Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
EN
Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
Добиј цитат

Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.

Почетна страница
О нама
МХ опрема
Решење
Изванморски корисници
Видео
Контактирајте нас
Домаћи ПВД ЦВД АЛД РИЕ ИЦП ЕБЕАМ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ
  • Реактивни јонски систем за резање РИЕ

Реактивни јонски систем за резање РИЕ

Добијте бесплатни цитат
Опис производа

Реактивно јонско градење (RIE)

Реактивно јонско етцинг (РИЕ) се може користити за припрему микро-нано структура и једна је од технологија за производњу полупроводника. Током процеса резања РИЕ-а, различите активне честице у плазми формирају летљиве производе са површином материјала. Ови производи се уклањају са површине материјала, и на крају се постиже анизотропско микроструктурно ецирање површине материјала. Производи серије реактивних јонских ечера (РИЕ) засновани су на технологији плоске плоче капацитивне повезане плазме и погодни су за образаце резање силицијских материјала као што су једнокристални силицијум, поликристални силицијум, силицијум нитрид За неке ецирање са већим захтевима за процес, наша ИЦП РИЕ ецирање се такође може користити.

Главна конфигурација:

1. у вези са Подржава величину узорка: 4, 8, 12 инча, компатибилан са различитим малим величинама узорка, подршка прилагођавање
2. Уколико је потребно. Разма плазме за ФР: 300/500/1000 Вт, опционално;
3. Уколико је потребно. Молекуларна пумпа: 620/1300 //s опционално, опционални антикорозијски комплет пумпе;
4. Уколико је потребно. Предња пумпа: механичка пумпа за уље/суха пумпа опционална;
5. Појам Регулација притиска: 0 ~ 1 Торр опционално; може се изабрати и конфигурација режима без контрола притиска,
6. Уколико је потребно. Процесни гас: до 9 процесних гасова може се опремити истовремено; температура: 10 степени ~ собајска температура/-30 степени ~ собаска температура/наградљив распон температуре,
7. "Предозивање" је "процес" који се користи за "процесу оспоравања" или "процесу оспоравања" у "редовној" или "редовној" режими.
8. Уколико је потребно Снимала анти-замрзавајућа облога;
9. Завршило се за прелазак.
десет. У потпуности аутоматски систем за управљање једним дугметом;

РИЕ Прикладни материјали:

1. у вези са Материјали на бази силицијума: силицијум (Si), силицијум диоксид (SiO2), силицијум нитрид (SiNx), силицијум карбид (SiC)
2. Уколико је потребно. III-V материјали: индијум фосфид (InP), галијум арсенид (GaAs), галијум нитрид (GaN)
3. Уколико је потребно. II-VI материјали: кадмијум телурид (CdTe)
4. Уколико је потребно. Магнетни материјали/материјали легуре
5. Појам Метални материјали: алуминијум (АИ), злато (АУ), волфрам (В), титан (Ти), тантал (ТА)
6. Уколико је потребно. Органски материјали: фоторезистентни (ПР), органски полимер (ПММА/ХДМС), орг

РИЕ Свржене апликације:

1. у вези са "Снажни" уређаји за производњу и производњу "материјала" за производњу "материјала" за производњу "материјала" за производњу "материјала" за производњу "материјала" за производњу "материјала" за производњу "материјала" за производњу "ма
2. Уколико је потребно. "Снажни" уређаји за оптичку комуникацију који имају све следеће карактеристике:
3. Уколико је потребно. "Стимулација" је опрема која се користи за производњу силикона и силикона.
4. Уколико је потребно. Физичко градење се примењује на одређене метале, као што су никел (Ни), хром (Цр), керамика и други материјали који се тешко хемијски граде, а образац градинке материјала постиже се физичким бомбардовањем;
5. Појам Етирање органских материјала примењује се на етирање, чишћење и уклањање органских материјала као што су фоторезистентни (Фоторезистентни), ПММА, ХДМС, Полимер;
6. Уколико је потребно. "Снажног капацитета" више од 50 W;
7. Еццинг дводимензионалних материјала: В, Мо дводимензионални материјали, графен;
Резултати апликације:
Дијаграма конфигурације пројекта и структуре машине
Подељка
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE
Величина производа
≤ 6 инча
≤ 8 инча
≤ 8 инча
Извор рф енергије
0-300Вт/500Вт/1000Вт Регулишиво,автоматско усаглашавање
Молекуларна пумпа
-/620(Л/с)/1300(Л/с)/Цулм
Антисептик620 ((Л/с)/1300 ((Л/с) /Цума
Пунпа за предње линије
Механичка пумпа/суха пумпа
Сува пумпа
Процесни притисак
Неконтролисани притисак/0-1Тор контролисани притисак
Тип гаса
Х/ЦХ4/О2/Н2/Ар/СФ6/ЦФ4/
Уколико је у питању износ, износ и износ
(До 9 канала, без корозивних и токсичних гасова)
Х2/ЦХ4/О2/Н2/Ар/Ф6/ЦФ4/ ЦХФ3/Ц4Ф8/НФ3/ЦЛ2/БЦл3/ХБР ((до 9 канала)
Размај гаса
0 ~ 5сццм/50сццм/100сццм/200сццм/300сццм/500сццм/заслужен
Лодлоцк
Да/Не
Да, да.
Контрола температуре узорка
10°C~Станова температура/-30°C~100°C/Позаједник
-30°C ~ 100°C /Заједно
Завршно хлађење хелијем
Да/Не
Да, да.
Процесна кавита
Да/Не
Да, да.
Контрола топлотема зида шупљине
Не/топла температура ~ 60/120°C
Собаска температура -60/120°C
Контролни систем
Ауто/позаконски
Материјал за резирање
Силицијумска основа:Си/СиО2/СиНкс····
IV-IV: СиЦ
Магнетни материјали/материјали легуре
Метални материјал: Ни/Цр/Ал/Ау.....
Уколико је потребно, може се користити и за производњу и производњу производа.
филм...
Силицијумска основа: Си/СиО2/СиНкс......
III-V(注3): ИнП/ГАА/ГАН......
IV-IV: СиЦ
II-VI (注3): ЦдТе......
Магнетни материјали/материјали легуре
Метални материјал: Ни/Цр/А1/Ау......
Органски материјал: ПР/ПММА/ХДМС/органски филм...
Реалне снимке лабораторија и фабрика
Паковање и испорука
Профил компаније
Миндр-Хигтех је продајни и сервисни представник у полупроводничкој и електронској индустрији опреме. Од 2014. године, компанија је посвећена пружању клијентима супериорних, поузданих и једносталних решења за машинску опрему.
Често постављене питања
1. Постављање О Прајсу:
Све наше цене су конкурентне и преговарају се. Цена варира у зависности од комплексности конфигурације и прилагођавања вашег уређаја.

2. Постављање О примерак:
Можемо вам пружити услуге производње узорака, али можете да платите неке накнаде.

3. Уколико је потребно. О плаћању:
Након што је план потврђен, прво морате нам платити депозит, а фабрика ће почети да припрема робу. Када опрема буде спремна и ти плати остатак, ми ћемо је испоручити.

4. Уколико је потребно. О испоруци:
Након што се производња опреме заврши, послаћемо вам видео за прихватање, а такође можете доћи на локацију да прегледате опрему.

5. Појам Инсталација и дебагирање:
Након што опрема стигне у вашу фабрику, можемо послати инжењере да инсталирају и дебагују опрему. Ову накнаду за услугу ћемо вам дати одвојеном цитатом.

6. Уколико је потребно. О гаранцији:
Наша опрема има гаранцију од 12 месеци. Након гарантног периода, ако су неки делови оштећени и треба их заменити, наплаћићемо само трошковну цену.

Више производа

Истраживање

Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана

Политике приватности

Истраживање Email Ватсап Врх
×

УТРЕБНО