dự án |
Đặc tả |
ghi chú |
||
1 |
Tổng quan Thiết bị |
Tên thiết bị: Máy phát triển keo đồng đều tự động hoàn toàn |
||
Mã thiết bị: MD-2C2D6 |
||||
Quy cách wafer xử lý: tương thích với wafer chuẩn 4/6-inch |
||||
Quy trình keo đồng đều: Cắt giỏ hoa → định tâm → keo đồng đều (rót → keo đồng đều → loại bỏ viền, mặt sau rửa) → bảng nóng → bảng lạnh → đặt giỏ Quy trình phát triển: Cắt giỏ hoa → định tâm → phát triển (dung dịch phát triển → nước ion hóa, rửa mặt sau → làm khô bằng nitơ) → bảng nóng → bảng lạnh → đặt giỏ |
||||
Kích thước tổng thể (khoảng): 2100mm (R) * 1800mm (S) * 2100mm (C) |
||||
Kích thước tủ hóa chất (khoảng): 1700(R) * 800(S) * 1600mm (C) |
||||
Tổng trọng lượng (khoảng): 1000kg |
||||
Chiều cao bàn làm việc: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Đơn vị cassette |
Số lượng: 2 |
||
Kích thước tương thích: 4/6 inch |
||||
Phát hiện cassette: cảm biến microswitch |
||||
Phát hiện kéo ra: Có, cảm biến phản xạ |
||||
3 |
robot |
Số lượng: 1 |
||
Loại: Robot hút chân không hai tay |
||||
Bậc tự do: 4 trục (R1, R2, Z, T) |
||||
Vật liệu ngón: gốm |
||||
Phương pháp cố định chất nền: phương pháp hấp thụ chân không |
||||
Chức năng ánh xạ: Có |
||||
Độ chính xác định vị: ± 0.1mm |
||||
4 |
Đơn vị căn chỉnh trung tâm |
Số lượng: 1 bộ |
Căn chỉnh quang học tùy chọn |
|
Phương pháp căn chỉnh: căn chỉnh cơ khí |
||||
Độ chính xác căn chỉnh trung tâm: ± 0.2mm |
||||
5 |
Đơn vị bơm keo đều |
Số lượng: 2 bộ (sau đây là cấu hình cho mỗi đơn vị) |
||
Tốc độ quay của trục chính: -5000rpm~5000rpm |
bánh lăn chịu tải |
|||
Độ chính xác quay của trục: ± 1vòng/phút (50vòng/phút~5000vòng/phút) |
||||
Chỉnh tốc độ quay của trục tối thiểu: 1vòng/phút |
||||
Gia tốc quay của trục tối đa: 20000vòng/phút/giây |
bánh lăn chịu tải |
|||
Tay rót: 1 bộ |
||||
Đường dẫn ống chất chống ánh sáng: 2 đường |
||||
Đường kính vòi phun chất chống ánh sáng: 2.5mm |
||||
Cách điện chất chống ánh sáng: 23 ± 0.5 ℃ |
tùy chọn |
|||
Vòi phun làm ẩm: Có |
||||
RRC: Có |
||||
Buffer: Có, 200ml |
||||
Phương pháp thả keo: thả trung tâm và thả quét là tùy chọn |
||||
Tay gỡ viền: 1 bộ |
||||
Đường kính vòi gỡ viền: 0.2mm |
||||
Giám sát dòng chất lỏng gỡ viền: đồng hồ lưu lượng nổi |
||||
Phạm vi dòng chất lỏng gỡ viền: 5-50ml/phút |
||||
Ống rửa ngược: 2 đường (mỗi đường 4/6 inch với 1 kênh) |
||||
Giám sát dòng rửa ngược: đồng hồ lưu lượng nổi |
||||
Phạm vi dòng chất lỏng rửa ngược: 20-200ml/phút |
||||
Phương pháp cố định chip: hút chân không diện tích nhỏ Chuck |
||||
Báo động áp suất chân không: cảm biến áp suất chân không kỹ thuật số |
||||
Vật liệu kẹp: PPS |
||||
Vật liệu cốc: PP |
||||
Giám sát xả cốc: cảm biến áp suất kỹ thuật số |
||||
6 |
Đơn vị phát triển |
Cửa trập: có |
||
Số lượng: 2 bộ (sau đây là cấu hình cho mỗi đơn vị) |
||||
Tốc độ quay của trục chính: -5000rpm~5000rpm |
bánh lăn chịu tải |
|||
Độ chính xác quay của trục: ± 1vòng/phút (50vòng/phút~5000vòng/phút) |
||||
Chỉnh tốc độ quay của trục tối thiểu: 1vòng/phút |
||||
Gia tốc quay của trục tối đa: 20000vòng/phút/giây |
bánh lăn chịu tải |
|||
Tay phát triển: 1 bộ |
||||
Ống dẫn phát triển: 2 chiều (vòi phun hình quạt / hình trụ) |
||||
Lọc dung dịch phát triển: 0.2um |
||||
Kiểm soát nhiệt độ dung dịch phát triển: 23 ± 0.5 ℃ |
tùy chọn |
|||
Phạm vi lưu lượng giải pháp phát triển: 100 ~ 1000 ml/phút |
||||
Chế độ chuyển động của cánh tay đang phát triển: điểm cố định hoặc quét |
||||
Cánh tay hợp nhất: 1 bộ |
||||
Đường ống dẫn nước phi ion hóa: 1 mạch |
||||
Chuẩn bị và quy trình sử dụng |
||||
Phạm vi lưu lượng nước phi ion hóa: 100 ~ 1000 ml/phút |
||||
Đường ống làm khô nitơ: 1 mạch |
||||
Chuẩn bị và quy trình sử dụng |
||||
Phạm vi lưu lượng nitơ: 5-50L/min |
||||
Nhà phát triển, nước phi ion hóa, giám sát dòng chảy nitơ: máy đo dòng chảy nổi |
||||
Ống rửa ngược: 2 đường (mỗi đường 4/6 inch với 1 kênh) |
||||
Giám sát dòng rửa ngược: đồng hồ lưu lượng nổi |
||||
Phạm vi dòng chất lỏng rửa ngược: 20-200ml/phút |
||||
Phương pháp cố định chip: hút chân không diện tích nhỏ Chuck |
||||
Báo động áp suất chân không: cảm biến áp suất chân không kỹ thuật số |
||||
Vật liệu kẹp: PPS |
||||
Vật liệu kẹp: PPS |
||||
Vật liệu cốc: PP |
||||
Giám sát xả cốc: cảm biến áp suất kỹ thuật số |
||||
7 |
Đơn vị dính |
Số lượng: 2 |
tùy chọn |
|
Dải nhiệt độ: nhiệt độ phòng~180 ℃ |
||||
Độ đồng đều nhiệt: Nhiệt độ phòng~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Loại bỏ 10mm từ mép, ngoại trừ lỗ của đầu đẩy) |
||||
Số lượng điều chỉnh tối thiểu: 0.1 ° C |
||||
Phương pháp kiểm soát nhiệt độ: Điều chỉnh PID |
||||
Phạm vi chiều cao PIN: 0-20mm |
||||
Chất liệu PIN: Thân SUS304, nắp đầu PIN PI |
||||
Khoảng cách nướng: 0.2mm |
||||
Báo động nhiệt độ cao: báo động chênh lệch dương và âm |
||||
Phương pháp cung cấp: Bong bóng, 10 ± 2ml/phút |
||||
Áp suất chân không trong buồng hoạt động: -5-20KPa |
||||
8 |
Đơn vị đĩa nóng |
Số lượng: 10 |
||
Dải nhiệt độ: nhiệt độ phòng~250 ℃ |
||||
Độ đồng đều nhiệt: Nhiệt độ phòng~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Loại bỏ 10mm từ mép, ngoại trừ lỗ của đầu đẩy) |
||||
Số điều chỉnh tối thiểu: 0.1 ℃ |
||||
Phương pháp kiểm soát nhiệt độ: Điều chỉnh PID |
||||
Phạm vi chiều cao PIN: 0-20mm |
||||
Chất liệu PIN: Thân SUS304, nắp đầu PIN PI |
||||
Khoảng cách nướng: 0.2mm |
||||
Báo động nhiệt độ cao: báo động chênh lệch dương và âm |
||||
9 |
Đơn vị đĩa lạnh |
Số lượng: 2 |
||
Dải nhiệt độ: 15-25 ℃ |
||||
Phương pháp làm mát: bơm tuần hoàn nhiệt độ hằng định |
||||
10 |
Cung cấp hóa chất |
Bảo quản Photoresist: bơm keo khí nén * 4 bộ (bình chứa tùy chọn hoặc bơm keo điện) |
||
Lượng keo phân phối: tối đa 12ml mỗi lần, độ chính xác ± 0.2ml |
||||
Loại bỏ viền / rửa ngược / cung cấp RRC: bình áp lực 18L * 2 (tự động bổ sung) |
||||
Giám sát mức dung dịch loại bỏ viền / rửa ngược / RRC: cảm biến quang điện |
||||
Giám sát mức dung dịch Photoresist: cảm biến quang điện |
||||
Xả nước thải keo đồng đều: bình chứa nước thải 10L |
||||
Cung cấp chất phát triển: bình áp lực 18L * 4 (được lưu trữ trong tủ hóa chất ngoài máy) |
||||
Cung cấp nước ion hóa: cung cấp trực tiếp từ nhà máy |
||||
Phát triển giám sát mức chất lỏng: cảm biến quang điện |
||||
Xả thải phát triển: xả thải nhà máy |
||||
Cung cấp chất dính: bồn áp lực 10L * 1, bồn áp lực 2L * 1 |
||||
Giám sát mức chất dính: cảm biến quang điện |
||||
11 |
hệ thống điều khiển |
Phương pháp điều khiển: PLC |
||
Giao diện hoạt động người-máy: màn hình cảm ứng 17 inch |
||||
Nguồn điện không gián đoạn (UPS): Có |
||||
Đặt quyền truy cập mã hóa cho người vận hành thiết bị, kỹ thuật viên, quản trị viên |
||||
Kiểu tháp tín hiệu: 3 màu đỏ, vàng, xanh lá |
||||
12 |
Chỉ số độ tin cậy của hệ thống |
Thời gian hoạt động: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500h |
||||
MTTR: ≤ 4h |
||||
MTBA： ≥24h |
||||
Tỷ lệ phân mảnh: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Các chức năng khác |
Đèn vàng: 4 bộ (vị trí: trên đơn vị trộn keo và phát triển) |
||
THC: Có, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
tùy chọn |
|||
FFU: Cấp độ 100, 5 bộ (khu vực đơn vị quy trình và ROBOT) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Bản quyền © Công ty TNHH Minder-Hightech Quảng Châu. Tất cả các quyền được bảo lưu.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
