Полововодилачка индустрија ИЦП лабораторијска машина за уклањање РР типа Фоторезистенција Останак , China Полововодилачка индустрија ИЦП лабораторијска машина за уклањање РР типа Фоторезистенција Останак Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис производа

ИЦП лабораторијски тип PR уклањања Фоторезистентни дезинфицирач машина

АШИНГ
Одлазак полимера
ДЕСКУМ
Суво уклањање слоја тврде маске
Узимање фоторезистенције након имплантације женских јона
Уклањање оптичког отпора између медија
Узимање фоторезистенције у процесу БАВ/САВ
Суво чишћење антирефлективног графичког слоја филма Y
Слицијумски оксид или силицијумски нитрид
Уклањање површинских остатака
Чишћење површине након ецкирања
Еццинг од силицијум карбида

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Процес

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal details

Предност:

Основна предност

Висока стопа дегумирања: Плазма високе густине, брза стопа дегумирања
Стабилност: После плазмене обраде, висока репродуктивност
Далека плазма: Далека плазма, ниско ионско оштећење вафера
Избељени софтвер: независно истраживање и развој софтвера, интуитивна анимација процеса, детаљни подаци и записи
Једноставност: Плазма може контролисати притисак и температуру кроз лептирски вентил
Фактор безбедности: Ниска плазма смањује оштећење испуштања производа.
Послепродајна услуга: Брз одговор и довољна инвентарска база
Контрола прашине: Усклађивање захтева купца.
Основна технологија: са скоро 40% чланова тима за Р&Д

Касетна платформа (MD-ST 6100/620)

1. у вези са 4 Носачи вафера
2. Уколико је потребно. Висока компатибилност: флексибилност избора величине вафера доводи до високих трошкова и ефикасности решења
3. Уколико је потребно. Камера за пренос вакуума високе стабилности:
Зрели и стабилни дизајн вакуумског преноса је зрело примењен на тржишту већ много година и добро је препознат од стране купаца.
Дизајн вртеља, компактен простор, значајно смањује ризик од ПАРТИЦАЛ
4. Уколико је потребно. Хуманизовани интерфејс за управљање софтверским алатом:
Интуитивни хуманизовани софтверски интерфејс за рад, мониторинг стања рада машине у реалном времену;
Комплексна аларма и сигурносна функција за спречавање погрешних операција.
Моћна функција извоза података, записи различитих параметара процеса и извоз записа производње производа.

Робот

1. у вези са Једнократни двоструки дизајн вафера за избору и постављање доводи до високе продуктивности
2. Уколико је потребно. Побољшање ефикасности простора.

Топлотна плоча

1. у вези са Плака за вафеле са високом прецизношћу контроле температуре
Плата за грејање вафера од собе до 250°C, тачност контроле температуре ±1°C
Огревачка плоча је калибрирана професионалним инструментима, и униформизација. У оквиру ±3°C, осигурати једноставан одлазак лепила
2. Уколико је потребно. Уједнокамерна двострука обрада вафера
"Снажна" (неоптимална) "површина"
Независни дизајн пуштања снаге за сваки вафер, осигуравајући да сваки вафер. Ефекат уклањања округлог ПР-а;
Под претпоставком да се обезбеди ефикасност УПХ, смањити трошкове производа. Силна компатибилност
3. Уколико је потребно. Производствени капацитет: двоједелна конструкција реакционе коморе, висока ефикасност производње.

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Спецификација

ПЛАСМА извор			РФ+БИАС
Сила	1000 Вт	1000 Вт
Сила		600 Вт	600 Вт
Прикладно подручје			4-8 инча
Број парчица за једнократну обраду			један
Димензије изгледа			1140мм х 1050мм х 1620мм
Системска контрола			Индустријски систем контроле
Ниво аутоматизације			Ручни

Хардверски капацитети
Времена рада/Доступно време	≧95%
Просечно време за чишћење (МТЦ)	6 сати
Просечно време за поправку (MTTR)	4 сата
Просечно време између неуспеха (МТБФ)	350 сати
Просечно време између помоћника (МТБА)	24 сата
Просечна плоча између сломљеног (МВББ)	1 на 10.000 вафера
Контрола грејачке плоче	50-250°

Извештај о испитивању

Фабрички изглед

Паковање и испорука

Профил компаније

Имамо 16 година искуства у продаји опреме. Можемо вам пружити једноставан полупроводнички фронт-енд и ретро-енд Пакете Лине Екуапментс решење из Кине!