Вакуумска микроталасна машина за чишћење плазме Плазма Површински третман Полупроводник Опаковање раствор IC TO пакета , China Вакуумска микроталасна машина за чишћење плазме Плазма Површински третман Полупроводник Опаковање раствор IC TO пакета Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис производа

Полупроводник Опаковање раствор Микроталасне плазмен чистилач

SPV-100MWR је нисконапонски микроталажни плазмен систем за чишћење полупроводника. Примена микроталаса са фреквенцијом од 2,45 ГГц на прозор на зиду вакуумске шупљине, генерише велики број континуиране плазме, а чип се чисти уласком у шупљину.

Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier

Технички параметри

Вакуумска плазма домаћин
Величина опреме	1230X1800X1100 мм (ширина х висина х дубина)
Тежина	450 кг
Потреба за енергијом	AC380V, 50/60Hz, 5 жица, 30А
Спецификације плазмене генератора
Микроталасно напајање	Сила	0 ~ 1250 Вт
		Честоћа	2,45 ГГц
Вакуумски систем
Материјал	Алуминијумска легура (комора од нерђајућег челика која се може прилагодити)
Дебљина	25 мм
Унутрашње димензије шупљине	480ммХ470ммХ480мм
Радни простор	6 списака
ЕЦР	Слотд Магерин пружа ЕЦР побољшани ефекат обраде
Плазмен капацитет
Способност обраде	35ум Пич 40 мкм удара 15Х15мм Максимална величина штампе