





Технички параметар |
Режим мерења |
ПСИ/ВСИ/супер дубина поља/светло поље |
Једномерно поле вида (20× објектив) |
500*350μm (автоматско шивање) |
|
Регулација угла |
± 12° ручно |
|
Регулација оси Z |
20 мм електрични + 50 мм ручни (груби и фини механизам регулисања) |
|
Просторан опсег скенирања |
0-10ММ |
|
Продочна резолуција |
<0,2 nm |
|
Поновљивост мерења дугине оштрине |
0,01nm (PSI режим) |
|
грешке у означењу висине степенице измереност |
< 0,75% (ВСИ режим) |
|
Бочна резолуција: @550nm |
0,69μm (20× објектив) |
|
Измерљива рефлективност узорка |
0.1%-100% |
|
Време мерења |
< 5с (PSI режим) |
|
Функција анализе |
Функција анализе |
3Д мерење висине, 3Д анализа грубости, 2Д мерење димензије |
излаз 3Д података |
3Д податоци о тачковом облаку, подаци о сликама у сивој скали, прилагођени извештај |
Увеличење објекта |
2,5Х |
5х |
10х |
20х |
50х |
100х |
Цифрова отвора |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Оптичка резолуција @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Дубина фокуса (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Радна удаљеност (мм) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |








Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана