Нова генерација Микротална плазма чистилац Плазма машина за чишћење плазме Полупроводник Опрема за паковање раствора , China Нова генерација Микротална плазма чистилац Плазма машина за чишћење плазме Полупроводник Опрема за паковање раствора Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис производа

Микротапални плазмен чистилач

SPV-100MWR је нисконапонски микроталажни плазмен систем за чишћење полупроводника. Примена микроталаса са фреквенцијом од 2,45 ГГц на прозор на зиду вакуумске шупљине, генерише велики број континуиране плазме, а чип се чисти уласком у шупљину.

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment manufacture

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment supplier

Примене

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment factory

Спецификација

Вакуумска плазма домаћин
Величина опреме	1230X1800X1100 мм (ширина х висина х дубина)
Тежина	450 кг
Потреба за енергијом	AC380V, 50/60Hz, 5 жица, 30А
Спецификације плазмене генератора
Микроталасно напајање	Сила	0 ~ 1250 Вт
		Честоћа	2,45 ГГц
Вакуумски систем
Материјал	Алуминијумска легура (комора од нерђајућег челика која се може прилагодити)
Дебљина	25 мм
Унутрашње димензије шупљине	480ммХ470ммХ480мм
Радни простор	6 списака
ЕЦР	Слотд Магерин пружа ЕЦР побољшани ефекат обраде
Плазмен капацитет
Способност обраде	35ум Пич 40 мкм удара 15Х15мм Максимална величина штампе