$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$

$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$
$Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave$

Máy làm sạch Plasma Microwave\/ Thiết bị xử lý bề mặt Plasma Microwave

Mô tả Sản phẩm

Máy làm sạch Plasma vi sóng

Dùng cho tiền xử lý gắn chip bán dẫn, tiền xử lý gói plastic, loại bỏ photoresist, gắn kim loại và tiền xử lý.

Đây là hệ thống làm sạch plasma vi sóng áp suất thấp dành cho bán dẫn. Bằng cách áp dụng vi sóng với tần số 2,45GHz lên cửa sổ trên tường buồng chân không, một lượng lớn Plasma liên tục được tạo ra, và chip được làm sạch bằng cách đưa vào buồng.

Lợi ích

1. Plasma không mang điện荷 và sẽ không gây hư hại đến mạch điện
2. Giữ nhiệt độ thấp trong quá trình xử lý
3. Tốc độ phản hồi nhanh và thời gian phản ứng ngắn
4. Không có điện cực, không có nguồn gây ô nhiễm, tuổi thọ dài
5. Có thể duy trì plasma ở áp suất cao
6. Các khớp vi sóng và mạch từ tính tương thích
7. Yêu cầu điện áp tự bias thấp
8. Nguồn điện áp cao và máy phát được cô lập khỏi nhau để đảm bảo an toàn
9. Etching khô, không có nguồn gây ô nhiễm

Ứng dụng

Xử lý tiền gắn chip
Xử lý tiền gắn kim loại
Xử lý trước khi niêm phong bằng nhựa
Kích hoạt bề mặt wafer

Công nghệ nguồn điện kép Lò vi sóng + RF Bias:

Lò vi sóng đạt được tỷ lệ làm sạch tuyệt vời và tính đồng đều (làm sạch photoresist), tần số vô tuyến cung cấp năng lượng động hướng cho sự di chuyển của plasma, và công nghệ nguồn điện kép cải thiện hiệu suất và kết quả của quá trình làm sạch và khắc蚀 bán dẫn.

Thông số kỹ thuật

Máy chủ plasma chân không
Kích thước thiết bị	1230X1800X1100mm (chiều rộng x chiều cao x độ sâu)
Trọng lượng	450kg
Yêu cầu điện	AC380V, 50/60Hz, 5 dây, 30A
Thông số kỹ thuật máy phát plasma
Nguồn cung cấp công suất vi sóng	Sức mạnh	0~1250W
		Tần số	2.45GHz
Hệ thống chân không
Vật liệu	Hợp kim nhôm (thể tích buồng thép không gỉ có thể tùy chỉnh)
Độ dày	25mm
Kích thước bên trong của khoang	480mmX470mmX480mm
Khu vực làm việc	6 ngăn tạp chí
ECR	Tạp chí có khe cung cấp hiệu ứng xử lý được tăng cường ECR
Khả năng plasma
Khả năng xử lý	khoảng cách 35um bump 40μm kích thước Die tối đa 15X15mm

Đóng gói & Giao hàng

Cảnh Nhà Máy

Hồ sơ công ty

Minder-Hightech là đại diện bán hàng và dịch vụ trong lĩnh vực thiết bị công nghiệp sản phẩm bán dẫn và điện tử. Từ năm 2014, công ty cam kết cung cấp cho khách hàng những giải pháp tối ưu, đáng tin cậy và trọn gói về thiết bị máy móc.

Câu hỏi thường gặp

1. Về Giá cả:
Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.

2. Về Mẫu:
Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.

3. Về Thanh toán:
Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.

4. Về Giao hàng:
Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.

5. Lắp đặt và Điều chỉnh:
Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.

6. Về bảo hành:
Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.