Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
EN
Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
Добиј цитат

Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.

Почетна страница
О нама
МХ опрема
Решење
Изванморски корисници
Видео
Контактирајте нас
Домаћи ПВД ЦВД АЛД РИЕ ИЦП ЕБЕАМ
  • MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма
  • MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма
  • MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма
  • MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма

MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за резбовање / полупроводничка опрема Индуктивно повезана плазма

Добијте бесплатни цитат
Опис производа

MDICP-5000F Потпуно аутоматска ИЦП машина за гравирање

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Извршна резиме

Опрема је двокамерни вакуумски систем. Једна камера је камера за убризгавање узорка, а друга је камера за резивање. Помеђу камере за убризгавање узорка и камере за резање инсталирана је вакуумска брава, а убризгавање узорка транспортује манипулатор.
Опрема се углавном састоји од вакуумског система, система гасног кола, електричног система, система за контролу, система хлађења, механизма за храњење и узимање филма, система аларме итд.

Вакуумски систем

Систем се састоји од молекуларне пумпе са брзином пумпања од 600 Л/С + увозене вакуумске суве пумпе са брзином пумпања од Л/С како би се ецкинг камера пумпала до високог вакуума. Електрично-динамички вентил за регулисање притиска инсталиран је између молекуларне пумпе и коморе за резивање. Увозене сухе пумпе су пред-пумпе за еццинг камеру и предње стадије пумпе молекуларне пумпе. Користите другу механичку пумпу са брзином пумпања од L / s да бисте вакуирали пробирну комору. Мехника је опремљена са стаљеним стакленим мехом.

Система за контролу константног притиска

Опрема је опремљена системом за контролу константног притиска доле по поток, а електрични регулисани вентил је инсталиран у цеви за извлачење ваздуха. Кроз мерење филмова (импортованих делова), регулисани вентил се контролише тако да вакуумска комора достигне константан притисак, како би се побољшала стабилност процеса.

Система за контролу константног притиска

Опрема је опремљена системом за контролу константног притиска доле по поток, а електрични регулисани вентил је инсталиран у цеви за извлачење ваздуха. Кроз мерење филмова (импортованих делова), регулисани вентил се контролише тако да вакуумска комора достигне константан притисак, како би се побољшала стабилност процеса.

Гасни систем кола

Два сета РФ напајања са аутоматским усавршавањем.

Системи за аларм

Безбедносни захтеви за опрему.
Спецификација
Име
Спц
Марка
Не. / Постављен
Примена
Камера за резирање, цев за извлачење ваздуха, прозор за посматрање, резервисани интерфејс итд.
Стандард
ЈСВН
1
Антикорозивна
Облик, електрични кабинет, запљуци, стандардни делови итд.
Стандард
ЈСВН
1
Системи за подизање поклопа камере за ецкинг
Стандард
ЈСВН
1
Антикорозивна
Електрода за ецкинг и систем за хлађење
Стандард
ЈСВН
1
Антикорозивна
Молекуларна пумпа (брзина пумпања 600 L / s)
ФВ620/150
КИКИ
1
Антикорозивна
Улазна сува пумпа (брзина пумпања 9 Л / с)
ХДС-35И
ЕДВАРДС
1
Антикорозивна
Механичка пумпа (брзина пумпања 9 L / s)
ТРП-36
БВВАЦ
1
Електрички регулисачки вентил
DCQ-150
ЈСВН
1
Антикорозивна
Пневматични баловски затварач
КФ40
ЈСВН
3
Антикорозивна
Филмски калибар
КФ16
Инфикон
1
Антикорозивна
Регулатор проток масе
Д07
Седум звездица
4
Антикорозивна
Пневматични дијафрагмански вентил
1/4′′ видео рекордер
-
4
Антикорозивна
Труба од нерђајућег челика, зглобови цеви, итд.
1/4′′ видео рекордер
-
4
Антикорозивна
РФ напајање / аутоматски мачер
-
Кина ((ОпционалноКОРОНА1310)
1
РФ напајање / аутоматски мачер
-
Кина ((ОпционалноКОРОНА1310)
1
Композитни вакуумски гамбар
ЗДФ
РБ
1
ИПЦ
2У
Кина
1
ЛЦД тач екран
17 инча
Кина
1
ПЛЦ систем управљања
С7-200
Сименс
1
Електрични систем за управљање погоном
Стандард
ЈСВН
1
Система за детекцију хладне воде и цевовод
Стандард
ЈСВН
1
Системи за детекцију и цевоводску систему компресивног ваздуха
Стандард
ЈСВН
1
Машина за хлађење циркулисане воде
ХХ
Кина
1
Камера за убризгавање за резирање
Стандард
ЈСВН
1
Вакуумска брава
СМЦ
СМЦ
1
Система управљања манипулатором
СМЦ
СМЦ
1

Технички параметар поште

1. у вези са Гранични вакуум: Камера за резивање 9,0×10-5Па (унутрашња влажност≤55%)
Камера за убризгавање узорка 6.0×10-1Па
2. Уколико је потребно. Материјал за резирање: III、VМатеријал, Си 、СиО2, итд.
3. Уколико је потребно. Брзина резирања: ~ 1μ/мин
4. Уколико је потребно. Уједноставност гравирања: ≤±5% (промежај φ125mm)
6. Уколико је потребно. Величина електрода: φ200mm
Паковање и испорука
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
Да би се боље осигурала безбедност ваших роба, пружиће се професионална, еколошка, погодна и ефикасна услуга паковања.
Профил компаније
Имамо 16 година искуства у продаји опреме. Можемо вам пружити једноставан полупроводник фронт-енд и бацк-енд опрему пакета линије професионално решење из Кине.
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma supplier

Више производа

Истраживање

Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана

Политике приватности

Истраживање Email Ватсап Врх
×

УТРЕБНО