Máy khắc phản ứng bằng ion ăn mòn bốc hơi vật liệu , China Máy khắc phản ứng bằng ion ăn mòn bốc hơi vật liệu Manufacturers, Suppliers, Factory - Công ty TNHH Công nghệ Cao Minder Quảng Châu

Mô tả Sản phẩm

RIE Máy ăn mòn ion phản ứng

Các ứng dụng nghiên cứu của máy RIE (ăn mòn ion phản ứng) trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn và gia công vi - nano chủ yếu thể hiện ở việc gia công các cấu trúc ở cấp độ nano, ăn mòn các vật liệu mới, chế tạo các thiết bị phức tạp và đột phá về công nghệ liên ngành. Giá trị cốt lõi của nó nằm ở việc đạt được khả năng loại bỏ vật liệu với độ chính xác cao và tính chọn lọc cao thông qua việc kiểm soát đồng bộ giữa sự va đập vật lý và phản ứng hóa học. Hỗ trợ nghiên cứu và đổi mới công nghệ bán dẫn tiên tiến cũng như sáng tạo thiết bị.

Tính năng thiết bị:

1. Độ chính xác và tính bất đẳng hướng cao: Có thể ăn mòn các họa tiết có thành bên thẳng đứng và kích thước chính xác.
2. Độ đồng nhất và khả năng lặp lại tốt: Phù hợp cho sản xuất quy mô lớn.
3. Khả năng ứng dụng rộng rãi với nhiều loại vật liệu: Bằng cách lựa chọn các tổ hợp khí khác nhau, có thể khắc nhiều loại vật liệu khác nhau (bán dẫn, điện môi, kim loại, v.v.).
4. Tỷ lệ chọn lọc cao: Có thể khắc chính xác các vật liệu cụ thể mà không gây hư hại đáng kể cho các vật liệu khác.
5. Vệ sinh: Quy trình khô, tránh được các vấn đề như làm sạch và xử lý dung dịch thải phát sinh từ quy trình khắc ướt.

Thông số kỹ thuật

Cấu hình hệ thống:

Sưởi ấm bằng điện	Thân buồng (một khoang)
Sưởi ấm bằng điện		N/A
Loại điện cực dưới	242mm
Dải nhiệt độ quy trình	-20-100°C
Nguồn plasma	600W-1000W
Kích thước đồng hồ đo áp suất quy trình	100mtorr
Hệ thống chân không	Bộ bơm phân tử, hệ thống bơm khô, buồng quy trình
Số lượng buồng ăn mòn	Buồng đơn
Máy kẹp	LOẠI	Kích thước/mm	Vật liệu
Máy kẹp		N/A	8、6、4、3、2
Bộ phát hiện điểm kết thúc	Tùy chọn
Bí ẩn cảm ứng	Tùy chọn

Tham số kỹ thuật:

Vật liệu ăn mòn	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Tốc độ ăn mòn	>20nm/phút (vật liệu Si02) Tốc độ của các vật liệu khác nhau là không giống nhau
Điều khiển phân tán	>85°
Phương pháp tải	Tải mở
Đường ống khí được điều khiển bởi MFC	Có sẵn sáu bình chứa khí
Tùy chọn làm mát phía sau bằng heli	Có
Giao diện người-máy	Điều khiển cảm ứng
Chế độ hoạt động	Chế độ tự động hoàn toàn, chế độ không tự động hoàn toàn
Lựa chọn và cấu hình thiết bị tự động hóa	Bạn có thể chọn giữa phụ tùng nhập khẩu hoặc sản xuất trong nước

Các trường hợp áp dụng

Đóng gói & Giao hàng

Hồ sơ công ty

Kể từ năm 2014, Minder-Hightech là đại diện bán hàng và dịch vụ trong ngành thiết bị sản xuất và điện tử bán dẫn. Chúng tôi cam kết cung cấp cho khách hàng các giải pháp Toàn diện, Đáng tin cậy và Trọn gói cho thiết bị máy móc. Đến nay, sản phẩm của thương hiệu chúng tôi đã phủ sóng đến các quốc gia công nghiệp hóa lớn trên toàn thế giới, giúp khách hàng nâng cao hiệu suất, giảm chi phí và cải thiện chất lượng sản phẩm.

Câu hỏi thường gặp

1. Về Giá cả:
Tất cả giá cả của chúng tôi đều cạnh tranh và có thể thương lượng. Giá thay đổi tùy thuộc vào cấu hình và mức độ phức tạp của việc tùy chỉnh thiết bị của bạn.

2. Về Mẫu:
Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ sản xuất mẫu cho bạn, nhưng bạn có thể cần trả một số phí.

3. Về Thanh Toán:
Sau khi kế hoạch được xác nhận, bạn cần thanh toán khoản đặt cọc trước, và nhà máy sẽ bắt đầu chuẩn bị hàng hóa. Sau khi thiết bị sẵn sàng và bạn thanh toán số tiền còn lại, chúng tôi sẽ gửi hàng.

4. Về Giao hàng:
Sau khi hoàn thành việc sản xuất thiết bị, chúng tôi sẽ gửi cho bạn video nghiệm thu, và bạn cũng có thể đến hiện trường để kiểm tra thiết bị.

5. Lắp đặt và Điều chỉnh:
Sau khi thiết bị đến nhà máy của bạn, chúng tôi có thể cử kỹ sư đến để lắp đặt và điều chỉnh thiết bị. Chúng tôi sẽ cung cấp cho bạn báo giá riêng cho khoản phí dịch vụ này.

6. Về bảo hành:
Thiết bị của chúng tôi có thời hạn bảo hành 12 tháng. Sau thời hạn bảo hành, nếu có bất kỳ linh kiện nào bị hư hỏng và cần thay thế, chúng tôi sẽ chỉ thu phí giá vốn.

7. Dịch Vụ Sau Bán Hàng:
Tất cả các máy đều có thời hạn bảo hành trên một năm. Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi luôn trực tuyến để cung cấp cho bạn dịch vụ lắp đặt, gỡ lỗi và bảo trì thiết bị. Chúng tôi có thể cung cấp dịch vụ lắp đặt và gỡ lỗi tại chỗ cho các thiết bị đặc biệt và lớn.