Máy Lithography Căn chỉnh Mặt nạ , China Máy Lithography Căn chỉnh Mặt nạ Manufacturers, Suppliers, Factory

Mô tả Sản phẩm

Máy Lithography Căn chỉnh Mặt nạ

Mask Aligner còn được biết đến với các tên khác: máy phơi sáng đối chỉnh mặt nạ, hệ thống phơi sáng, hệ thống lithography, v.v., là thiết bị lõi để sản xuất chip. Nó sử dụng công nghệ tương tự như in ảnh để in các mẫu tinh vi trên mặt nạ lên tấm wafer silic bằng cách chiếu sáng.

Đặc điểm

——Đầu phơi sáng fly-eye đồng đều cao / cơ chế làm phẳng nổi bằng không khí / kẹp chân không đáng tin cậy.
——Các tính năng trên đảm bảo độ phân giải cao và độ đồng đều cao.
——Phương pháp căn chỉnh bằng mặt nạ giữ ổn định và việc cấp vật liệu, điều này đảm bảo sự nhất quán của lực hấp dẫn và lực tác động.
——Sử dụng ray dẫn thẳng không khe, độ chính xác cao, tốc độ nhanh.

Việc sản xuất hệ thống căn chỉnh độ chính xác cao cần có quá trình cơ khí chính xác gần như hoàn hảo. Một vấn đề kỹ thuật khác của hệ thống căn chỉnh là kính hiển vi căn chỉnh. Để tăng góc nhìn của kính hiển vi, nhiều máy phơi sáng cao cấp sử dụng ánh sáng LED. Hệ thống căn chỉnh có hai bộ phận với chức năng tập trung. Nó chủ yếu bao gồm hai mắt và hai góc nhìn nhắm vào phần thân của kính hiển vi, một cặp ống nhòm và một cặp thấu kính (máy phơi sáng thường cung cấp ống nhòm và thấu kính với các mức phóng đại khác nhau cho người dùng).
hệ thống căn chỉnh CCD có chức năng phóng đại các dấu hiệu căn chỉnh của mặt nạ và mẫu và hiển thị chúng trên màn hình.

Thông số kỹ thuật

Nhà sản xuất	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech
Mô hình	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31	MD-G33
Đầu phơi sáng KHÔNG.	1 đầu phơi sáng	1 đầu phơi sáng	2 đầu phơi sáng	2 đầu phơi sáng
Loại nguồn sáng	Nguồn đèn thuỷ ngân	Nguyên liệu tia cực tím	Nguồn đèn thuỷ ngân	Nguyên liệu tia cực tím
Khu vực phơi sáng	≤∅100mm	φ100mm	≤∅120mm	≥∅115mm
Chế độ phơi nhiễm	Phơi sáng tiếp xúc	công nghệ song song vi lực	công nghệ song song vi lực	công nghệ song song vi lực
Bất đều độ phơi sáng	∅100mm<±4%	≤ ± 3%	∅100mm≤±6%	≤±3%Độ phơi sáng≥20mw/cm2(365nm, 404nm,435nmTia UV kết hợp
Độ dày vật liệu nền	1-5mm	≤5 mm	0.1-1mm	≤5 mm
Độ phân giải khi phơi sáng	3μm	1 μm	5 μm	1 μm
Phạm vi chiếu sáng	∅115mm	∅120mm	∅120mm	∅130mm
Hệ thống Camera	Hệ thống tách kính nhắm hai mắt	hệ thống CCD kép	hệ thống CCD kép	hệ thống CCD kép
Hệ thống kính hiển vi	phóng đại liên tục 50-375	phóng đại liên tục 91x ~ 570X (thấu kính vật thể phóng đại liên tục 1.6x ~ 10x), phạm vi điều chỉnh khoảng cách giữa hai thấu kính vật thể là 50mm ~ 120mm	0.7-4.5 phóng đại liên tục	60x, 120x phóng đại liên tục (phóng đại mục tiêu 2x, 4x hai), khoảng cách điều chỉnh mục tiêu kép 25mm-70mm

Hồ sơ công ty

Minder-Hightech là đại diện bán hàng và dịch vụ trong lĩnh vực thiết bị công nghiệp sản phẩm bán dẫn và điện tử. Từ năm 2014, công ty cam kết cung cấp cho khách hàng những giải pháp tối ưu, đáng tin cậy và trọn gói về thiết bị máy móc.

Câu hỏi thường gặp

1. Về Giá cả:
Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.

2. Về Mẫu:
Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.

3. Về Thanh toán:
Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.

4. Về Giao hàng:
Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.

5. Lắp đặt và Điều chỉnh:
Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.

6. Về bảo hành:
Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.