Giới thiệu:
Thiết bị này là một thiết bị phủ bằng magnetron hai mục tiêu. Bộ cấu hình này sử dụng buồng làm bằng thép không gỉ chân không cao, thiết kế cửa mở phía trước và cửa sổ quan sát bằng thạch anh trên cửa để thuận tiện cho việc quan sát và ghi chép thí nghiệm. Đồng thời, thiết bị được trang bị bàn gia nhiệt mẫu có khả năng quay, giúp cải thiện hiệu quả độ đồng đều và chất lượng của lớp phủ. Một bộ chắn được lắp đặt trên nắp trên, và hai mục tiêu có thể được chuyển đổi bằng cách xoay bộ chắn để đạt được quá trình phủ nhiều lớp. Thiết bị này cần được sử dụng cùng với cụm bơm phân tử chân không cao. Người dùng có thể lựa chọn các bơm phân tử nhỏ của thương hiệu nhập khẩu để tiết kiệm thêm diện tích lắp đặt. Đồng thời, mẫu máy này có thể được trang bị thêm thành phần đo độ dày màng tùy chọn, cho phép giám sát dữ liệu độ dày màng theo thời gian thực và cung cấp các thông số đáng tin cậy cho quá trình thí nghiệm.
Ứng dụng:
Thiết bị có thể được sử dụng để chế tạo màng mỏng kim loại, trong lĩnh vực điện tử, quang học, gốm đặc chủng, v.v.; đồng thời cũng có thể dùng để chuẩn bị mẫu cho kính hiển vi điện tử quét (SEM) trong phòng thí nghiệm.