Hệ thống mài mòn hóa cơ chính xác

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Hệ thống mài mòn hóa cơ chính xác

Thông tin tổng quan về thiết bị:

Hệ thống CMP độ chính xác cao chủ yếu được sử dụng để mài phẳng và làm mỏng các chip bán dẫn chính như silicon, silicon dioxide và chip mặt phẳng tiêu cự indium antimonide, cũng như đánh bóng cơ học – hóa học (CMP) ở mặt đáy, mặt trên và mặt đầu.

Toàn bộ máy và tất cả các bộ phận thiết bị đều được xử lý chống ăn mòn hoàn toàn, và các thông số quy trình có thể được thiết lập thông qua giao diện tương tác màn hình cảm ứng.

Kích thước mẫu có thể gia công:

Kích thước mẫu ≤ 152 mm / 6 inch

Độ dày có thể gia công từ 50 μm đến 10 mm

Các chỉ tiêu quy trình đạt được:

1. Độ lệch tổng cộng về độ dày (TTV) của đĩa wafer φ75 mm nằm trong phạm vi 2 μm;

2. Độ lệch tổng cộng về độ dày (TTV) của đĩa wafer φ100 mm nằm trong phạm vi 3 μm;

3. Độ lệch tổng cộng về độ dày (TTV) của đĩa wafer φ150 mm nằm trong phạm vi 4 μm.

Các loại mẫu có thể xử lý:

Silicon, silicon carbide, kim cương, gốm sứ, gallium nitride, thạch anh, gallium antimonide, indium phosphide, gallium arsenide, cadmium zinc telluride, mercury cadmium telluride, lithium niobate và các vật liệu bán dẫn khác.

Tính năng thiết bị:

1. Thực hiện chức năng phát hiện điểm kết thúc để kiểm soát độ dày mẫu.

2. Chức năng điều khiển nhiệt độ và làm mát trực tuyến theo thời gian thực đối với đĩa mài và đánh bóng.

3. Hệ thống cấp liệu đa kênh.

4. Chức năng xả tự động đối với đĩa mài và đánh bóng.

5. Chức năng sửa chữa đĩa tự động.

6. Đồ gá được trang bị bàn giám sát độ dày kỹ thuật số với độ chính xác giám sát 0,1 μm.

Các thông số kỹ thuật:

Cấu hình Thiết bị:

Câu hỏi thường gặp

1. Về Giá cả:

Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.

2. Về Mẫu:

Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.

3. Về thanh toán:

Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.

4. Về Giao hàng:

Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.

5. Lắp đặt và Điều chỉnh:

Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.

6. Về bảo hành:

Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.

7. Dịch Vụ Sau Bán Hàng:

Tất cả các máy đều có thời hạn bảo hành trên một năm. Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi luôn trực tuyến để cung cấp cho bạn dịch vụ lắp đặt, gỡ lỗi và bảo trì thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ lắp đặt và gỡ lỗi tại chỗ cho các thiết bị đặc biệt và lớn.