức năng của mạch tích hợp tiếp tục tăng lên. Công nghệ TSV (Through Silicon Via) và TGV (Through Glass Via), với vai trò là các công nghệ đóng gói và kết nối tiên tiến, có thể cải thiện hiệu quả sự tích hợp và hiệu năng của chip. Thiết bị này có phương án quy trình độc đáo để thực hiện công nghệ TSV/TGV.

Ưu điểm của thiết bị:

* Hệ thống điều khiển cảm ứng độc lập và có thể di chuyển;
* Thực hiện mài và đánh bóng mặt芯片 cũng như chuẩn bị góc đặc biệt;
* Có thể lưu trữ 100 menu quy trình;
* Chức năng phát hiện điểm cuối EPD;
* Có thể nâng cấp tùy chọn lên hệ thống cấp liệu 3 kênh;
* Phù hợp cho kích thước mẫu dưới hoặc bằng 6 inch.

Chức năng Thiết bị:

Máy mài và đánh bóng chính xác MDAM-CMP100/150, phần thân máy và tất cả các phụ tùng đều được làm từ vật liệu chống ăn mòn cao. Toàn bộ máy có khả năng chống ăn mòn, ổn định, chống mài mòn và chống gỉ, phù hợp cho việc mài và đánh bóng cơ học hóa học của các vật liệu bán dẫn khác nhau. Khu vực làm việc được tách biệt khỏi khu vực hiển thị và điều khiển, và được điều khiển số bằng hệ thống điều khiển màn hình cảm ứng. Máy được điều khiển bởi CNC, có thể lưu trữ và truy xuất dữ liệu.

Hệ thống thiết bị có chức năng định thời, có thể hoạt động liên tục trong 10 giờ và kiểm soát tốc độ của đĩa đánh bóng. Bảng điều khiển được đặt ngoài khu vực làm việc để ngăn không cho dung dịch mài bắn vào bảng điều khiển. Tất cả các thông số của máy chủ có thể được điều chỉnh trên màn hình cảm ứng. Các thông số quy trình của máy chủ có chức năng lưu trữ và truy xuất để đảm bảo tính nhất quán và khả năng lặp lại của quy trình. Mẫu wafer được hút vào bề mặt dưới của kẹp bằng cách bơm chân không, đi kèm với một máy bơm chân không không dầu và có chức năng chống hút ngược độc lập.

Hệ thống truyền động xoay ngang của mẫu cấu hình kẹp có chức năng đu đưa, với phạm vi đu đưa có thể điều chỉnh từ 0-100%. Amplitude và tần số tốc độ đu đưa có thể được đặt chính xác thông qua bảng điều khiển. Kẹp được trang bị hệ thống truyền động độc lập cho việc xoay, với dải tốc độ điều chỉnh được từ 0-120 vòng/phút. Thiết kế chức năng này đảm bảo đánh bóng toàn bộ mẫu trong quá trình mài và đánh bóng, cải thiện đáng kể khả năng và hiệu suất đánh bóng của thiết bị.

Kẹp được trang bị bảng theo dõi độ dày kỹ thuật số với độ chính xác theo dõi là 1 μm. Áp lực của kẹp trên mẫu wafer có thể điều chỉnh liên tục, với dải áp lực từ 0-3.5kg và độ chính xác là 2g/cm², đồng thời được trang bị thiết bị đo áp lực.

Hoạt động của đĩa mài và đánh bóng được điều khiển bởi bộ truyền động chính, tốc độ quay của đĩa có thể điều chỉnh trong khoảng từ 0 đến 120 vòng/phút. Phạm vi điều chỉnh tốc độ này một cách hiệu quả đảm bảo tốc độ mài và đánh bóng các mẫu có độ cứng và kích thước vật liệu khác nhau, từ đó đạt được các chỉ tiêu quy trình cao hơn.

Việc thay thế đĩa mài và đĩa đánh bóng đơn giản và nhanh chóng, nhờ các đĩa được gắn chìm giúp thiết bị chuyển đổi nhanh chóng giữa quy trình mài và đánh bóng, từ đó giảm đáng kể thời gian thực hiện quy trình. Ngoài ra, đĩa mài được trang bị khối sửa chữa đĩa để đảm bảo độ phẳng tốt cho đĩa mài.

Thông số kỹ thuật

Mô hình	MDAM-CMP100	MDAM-CMP150
Kích thước wafer	4 inch và nhỏ hơn	6 inch và nhỏ hơn
Đường kính đĩa làm việc	420mm	420mm
Trạm	≤4	≤2
Cổng cấp liệu	≤3
Bộ nguồn máy tính	220V、10A
Hẹn giờ	0-10h
Nhiệt độ môi trường	20℃~35℃
Tốc độ đĩa	0-120vòng/phút
Tốc độ cố định	0-120vòng/phút

Thành phần hệ thống cố định mẫu	Kẹp, tay lăn
Lắp ráp quy trình mài phẳng	Bàn mài phẳng, khối sửa chữa bàn và xi lanh
Lắp ráp quy trình đánh bóng	Hệ thống cung cấp chất lỏng đánh bóng và bàn đánh bóng
Thành phần phát hiện	Bệ chuẩn thử nghiệm, máy kiểm tra độ phẳng, đồng hồ đo áp suất thử nghiệm
Gói vật liệu mài và đánh bóng wafer	Bột mài, dung dịch đánh bóng, vải đánh bóng, sáp, dung dịch tẩy sáp, tấm nền kính

Câu hỏi thường gặp

1. Về Giá cả:
Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.

2. Về Mẫu:
Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.

3. Về Thanh toán:
Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi
thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.

4. Về Giao hàng:
Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.

5. Lắp đặt và Điều chỉnh:
Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.

6. Về bảo hành:
Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.

Trang Chủ

Giới Thiệu Về Chúng Tôi

Thiết Bị MH

Giải Pháp

Người Dùng Nước Ngoài

Video

Liên Hệ Chúng Tôi

Máy mài và đánh bóng chính xác cho vật liệu bán dẫn

Thông tin tổng quan về thiết bị:

Ưu điểm của thiết bị:

Chức năng Thiết bị:

Thêm sản phẩm

Thiết bị RTP (Rapid Thermal Processing) cho bán dẫn hợp chất SlC LED MEMS

Máy gắn đĩa wafer thủ công

Hệ thống xử lý nhiệt nhanh RTP để bàn

Hệ thống xử lý nhiệt nhanh RTP tự động hoàn toàn với hai buồng thiết bị RTP

Yêu cầu thông tin

Articles

Products

Get In Touch

Máy mài và đánh bóng chính xác cho vật liệu bán dẫn

Thông tin tổng quan về thiết bị:

Ưu điểm của thiết bị:

Chức năng Thiết bị:

Thêm sản phẩm

Yêu cầu thông tin

Articles

Products

Get In Touch

Liên hệ với chúng tôi