Брзи термопроцесорни десктопни РТП систем за сложене полупроводнике SlC LED и MEMS , China Брзи термопроцесорни десктопни РТП систем за сложене полупроводнике SlC LED и MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис производа

Брза термичка обрада

Обезбедити поуздану РТП опрему за сложене полупроводнике, СлЦ, ЛЕД и МЕМС

Примене у индустрији

* Оксид, нитрид раст
* Омски контакт брзе легуре
* Глилирање силицидне легуре
* Оксидациони рефлукс
* Процес галијум арсенида
* Други брзи процеси топлотне обраде

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS details

Предности производа

1. Постављање Процес покрива распон од 200 до 1250 °C
2. Постављање Моћни систем управљања температурним пољима
3. Постављање Специфични РТП алгоритам
4. Постављање Професионални алат за калибрацију ТЦ вафера

Особност

* Инфрацрвена галогенска лампа за грејање цеви, хлађење ваздушним хлађењем;
* ПЛД контрола температуре за снагу лампе, која може прецизно контролисати пораст температуре, обезбеђујући добру репродуцибилност и равноправност температуре;
* Улаз материјала постављен је на површину ВАФЕР-а како би се избегло стварање хладне тачке током процеса гњечења и осигурало добру температурну униформизност производа;
* Могуће је изабрати и атмосферске и вакуумске методе обраде, са пре-третманом и прочишћењем тела;
* Два сета процесних гасова су стандардни и могу се проширити на до 6 сета процесних гасова;
* Максимална величина мерељивог једнокристалног силицијумског узорка је 12 инча ((300х300 мм);
* Три мере безбедности безбедне температуре заштите отварања, контролера температуре заштите дозволе отварања, и опреме за хитно заустављање безбедности заштиту су у потпуности имплементирани да би се осигурала безбедност инструмента;

Сувпад кривице 20. степена

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS manufacture

20 криви за контролу температуре на 850 °C

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS factory

Сувпад 20 средњих температурних крива

регулација температуре 1250 °C

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS supplier

РТП процес за контролу температуре 1000 °C

960 °C процес, контролисан инфрацрвеним пирометром

Дета о ЛЕД процесу

RTD Wafer је сензор температуре који користи посебне технике обраде за уграђивање сензора температуре (RTD) на одређеним локацијама на површини вафера, омогућавајући мерење температуре површине на ваферу у реалном времену.
Реална мерења температуре на одређеним локацијама на вафли и укупна расподела температуре вафера могу се добити помоћу RTD Вафера; Такође се може користити за континуирано праћење пролазних промена температуре на ваферима током процеса топлотне обраде.