EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Thiết bị phủ bằng magnetron hành tinh, một mục tiêu
Giới thiệu: Thiết bị này là một thiết bị phủ bằng kỹ thuật bắn phá magnetron kiểu bàn (desktop), có một mục tiêu duy nhất và hoạt động theo nguyên lý quay hành tinh. Nửa dưới buồng là cấu trúc làm bằng thép không gỉ, còn phần trên là thạch anh độ tinh khiết cao. Thiết kế này cân nhắc đồng thời cả hiệu năng chân không lẫn khả năng lắp đặt các giá mẫu phức tạp. Về hình dáng bên ngoài, thiết bị thuộc loại để bàn, giúp giảm đáng kể yêu cầu về diện tích lắp đặt. Thiết bị được trang bị nguồn điện một chiều (DC) và có thể sử dụng để phún xạ các kim loại và các vật liệu dẫn điện khác. Hệ thống chân không của thiết bị sử dụng cụm bơm phân tử (turbomolecular pump), cho tốc độ bơm nhanh, áp suất chân không cuối cùng thấp và hiệu năng chân không xuất sắc. Thiết bị có cấu trúc gọn nhẹ, chức năng đầy đủ và dễ vận hành, rất phù hợp cho nhiều loại thử nghiệm phủ.
