Uvod:
Магнетронова опрема за покрывање је посебан лабораторијски инструмент за покрывање који је развила наша компанија. Опрема може бити опремљена истоправним напајањем и РФ напајањем. Моћ се креће од 500 до 1000 Вт. У поређењу са конвенционалним плазменом ппутрењем, магнетронско ппутрење има предности високе енергије, велике брзине, високе стопе депозиције и ниског повећања температуре узорка. Магнетрона мета је опремљена са водно хладним интерслојетом. Водни хладник може ефикасно одвести топлоту и избећи акумулацију топлоте на метарној површини, тако да магнетроново премазивање може дуго времена стабилно радити. Након компактног дизајна, остварена је равнотежа у обема и перформанси, изглед је леп и функција је свеобухватна. Цела машина се управља сензорним екраном и уграђен је програм за премазивање једног дугмета, који је једноставан за рад и идеална опрема за припрему танких филмова у лабораторији.
Primena:
Може се користити за припрему једно- или вишеслојних ферроелектричких танких филмова, проводничких филмова, легуратних филмова, полупроводничких филмова, керамичких филмова, диелектричких филмова, оптичких филмова итд.