EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Giới thiệu: Thiết bị này chủ yếu bao gồm buồng chân không làm bằng thép không gỉ, mục tiêu phún xạ magnetron, thiết bị phủ bay hơi, bàn mẫu để đặt các mẫu, cụm bơm chân không, đồng hồ đo áp suất chân không, hệ thống cấp khí và hệ thống điều khiển. Đơn vị chính của thiết bị được vận hành thông qua màn hình cảm ứng và được giám sát bởi đồng hồ điều khiển nhiệt độ. Giao diện tham số kỹ thuật số cùng chế độ vận hành tự động cung cấp cho người dùng một nền tảng nghiên cứu và phát triển (R&D) xuất sắc. Buồng chân không sử dụng thiết kế mục tiêu ở phía đáy, trong khi bàn mẫu có chức năng gia nhiệt và quay, giúp đạt được hiệu quả phủ đồng đều hơn. Hệ thống tạo chân không của thiết bị sử dụng cụm bơm chân không hai cấp: bơm cấp sơ cấp là bơm cơ học tốc độ cao, giúp rút ngắn đáng kể thời gian từ áp suất thường xuống mức chân không thấp; bơm cấp chính là bơm phân tử tua-bin có tốc độ bơm cao và tốc độ đạt chân không nhanh hơn. Toàn bộ hệ thống tạo chân không đảm bảo độ sạch và tốc độ cao.
Ứng dụng: Có thể được sử dụng để chế tạo màng mỏng ferroelectric đơn lớp hoặc đa lớp, màng dẫn điện, màng hợp kim, màng bán dẫn, màng gốm, màng điện môi, màng quang học, v.v.
