Giới thiệu:
Thiết bị đã được thu nhỏ kích thước, vẫn giữ nguyên buồng thép không gỉ chân không cao trong khi tối ưu hóa các cơ cấu khác, hạn chế kích thước bên ngoài của thiết bị ở mức để bàn, từ đó giảm đáng kể yêu cầu về diện tích lắp đặt. Thiết bị được trang bị nguồn điện một chiều (DC) và nguồn điện tần số radio (RF). Bia DC có thể được sử dụng để phún xạ kim loại và các vật liệu dẫn điện khác, trong khi nguồn RF có thể dùng để phún xạ nhiều loại vật liệu phi kim và oxit kim loại. Hệ thống chân không của thiết bị sử dụng bơm chân không hoàn toàn nhập khẩu với tốc độ bơm nhanh, độ chân không cuối cùng cao và hiệu suất chân không xuất sắc. Thiết bị này có cấu trúc gọn nhẹ, chức năng đầy đủ và dễ thao tác, rất phù hợp cho nhiều loại thử nghiệm phủ.
Ứng dụng:
Thiết bị có thể được sử dụng để chế tạo màng mỏng kim loại, trong các lĩnh vực điện tử, quang học, gốm sứ đặc chủng, v.v.; cũng có thể dùng để chuẩn bị mẫu cho kính hiển vi điện tử quét (SEM) trong phòng thí nghiệm.