MDAM-CMP100/150 прецизна машина за брушење и полирање, главна јединица и сви резервни делови направљени су од материјала који су високо отпорни на корозију. Цела машина је отпорна на корозију, стабилна, отпорна на знос и отпорна на рђаву, погодна за хемијско механичко брушење и полирање различитих полупроводничких материјала. Радни простор је одвојен од подручја за контролу екрана и дигитално се управља помоћу система за контролу екрана на додир. Он је ЦНЦ-у контролисан, може се чувати и извући.
Систем уређаја има функцију временског одредивања, која може континуирано радити 10 сати и контролисати брзину полирачког диска. Контролна плоча се поставља изван радног подручја како би се спречило прскање абразивног раствора на контролну плочу. Сви параметри хоста могу се прилагодити на сензорном екрану. Параметри процеса хоста имају функције складиштења и преузимања како би се осигурала конзистенција и поновност процеса. Узорак од вафера се адсорбује на доњој површини апарату вакуумским пумпањем, опремљен је вакуумском пумпом без уља и има независну функцију антиреверзног усасасања.
Пример конфигурације уређаја, систем за хоризонтално ротационо покретање, има функцију замаха, са распоном замаха од 0-100% прилагодљивим. Амплитуда замаха и брзина фреквенције могу се прецизно подесити преко контролне плоче. Уграђивање је опремљено независним покретачким системом за ротацију, са подесивим опсегом брзине од 0 до 120 обртова у минути. Овај функционални дизајн осигурава пуну полирање образаца током процеса брушења и полирања, што значајно побољшава капацитет полирања и ефикасност опреме.
Облик је опремљен дигиталним табелом за праћење дебелине са прецизношћу праћења од 1 μm. Притисак фикстера на узорку вафера је континуирано подешавајући, са опсегом притиска од 0-3.5 кг и тачношћу од 2 г/см2, и опремљен уређајем за мерење притиска.
Радовање диска за брушење и полирање контролише главни пригон, а брзина диска може се подесити од 0 до 120 окретања у минути. Овај опсег варијација брзине ефикасно обезбеђује брзину брушења и полирања узорака различитих тврдоћа и величине материјала, чиме се постижу виши показатељи процеса. Замена шлифканих и полирајућих дискова је једноставна и брза, са уграђеним дисковима који омогућавају опреми да брзо пређе од шлифкања на полирање, знатно смањујући време процеса. А шлифовачки диск је опремљен блоком за поправку диска како би се осигурало да шлифовачки диск има добру равнаст.