Công ty TNHH Công nghệ Cao Minder Quảng Châu

Trang Chủ
Về Chúng Tôi
Thiết Bị MH
Giải Pháp
Người Dùng Nước Ngoài
Video
Liên Hệ Với Chúng Tôi
Trang chủ> Kiểm tra bán dẫn
  • Máy dò Wafer chân không nhiệt độ cao và thấp
  • Máy dò Wafer chân không nhiệt độ cao và thấp

Máy dò Wafer chân không nhiệt độ cao và thấp

Giới thiệu sản phẩm

Trạm đo MDSM-VP-CG có thể cung cấp các phép kiểm tra đặc tính IV/CV, kiểm tra RF, kiểm tra quang điện, đặc tính dẫn điện từ và hiệu ứng Hall để đánh giá thiết bị và vật liệu trong môi trường chân không cực cao và nhiệt độ cao, thấp.

Bằng cách thiết lập các thành phần như buồng chân không và màn chắn bảo vệ bức xạ, tích hợp các điều kiện thử nghiệm nhiệt độ cao, nhiệt độ thấp, chân không và các điều kiện khác, có thể đáp ứng hiệu quả và cung cấp môi trường thử nghiệm ổn định cho các thiết bị bán dẫn.

Tính năng sản phẩm

1. Có thể hỗ trợ dải nhiệt độ từ 4,2K đến 473K

2. Thiết kế màn chắn chống bức xạ nhằm cải thiện độ đồng đều và độ chính xác nhiệt độ mẫu

3. Thiết kế tản nhiệt đầu dò để đảm bảo độ chính xác khi tiếp xúc đầu dò

4. Nâng cấp được khả năng đặt từ trường

5. Cấu hình ứng dụng thử nghiệm linh hoạt và mở rộng được

6. Điều khiển tự động lưu lượng chất làm lạnh, điều khiển nhiệt độ chính xác tự động

Tham số sản phẩm

Mô hình

MDSM-VP-CG-O-2

MDSM-VP-CG-O-4

MDSM-VP-CG-C-2

Chuck.

Kích thước

2inch

4inch

2inch

Phương pháp cố định mẫu

Keo tản nhiệt chân không/ép lò xo

Độ chân không

chân không tối đa 10^-10 torr

Quang học

của cải

Hành trình kính hiển vi

Trục R 360 °+trục di chuyển 100 mm

Tăng cường

Zoom: 7:1, độ phân giải 4 μm (độ phóng đại 216X) hoặc kính hiển vi kim tương (20X~1000X)

Kích thước của

cửa sổ quan sát

2inch

4inch

2inch

Nhiệt độ

điều khiển

thông số kỹ thuật

Điểm ảnh CCD

50w (mô phỏng)/200W(kỹ thuật số)/500W(kỹ thuật số)

Phương pháp làm mát

Nitơ lỏng/heli lỏng

Máy nén lạnh

Phương pháp điều khiển

Điều khiển lưu lượng chất làm lạnh theo chu trình mở thủ công/tự động

Điều khiển tự động vòng kín

Phạm vi

77K~473K/4,2K~473K

7,3K~473K

Độ phân giải

0,001K

Độ ổn định

4,2K ±0,2K 77K±0,1K 373K±0,08K 473K±0,1K

Quy cách đầu dò

Số lượng đầu dò

Số lượng các loại đầu dò có thể được mở rộng lên đến 6

Điều chỉnh đầu dò

Điều chỉnh bên ngoài ống bellow chân không, điều khiển bằng tay

Độ chính xác điểm

2μm

Rò rỉ dòng điện

1pA/V @25 ℃,100fA/V @25℃

Loại đầu nối

Giao diện ba trục/SMA/K/Fiber

Yêu cầu

Yêu cầu Email Whatsapp WeChat
ĐẦU TRANG
×

Liên Hệ