kiểu cấu trúc |
Ngang, hệ thống một ống hoặc nhiều ống điều khiển tự động |
Phù hợp với kích thước wafer |
2-8″ |
Phương pháp đưa và lấy wafer |
Thuyền thạch anh cantilever tự động kiểu đẩy kéo, kết hợp với việc lấy và thả chip bằng tay. |
nhiệt độ tối đa |
1050℃ |
nhiệt độ làm việc |
400 ℃~850 ℃ điều chỉnh liên tục |
Độ ổn định nhiệt độ tại một điểm |
400℃~850℃≤±0.5℃/24h |
Hệ thống giới hạn chân không |
Tốt hơn 1Pa |
tốc độ bơm |
Thời gian bơm đạt đến chân không giới hạn < 15Phút |
Khoảng áp suất làm việc |
từ 5Pa đến 1 × 105Pa điều chỉnh liên tục |
Bộ nguồn máy tính |
3 pha 5 dây 380V±10%, 50Hz |
nước làm mát |
2~4Kgf/cm², 8L/phút; |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Bản quyền © Công ty TNHH Minder-Hightech Quảng Châu. Tất cả các quyền được bảo lưu.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
