Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
EN
Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
Добиј цитат

Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.

Početna Strana
O Nama
МХ опрема
Решење
Изванморски корисници
Video
Контактирајте нас
Домаћи ПВД ЦВД АЛД РИЕ ИЦП ЕБЕАМ
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)
  • Реакцијска ионска машина за резање (RIE)

Реакцијска ионска машина за резање (RIE)

Добијте бесплатни цитат
Опис производа

РИЕ Реакција Ионска Ецхинг Машина

Истраживачке примене РИЕ реактивних ионских машина за градење у области производње полупроводника и микронано обраде углавном се одражавају у обради нано-скеле структура, грађивању нових материјала, производњи сложених уређаја и пробојама у интердисциплинарним технологијама. Његова основна вредност лежи у постизању високопрецизног и високо селективног уклањања материјала координираном контролом физичког бомбардовања и хемијских реакција. Подпоручује истраживање најсавременије технологије полупроводника и иновације у уређајима.

Обујећење

1. у вези са Висока прецизност и анизотропија: Може да изгреба графике са стрмим бочним зидовима и прецизним димензијама.
2. Уколико је потребно. Добра једнородност и понављаност: погодна за производњу у великој мери.
3. Уколико је потребно. Широка примене на материјалима: Избором различитих комбинација гаса, могу се градити различити материјали (полововодиоци, диелектрици, метали итд.).
4. Уколико је потребно. Високи однос селективности: Може прецизно да огреже одређене материјале без значајног оштећења других материјала.
5. Појам Чишћење: Сув процес, избегавање проблема као што су чишћење и обрада отпадних течности узрокованих мокром ецирањем.
Спецификација
Конфигурација система:
Електрично грејање
Камера (једнаког кавита)
Не
Тип доње електроде
242 мм
Процесни распон температуре
-20-100°C
ПЛАСМА извор
600W-1000W
Величина процесног метра притиска
100мторр
Вакуумски систем
Молекуларне помпе, суви системи пумпа, процесна комора
Број копаних комора
Једностопанска шупљина
Заглавље
Tip
Величина/мм
Материјал
Не
8、6、4、3、2
Детектор крајње тачке
Opcija
Индуктивно спојена плазма
Opcija
Технички параметар:
Материјал за резирање
Си, Сио, Син, Сау, Пт, Ал
Стопа резања
> 20nm/min (си02 материјал) Стопе различитих материјала нису исте
Дистрибуирана контрола
>85°
Метода пуцања
Отворено пуњење
Гасовода коју контролише МФЦ
Доступно је шест резервоара за гас
Опција хелијумског задњег хлађења
Да, да.
Интерфејс човек-машина
Операција са тачскрином
Режим рада
Потпуно аутоматски режим, непотпуно аутоматски режим
Избор и конфигурација аутоматизованих уређаја
Можете изабрати или увозене или домаће делове
Примени
Pakovanje i dostava
Često postavljana pitanja
1. Постављање О Прајсу:
Све наше цене су конкурентне и преговарају се. Цена варира у зависности од комплексности конфигурације и прилагођавања вашег уређаја.

2. Постављање О примерак:
Можемо вам пружити услуге производње узорака, али можете да платите неке накнаде.

3. Уколико је потребно. О плаћању:
Након што је план потврђен, прво морате нам платити депозит, а фабрика ће почети да припрема робу. Када опрема буде спремна и ти плати остатак, ми ћемо је испоручити.

4. Уколико је потребно. О испоруци:
Након што се производња опреме заврши, послаћемо вам видео за прихватање, а такође можете доћи на локацију да прегледате опрему.

5. Појам Инсталација и дебагирање:
Након што опрема стигне у вашу фабрику, можемо послати инжењере да инсталирају и дебагују опрему. Ову накнаду за услугу ћемо вам дати одвојеном цитатом.

6. Уколико је потребно. О гаранцији:
Наша опрема има гаранцију од 12 месеци. Након гарантног периода, ако су неки делови оштећени и треба их заменити, наплаћићемо само трошковну цену.

7. Послепродајна услуга:
Све машине имају гаранциони период од више од једне године. Наши технички инжењери су увек на мрежи да вам пруже услуге инсталације, дебаговања и одржавања опреме. Можемо пружити на сајту инсталацију и дебагирање услуге за специјалну и велику опрему.

Više proizvoda

Истрага

Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана

Политике приватности

Истрага Email Ватсап WeChat
Vrh
×

Stupite u vezu s nama