Thiết bị bao gồm nguồn cấp điện ion, hệ thống chân không, hệ thống cấp khí, hệ thống điều khiển tự động và các bộ phận khác. Nguyên lý hoạt động cơ bản là trong trạng thái chân không, plasma có thể ion hóa khí theo phương pháp được kiểm soát và định tính. Bơm chân không được sử dụng để hút buồng xử lý xuống áp suất chân không từ 10–40 Pa, sau đó khí được ion hóa dưới tác dụng của máy phát tần số cao, tạo thành plasma (trạng thái thứ tư của vật chất). Đặc điểm nổi bật của nó là độ đồng đều cao của phóng điện sáng lưỡi dao; tùy theo loại khí, sẽ phát ra ánh sáng khả kiến có màu từ xanh lam đến tím đậm, trong khi nhiệt độ xử lý vật liệu gần với nhiệt độ phòng. Các hạt có hoạt tính cao này tương tác với bề mặt cần xử lý nhằm đạt được nhiều dạng biến đổi bề mặt khác nhau như tăng tính ưa nước, tăng tính kỵ nước, giảm ma sát, làm sạch sâu, hoạt hóa bề mặt và ăn mòn bề mặt.
Ưu điểm của xử lý plasma: 1. Công nghệ bảo vệ môi trường: Quá trình tác động plasma là phản ứng đồng pha giữa pha khí và pha rắn, không tiêu tốn tài nguyên nước, không cần bổ sung hóa chất và không gây ô nhiễm môi trường. 2. Đa dụng: Dù loại vật liệu nền cần xử lý là gì, đều có thể được xử lý hiệu quả; ví dụ như kim loại, bán dẫn, oxit và phần lớn các vật liệu polymer đều có thể xử lý tốt. 3. Nhiệt độ thấp: Gần với nhiệt độ phòng, đặc biệt thích hợp cho vật liệu polymer, thời gian lưu trữ lâu hơn và sức căng bề mặt cao hơn so với phương pháp corona và phương pháp ngọn lửa. 4. Hiệu quả mạnh mẽ: Chỉ tác động đến lớp bề mặt nông của vật liệu polymer (10–1000 Å), giúp tạo ra một hoặc nhiều chức năng mới trong khi vẫn giữ nguyên đặc tính vốn có của vật liệu. 5. Chi phí thấp: Thiết bị đơn giản, dễ vận hành và bảo trì, có thể hoạt động liên tục. Thường chỉ vài chai khí có thể thay thế hàng nghìn kilôgam dung dịch làm sạch, do đó chi phí làm sạch sẽ thấp hơn nhiều so với phương pháp làm sạch ướt. 6. Quy trình kiểm soát được trong suốt toàn bộ quá trình
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA



























