Đây là hệ thống làm sạch plasma vi sóng áp suất thấp dành cho bán dẫn. Bằng cách áp dụng vi sóng với tần số 2,45GHz lên cửa sổ trên tường buồng chân không, một lượng lớn Plasma liên tục được tạo ra, và chip được làm sạch bằng cách đưa vào buồng.
Ưu điểm: 1. Plasma không mang điện tích và sẽ không gây hư hại cho các mạch điện; 2. Giữ nhiệt độ thấp trong suốt quá trình xử lý; 3. Tốc độ phản ứng nhanh và thời gian phản ứng ngắn; 4. Không có điện cực, không có nguồn gây ô nhiễm, tuổi thọ dài; 5. Có khả năng duy trì plasma ở áp suất cao; 6. Các mối nối vi sóng và mạch từ tương thích với nhau; 7. Yêu cầu điện áp tự phân cực thấp; 8. Nguồn điện áp cao và máy phát được cách ly hoàn toàn với nhau nhằm đảm bảo an toàn; 9. Khắc khô, không có nguồn gây ô nhiễm
Các lĩnh vực ứng dụng: Tiền xử lý trước khi gắn kết chip bán dẫn, tiền xử lý bao bì nhựa, loại bỏ lớp quang trở, gắn kết kim loại và tiền xử lý.