Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
EN
Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
Добиј цитат

Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.

Početna Strana
O Nama
МХ опрема
Решење
Изванморски корисници
Video
Контактирајте нас
Домаћи ПВД ЦВД АЛД РИЕ ИЦП ЕБЕАМ
  • MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма
  • MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма
  • MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма
  • MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма

MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма

Добијте бесплатни цитат
Опис производа

MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за гравирање

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Извршна резиме

Опрема је двокамерни вакуумски систем. Једна камера је камера за убризгавање узорка, а друга је камера за резивање. Помеђу камере за убризгавање узорка и камере за резање инсталирана је вакуумска брава, а убризгавање узорка транспортује манипулатор.
Опрема се углавном састоји од вакуумског система, система гасног кола, електричног система, система за контролу, система хлађења, механизма за храњење и узимање филма, система аларме итд.

Вакуумски систем

Систем се састоји од молекуларне пумпе са брзином пумпања од 600 Л/С + увозене вакуумске суве пумпе са брзином пумпања од Л/С како би се ецкинг камера пумпала до високог вакуума. Електрично-динамички вентил за регулисање притиска инсталиран је између молекуларне пумпе и коморе за резивање. Увозене сухе пумпе су пред-пумпе за еццинг камеру и предње стадије пумпе молекуларне пумпе. Користите другу механичку пумпу са брзином пумпања од L / s да бисте вакуирали пробирну комору. Мехника је опремљена са стаљеним стакленим мехом.

Система за контролу константног притиска

Опрема је опремљена системом за контролу константног притиска доле по поток, а електрични регулисани вентил је инсталиран у цеви за извлачење ваздуха. Кроз мерење филмова (импортованих делова), регулисани вентил се контролише тако да вакуумска комора достигне константан притисак, како би се побољшала стабилност процеса.

Система за контролу константног притиска

Опрема је опремљена системом за контролу константног притиска доле по поток, а електрични регулисани вентил је инсталиран у цеви за извлачење ваздуха. Кроз мерење филмова (импортованих делова), регулисани вентил се контролише тако да вакуумска комора достигне константан притисак, како би се побољшала стабилност процеса.

Гасни систем кола

Два сета РФ напајања са аутоматским усавршавањем.

Системи за аларм

Безбедносни захтеви за опрему.
Спецификација
Naziv
Спц
Brend
Не. / Постављен
Примена
Камера за резирање, цев за извлачење ваздуха, прозор за посматрање, резервисани интерфејс итд.
Standardne
ЈСВН
1
Антикорозивна
Облик, електрични кабинет, запљуци, стандардни делови итд.
Standardne
ЈСВН
1
Системи за подизање поклопа камере за ецкинг
Standardne
ЈСВН
1
Антикорозивна
Електрода за ецкинг и систем за хлађење
Standardne
ЈСВН
1
Антикорозивна
Молекуларна пумпа (брзина пумпања 600 L / s)
ФВ620/150
КИКИ
1
Антикорозивна
Улазна сува пумпа (брзина пумпања 9 Л / с)
ХДС-35И
ЕДВАРДС
1
Антикорозивна
Механичка пумпа (брзина пумпања 9 L / s)
ТРП-36
БВВАЦ
1
Електрички регулисачки вентил
DCQ-150
ЈСВН
1
Антикорозивна
Пневматични баловски затварач
КФ40
ЈСВН
3
Антикорозивна
Филмски калибар
КФ16
Инфикон
1
Антикорозивна
Регулатор проток масе
Д07
Седум звездица
4
Антикорозивна
Пневматични дијафрагмански вентил
1/4′′ видео рекордер
-
4
Антикорозивна
Труба од нерђајућег челика, зглобови цеви, итд.
1/4′′ видео рекордер
-
4
Антикорозивна
РФ напајање / аутоматски мачер
-
Кина ((ОпционалноКОРОНА1310)
1
РФ напајање / аутоматски мачер
-
Кина ((ОпционалноКОРОНА1310)
1
Композитни вакуумски гамбар
ЗДФ
РБ
1
ИПЦ
2У
Kini
1
ЛЦД тач екран
17 инча
Kini
1
ПЛЦ систем управљања
С7-200
Сименс
1
Електрични систем за управљање погоном
Standardne
ЈСВН
1
Система за детекцију хладне воде и цевовод
Standardne
ЈСВН
1
Системи за детекцију и цевоводску систему компресивног ваздуха
Standardne
ЈСВН
1
Машина за хлађење циркулисане воде
ХХ
Kini
1
Камера за убризгавање за резирање
Standardne
ЈСВН
1
Вакуумска брава
СМЦ
СМЦ
1
Система управљања манипулатором
СМЦ
СМЦ
1

Технички параметар поште

1. у вези са Гранични вакуум: Камера за резивање 9,0×10-5Па (унутрашња влажност≤55%)
Камера за убризгавање узорка 6.0×10-1Па
2. Уколико је потребно. Материјал за резирање: III、VМатеријал, Си 、СиО2, итд.
3. Уколико је потребно. Брзина резирања: ~ 1μ/мин
4. Уколико је потребно. Уједноставност гравирања: ≤±5% (промежај φ125mm)
6. Уколико је потребно. Величина електрода: φ200mm
Pakovanje i dostava
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
Да би се боље осигурала безбедност ваших роба, пружиће се професионална, еколошка, погодна и ефикасна услуга паковања.
Profil kompanije
Имамо 16 година искуства у продаји опреме. Можемо вам пружити једноставан полупроводник фронт-енд и бацк-енд опрему пакета линије професионално решење из Кине.
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma supplier

Više proizvoda

UPIT

Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана

Politika privatnosti

UPIT Email Whatsapp WeChat
Vrh
×

Stupite u vezu s nama