Giới thiệu sản phẩm
Trạm dò series MP-H phù hợp với các phòng thí nghiệm nghiên cứu và phát triển, cho phép họ đầu tư ngân sách một lần duy nhất. Công nghệ chuyển động mâm cặp có thể đáp ứng nhu cầu của bạn về việc kiểm tra hiệu quả toàn bộ wafer.
Tính năng sản phẩm
1. Bàn định vị vi cấp ba có thể nâng hạ để định vị chính xác và tách nhanh các đầu dò;
2. Kính hiển vi kim tương tiêu chuẩn, kiểm tra Pad trên 1 μm;
3. Có thể được trang bị laser để kiểm tra FA/cắt laser;
4. Công nghệ di chuyển mâm cặp điều khiển bằng khí nén để rút mâm cặp ra nhanh chóng.
Tham số sản phẩm
Mẫu Prober thủ công |
MP-M4/MP-M6/MP-M6mini |
MP-E4/MP-E6/MP-E8/MP-E12 |
MP-H6/MP-H8/MP-H12 |
|
Chuck. |
Vật liệu mâm cặp |
Thép không gỉ/đồng mạ niken hoặc vàng |
||
Độ nâng mâm cặp |
N/A |
Nâng nhanh 5mm, điều chỉnh tinh 6mm |
||
Di chuyển nhanh |
N/A |
N/A |
√ |
|
Độ nâng của nền tảng vi điều chỉnh |
N/A |
N/A |
Nâng nhanh 5mm, điều chỉnh tinh 40mm, điều chỉnh thô 300 μm |
|
Máy hiển vi |
Kính hiển vi thân chuẩn (gương kính hiển vi video tùy chọn), có thể phóng đại lên đến 100X |
Kính hiển vi kim tướng PSM-1000 tiêu chuẩn / tùy chọn (GX-6 kim tướng, lập thể, video), có thể phóng đại tới 2000X và kính hiển vi có thể điều chỉnh lên xuống bằng điều khiển khí nén |
||
|
Đầu dò thông số kỹ thuật |
Rò rỉ dòng điện |
Đồng trục 1pA/V @ 25 °C; Ba trục 100fA/V @ 25 °C; Ba đầu nối 10pA@3kV @25°C Điều kiện thử nghiệm: môi trường khô để che chắn tiếp đất (điểm sương không khí thấp hơn -40 °C) |
||
Loại đầu nối |
Đầu chuối / Kẹp cá sấu / Giao diện đồng trục / Ba đầu nối |
|||
Ứng dụng thử nghiệm |
Kiểm tra DC/(IV, CV) Kiểm tra dòng điện thấp (loại 100fA) kiểm tra nhiễu 1/f Kiểm tra đặc tính thiết bị Kiểm tra WLR, kiểm tra lão hóa Kiểm tra tần số RF lên đến 110GHz Kiểm tra công suất cao/dòng điện cao/điện áp cao |
|||
/ |
Kiểm tra phân tích lỗi |
Kiểm tra phân tích lỗi |
||
Bản quyền © Công ty TNHH Minder-Hightech Quảng Châu. Tất cả các quyền được bảo lưu.