Công ty TNHH Công nghệ Cao Minder Quảng Châu
EN
Công ty TNHH Công nghệ Cao Minder Quảng Châu
Yêu Cầu Báo Giá

Công ty TNHH Công nghệ Cao Minder Quảng Châu

Trang Chủ
Giới Thiệu Về Chúng Tôi
Thiết Bị MH
Giải Pháp
Người Dùng Nước Ngoài
Video
Liên Hệ Chúng Tôi
Trang chủ> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Máy etching ICP toàn tự động
  • MDICP-5000F Máy etching ICP toàn tự động
  • MDICP-5000F Máy etching ICP toàn tự động
  • MDICP-5000F Máy etching ICP toàn tự động

MDICP-5000F Máy etching ICP toàn tự động

Mã mẫu: MDICP-5000F

Nhận báo giá miễn phí
MDICP-5000F Máy etching ICP toàn tự động
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Tóm tắt điều hành:

Thiết bị là một hệ thống chân không hai buồng. Một buồng là buồng lấy mẫu tiêm và buồng kia là buồng etching. Một khóa chân không được lắp đặt giữa buồng lấy mẫu tiêm và buồng etching, và việc lấy mẫu tiêm được vận chuyển bởi thao tác viên.
Thiết bị chủ yếu bao gồm hệ thống chân không, hệ thống đường khí, hệ thống điện, hệ thống điều khiển, hệ thống làm mát, cơ chế cấp và lấy phim, hệ thống báo động, v.v.

Hệ thống chân không:

Hệ thống bao gồm một bơm phân tử với tốc độ bơm 600 L/s + một bơm khô chân không nhập khẩu với tốc độ bơm L/s để hút buồng xói mòn lên chân không cao. Một van điều áp động từ được lắp giữa bơm phân tử và buồng xói mòn. Bơm khô nhập khẩu là bơm tiền hút của buồng xói mòn và bơm tiền của bơm phân tử. Sử dụng thêm một bơm cơ học với tốc độ bơm L/s để hút chân không buồng mẫu. Cầu nối giữa bơm cơ học và buồng chân không, cũng như bơm phân tử, sử dụng ống co inox và có lắp van chặn khí điện từ.

Hệ thống kiểm soát áp suất hằng định

Thiết bị được trang bị hệ thống điều khiển áp suất liên tục phía sau, và một van điều chỉnh điện được lắp đặt trong đường ống hút khí. Thông qua việc đo lường bằng đồng hồ màng phim (linh kiện nhập khẩu), van điều chỉnh được kiểm soát để làm cho buồng chân không đạt được áp suất ổn định, từ đó cải thiện độ ổn định của quy trình.

Hệ thống kiểm soát áp suất hằng định

Thiết bị được trang bị hệ thống điều khiển áp suất liên tục phía sau, và một van điều chỉnh điện được lắp đặt trong đường ống hút khí. Thông qua việc đo lường bằng đồng hồ màng phim (linh kiện nhập khẩu), van điều chỉnh được kiểm soát để làm cho buồng chân không đạt được áp suất ổn định, từ đó cải thiện độ ổn định của quy trình.

Hệ thống đường ống khí

Hai bộ nguồn RF với khả năng tự động khớp.

Hệ thống báo động

Yêu cầu an toàn cho thiết bị.
Thông số kỹ thuật
Tên
SPC
Thương hiệu
Số lượng/Số bộ
Ghi chú
Buồng ăn mòn, đường ống hút khí, cửa sổ quan sát, giao diện dự phòng, v.v
Tiêu chuẩn
JSWN
1
Chống ăn mòn
Khung máy, tủ điện, các gioăng kín, chi tiết tiêu chuẩn, v.v
Tiêu chuẩn
JSWN
1
Hệ thống nâng hạ nắp buồng ăn mòn
Tiêu chuẩn
JSWN
1
Chống ăn mòn
Điện cực khắc và hệ thống làm mát
Tiêu chuẩn
JSWN
1
Chống ăn mòn
Bơm phân tử (tốc độ bơm 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Chống ăn mòn
Bơm khô đầu vào (tốc độ bơm 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Chống ăn mòn
Bơm cơ khí (tốc độ bơm 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Van cổng điều chỉnh điện
DCQ-150
JSWN
1
Chống ăn mòn
Van dừng bellow khí nén
KF40
JSWN
3
Chống ăn mòn
Đồng hồ phim
KF16
INFICON
1
Chống ăn mòn
Bộ điều khiển lưu lượng khối
D07
Sevenstar
4
Chống ăn mòn
Van màng khí nén
1⁄4"VCR
-
4
Chống ăn mòn
Ống thép không gỉ, khớp nối ống, v.v.
1⁄4"VCR
-
4
Chống ăn mòn
Nguồn điện RF / bộ điều chỉnh tự động
-
Trung Quốc(OptionalCROWN1310)
1
Nguồn điện RF / bộ điều chỉnh tự động
-
Trung Quốc(OptionalCROWN1310)
1
Đồng hồ chân không hợp kim
ZDF
RB
1
IPC
2U
Trung Quốc
1
Màn hình cảm ứng LCD
17 inch
Trung Quốc
1
Hệ thống điều khiển plc
S7-200
Siemens
1
Hệ thống điều khiển động cơ điện
Tiêu chuẩn
JSWN
1
Hệ thống phát hiện nước làm mát và đường ống
Tiêu chuẩn
JSWN
1
Phát hiện khí nén và hệ thống đường ống
Tiêu chuẩn
JSWN
1
Máy làm lạnh nước tuần hoàn
Hx
Trung Quốc
1
Buồng tiêm ăn mòn
Tiêu chuẩn
JSWN
1
Khóa chân không
Smc
Smc
1
Hệ thống điều khiển thao tác
Smc
Smc
1

Thông số kỹ thuật qua thư

1. Giới hạn chân không: Buồng ăn mòn 9.0×10-5Pa (Độ ẩm trong phòng ≤55%)
Buồng lấy mẫu tiêm 6.0×10-1Pa
2. Vật liệu ăn mòn: Vật liệu nhóm Ⅲ、Ⅴ, Si、SiO2, v.v.
3. Tốc độ ăn mòn: ~ 1μ/phút
4. Độ đồng đều etching: ≤±5％(phạm vi φ125mm)
6. Kích thước điện cực: φ200mm

Câu hỏi thường gặp

1. Về Giá cả:

Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.

 

2. Về Mẫu:

Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.

 

3. Về thanh toán:

Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.

 

4. Về Giao hàng:

Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.

 

5. Lắp đặt và Điều chỉnh:

Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.

 

6. Về bảo hành:

Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.

 

7. Dịch Vụ Sau Bán Hàng:

Tất cả các máy đều có thời hạn bảo hành trên một năm. Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi luôn trực tuyến để cung cấp cho bạn dịch vụ lắp đặt, gỡ lỗi và bảo trì thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ lắp đặt và gỡ lỗi tại chỗ cho các thiết bị đặc biệt và lớn.

Thêm sản phẩm

Yêu cầu thông tin

Bản quyền © Công ty TNHH Minder-Hightech Quảng Châu. Tất cả các quyền được bảo lưu.

Chính sách bảo mật

Yêu cầu thông tin Email WhatsApp WeChat
Hàng đầu
×

Liên hệ với chúng tôi