|
projekat
|
Спецификације
|
napomene
|
||
|
1 |
Pregled opreme |
Naziv opreme: Potpuno automatska mašina za ravnomernu namazivanje leja
|
||
|
Model opreme: MD-2C2D6
|
||||
|
Specifikacije procesiranja krugova: kompatibilno sa standardnim krugovima od 4/6 dužine
|
||||
|
Proces ravnomernog namazivanja leja: Rezanje korpe → centriranje → namazivanje leja (iskapanje → namazivanje leja → uklanjanje s ivice, pranje zada)
pranje) → topla ploča → hladna ploča → postavljanje korpe Proces razvoja: Rezanje korpe → centriranje → razvoj (reagens za razvoj → deionizovana voda, pranje zadnjeg dela → suvanje nitrogenom) → topla ploča → hladna ploča → postavljanje korpe |
||||
|
Ukupne dimenzije (približno): 2100mm (Š) * 1800mm (G) * 2100mm (V)
|
||||
|
Dimenzije hemijske skrini (približno): 1700(Š) * 800(G) * 1600mm (V)
|
||||
|
Ukupna težina (približno): 1000kg
|
||||
|
Visina radne površine: 1020 ± 50mm
|
||||
|
2 |
Kasetni modul
|
Količina: 2
|
||
|
Kompatibilna veličina: 4/6 inch
|
||||
|
Detekcija kasete: detekcija mikroprekidnikom
|
||||
|
Detekcija izvlačenja: Da, reflektivni senzor
|
||||
|
3 |
robot |
Količina: 1
|
||
|
Tip: Robot sa dvostrukim rukama za vakuumsku adsorpciju
|
||||
|
Stepen slobode: 4-osi (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Materijal prstiju: keramički
|
||||
|
Metod fiksacije substrata: metoda vakuum adsorpcije
|
||||
|
Mapirajuća funkcija: Da
|
||||
|
Tačnost pozicioniranja: ± 0,1mm
|
||||
|
4 |
Jedinica centriranja
|
Količina: 1 set
|
Opcionalno optičko poravnanje
|
|
|
Metod poravnanja: mehaničko poravnanje
|
||||
|
Tačnost centriranja: ± 0,2mm
|
||||
|
5 |
Jedinica uniformnog lepljenja |
Količina: 2 skupa (sledeće su konfiguracije za svaku jedinicu)
|
||
|
Brzina rotacije vijaka: -5000rpm~5000rpm
|
prijevojni valjci
|
|||
|
Preciznost rotacije vijka: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Najmanja prilagodba brzine rotacije vijka: 1rpm
|
||||
|
Maksimalno ubrzanje rotacije vijka: 20000rpm/s
|
prijevojni valjci
|
|||
|
Kapići ruke: 1 set
|
||||
|
Ruta fotočula: 2 rute
|
||||
|
Precnik šprica za fotočulo: 2.5mm
|
||||
|
Isolacija fotočula: 23 ± 0.5 ℃
|
оpciono
|
|||
|
Zaobljeni špric: Da
|
||||
|
RRC: Da
|
||||
|
Bafar: Da, 200ml
|
||||
|
Metod lepljenja: centrirano lepljenje i skenirano lepljenje su opcioni
|
||||
|
Rukav za uklanjanje ivica: 1 set
|
||||
|
Precnik šipke za uklanjanje ivica: 0.2mm
|
||||
|
Monitoriranje protoka tekućine za uklanjanje ivica: plutajući prometni brojač
|
||||
|
Opseg protoka tekućine za uklanjanje ivica: 5-50ml/min
|
||||
|
Cevovod za obrnuto lepljenje: 2 načina (po 4/6 inch sa po jednim kanalom)
|
||||
|
Monitoriranje protoka tekućine za obrnuto lepljenje: plutajući prometni brojač
|
||||
|
Opseg protoka tekućine za obrnuto lepljenje: 20-200ml/min
|
||||
|
Metod fiksacije čipa: malopovršinski vakuum adsorpcija Chuck
|
||||
|
Alarm za vakuumski pritisak: digitalni senzor vakuumskog pritiska
|
||||
|
Materijal šipke: PPS
|
||||
|
Materijal čaše: PP
|
||||
|
Monitoring ispuštanja iz čaše: digitalni senzor pritiska
|
||||
|
6 |
Jedinica za razvijanje |
Zaštita: da
|
||
|
Količina: 2 skupa (sledeće su konfiguracije za svaku jedinicu)
|
||||
|
Brzina rotacije vijaka: -5000rpm~5000rpm
|
prijevojni valjci
|
|||
|
Preciznost rotacije vijka: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Najmanja prilagodba brzine rotacije vijka: 1rpm
|
||||
|
Maksimalno ubrzanje rotacije vijka: 20000rpm/s
|
prijevojni valjci
|
|||
|
Ruka za razvijanje: 1 set
|
||||
|
Cevlja za razvijanje: 2-putna (ventil-slična/kolona oblika)
|
||||
|
Filtracija razvijača: 0.2um
|
||||
|
Kontrola temperature razvijača: 23 ± 0.5 ℃
|
оpciono
|
|||
|
Opseg protoka rješenja za razvijanje: 100~1000ml/min
|
||||
|
Način kretanja ruke za razvijanje: fiksna točka ili skeniranje
|
||||
|
Ruka za spojivanje: 1 set
|
||||
|
Kondukt deionizirane vode: 1 krug
|
||||
|
Precnik duze deionizirane vode: 4mm (unutrašnji precnik)
|
||||
|
Opseg protoka deionizirane vode: 100~1000ml/min
|
||||
|
Kondukt za sušenje nitrogenom: 1 krug
|
||||
|
Precnik duze za nitrogen: 4mm (unutrašnji precnik)
|
||||
|
Opseg protoka nitrogena: 5-50L/min
|
||||
|
Monitoriranje protoka razvijača, deionizirane vode i nitrogena: plutajući prometni brojač
|
||||
|
Cevovod za obrnuto lepljenje: 2 načina (po 4/6 inch sa po jednim kanalom)
|
||||
|
Monitoriranje protoka tekućine za obrnuto lepljenje: plutajući prometni brojač
|
||||
|
Opseg protoka tekućine za obrnuto lepljenje: 20-200ml/min
|
||||
|
Metod fiksacije čipa: malopovršinski vakuum adsorpcija Chuck
|
||||
|
Alarm za vakuumski pritisak: digitalni senzor vakuumskog pritiska
|
||||
|
Materijal šipke: PPS
|
||||
|
Materijal šipke: PPS
|
||||
|
Materijal čaše: PP
|
||||
|
Monitoring ispuštanja iz čaše: digitalni senzor pritiska
|
||||
|
7 |
Jedinica za lepljenje |
Količina: 2
|
оpciono
|
|
|
Raspon temperature: sobna temperatura~180 ℃
|
||||
|
Jednakost temperature: Sobna temperatura~120 ℃± 0,75 ℃
120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Ukloniti 10mm sa ivice, osim otvora za izbacivački čep) |
||||
|
Najmanja količina prilagođavanja: 0,1 ° C
|
||||
|
Metod temperaturne kontrole: PID prilagođavanje
|
||||
|
Raspon visine PIN-a: 0-20mm
|
||||
|
Materijal PIN-a: telo SUS304, cap PIN čep PI
|
||||
|
Prostornina pećenja: 0,2mm
|
||||
|
Alarm prekomere: alarm za pozitivnu i negativnu odstupanje
|
||||
|
Način snabdevanja: Burbijanje, 10 ± 2ml/min
|
||||
|
Vakuumska radnja: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Jedinica za toplu ploču |
Količina: 10
|
||
|
Opseg temperature: sobna temperatura~250 ℃
|
||||
|
Jednakost temperature: Sobna temperatura~120 ℃± 0,75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Ukloniti 10mm sa ivice, osim otvora za izbacivački čep) |
||||
|
Najmanja prilagodba: 0.1 ℃
|
||||
|
Metod temperaturne kontrole: PID prilagođavanje
|
||||
|
Raspon visine PIN-a: 0-20mm
|
||||
|
Materijal PIN-a: telo SUS304, cap PIN čep PI
|
||||
|
Prostornina pećenja: 0,2mm
|
||||
|
Alarm prekomere: alarm za pozitivnu i negativnu odstupanje
|
||||
|
9 |
Jedinica za hladnu ploču
|
Količina: 2
|
||
|
Opseg temperature: 15-25 ℃
|
||||
|
Metod hlađenja: stalna temperatura cirkulacionog pumpe za hlađenje
|
||||
|
10 |
Dostava kemijskih tvari |
Skladiste fotoresista: pneumatic glue pump * 4 skupa (opcioni rezervoar ili električna lepljiva pumpe)
|
||
|
Količina lepljenja: maksimalno 12ml po sesiji, tačnost ± 0.2ml
|
||||
|
Uklanjanje ivica / pranje sa zadnjeg strane / Dostavljac RRC: 18L tlak rezervoara * 2 (automatsko dopunjavane)
|
||||
|
Monitoriranje nivoa tečnosti za uklanjanje ivica / pranje sa zadnjeg strane / RRC: fotoelektronski senzor
|
||||
|
Monitoriranje nivoa fotoresista: fotoelektronski senzor
|
||||
|
Otpisivanje otpadnih tečnosti uniformnog lepliva: 10L otpadnih tečnosti rezervoar
|
||||
|
Dostava razvijača: 18L tlak rezervoara * 4 (spremljeno u hemijskom šafu van mašine)
|
||||
|
Dostava deionizovane vode: direktna dostava iz fabrike
|
||||
|
Razvoj monitoriranja nivoa tečnosti: fotoelektrični senzor
|
||||
|
Otpuštanje otpadaka tijekom razvoja: otpuštanje otpadaka iz fabrike
|
||||
|
Dostavljanje takičera: 10L pritiskna četvru * 1, 2L pritiskna četvru * 1
|
||||
|
Monitoriranje nivoa takičera: fotoelektrični senzor
|
||||
|
11 |
kontrolni sistem |
Način upravljanja: PLC
|
||
|
Sučelje za operacije s ljudima i strojevima: 17 inčni dodirni zaslon
|
||||
|
Neprekinuto izvorno opreme (UPS): Da
|
||||
|
Postavljanje šifričkih dozvola za operatere uređaja, tehničare, administratora
|
||||
|
Tip signalne kule: crvena, žuta, zelena 3 boje
|
||||
|
12 |
Indikatori pouzdanosti sistema
|
Uptime: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500h
|
||||
|
MTTR: ≤ 4h
|
||||
|
MTBA: ≥24h
|
||||
|
Stopa fragmentacije: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Ostale funkcije
|
Žuta svetla: 4 skupa (pozicija: iznad jedinice za mešanje leja i razvoj)
|
||
|
THC: Da, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
оpciono
|
|||
|
FFU: Klase 100, 5 skupa (procesna jedinica i ROBOT područje)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Sva prava zadržana
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
