Подељка |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Величина производа |
≤ 6 инча |
≤ 8 инча |
≤ 8 инча |
||
Извор рф енергије |
0-300Вт/500Вт/1000Вт Регулишиво,автоматско усаглашавање |
||||
Молекуларна пумпа |
-/620(Л/с)/1300(Л/с)/Цулм |
Антисептик620 ((Л/с)/1300 ((Л/с) /Цума |
|||
Пунпа за предње линије |
Механичка пумпа/суха пумпа |
Сува пумпа |
|||
Процесни притисак |
Неконтролисани притисак/0-1Тор контролисани притисак |
||||
Тип гаса |
Х/ЦХ4/О2/Н2/Ар/СФ6/ЦФ4/ Уколико је у питању износ, износ и износ (До 9 канала, без корозивних и токсичних гасова) |
Х2/ЦХ4/О2/Н2/Ар/Ф6/ЦФ4/ ЦХФ3/Ц4Ф8/НФ3/ЦЛ2/БЦл3/ХБР ((до 9 канала) |
|||
Размај гаса |
0 ~ 5сццм/50сццм/100сццм/200сццм/300сццм/500сццм/заслужен |
||||
Лодлоцк |
Да/Не |
Да, да. |
|||
Контрола температуре узорка |
10°C~Станова температура/-30°C~100°C/Позаједник |
-30°C ~ 100°C /Заједно |
|||
Завршно хлађење хелијем |
Да/Не |
Да, да. |
|||
Процесна кавита |
Да/Не |
Да, да. |
|||
Контрола топлотема зида шупљине |
Не/топла температура ~ 60/120°C |
Собаска температура -60/120°C |
|||
Контролни систем |
Ауто/позаконски |
||||
Материјал за резирање |
Силицијумска основа:Си/СиО2/СиНкс···· IV-IV: СиЦ Магнетни материјали/материјали легуре Метални материјал: Ни/Цр/Ал/Ау..... Уколико је потребно, може се користити и за производњу и производњу производа. филм... |
Силицијумска основа: Си/СиО2/СиНкс...... III-V(注3): ИнП/ГАА/ГАН...... IV-IV: СиЦ II-VI (注3): ЦдТе...... Магнетни материјали/материјали легуре Метални материјал: Ни/Цр/А1/Ау...... Органски материјал: ПР/ПММА/ХДМС/органски филм... |
|||
Примјењује се на градење материјала које се тешко граде као што су неки метали (као што су Ни / Цр) и керамика, и модеринг материјала се остварује физичким бомбардовањем. |
Користи се за ецирање и уклањање органских једињења као што су фоторезистент (ПР) / ПММА / ХДМС / полимер |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
