MDHS-AL8 8" потпуно аутоматска једнострана литографска машина , China MDHS-AL8 8" потпуно аутоматска једнострана литографска машина Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис производа

MDHS-AL8 8" потпуно аутоматска једнострана литографска машина

1. у вези са Радни режим: Робот за учитавање аутоматски учитава плочице из кутије за плочице А-Б (рециклибилан) на предпостављање

радна маса, а регулисањем позиционираног плоча камере и аутоматског ротационог система, постигнуто је претходно позиционирање плочице; Робот за учитавање затим учитава претходно позициониране плочице на радну масу за изравнање. Кроз компјутерско препознавање слике и аутоматско подешавање система усклађивања, може се постићи аутоматско усклађивање графике на маси и плочицама. Такође је могуће завршити једну експозицију без усклађивања графике. Након аутоматског излагања системом преекспозиције, робот за ислажење аутоматски ставља вафере у кутију за вафере Ц-Д (рециклирајући).
2. Уколико је потребно. Област изложености: 160 × 160 мм;
3. Уколико је потребно. Неравномерна осветљеност изложености: ≤ 3%;
4. Уколико је потребно. Интензитет изложености: 0~≥ 40mw/cm2 подешава се (угао зрака 2 °);
5. Појам Угао УВ зрака: ≤ 3 °;
6. Уколико је потребно. Централна таласна дужина ултраљубичастог светлости: 365nm;
7. Продолживност живота УВ светлосног извора: ≥ 20000 сати;
8. Уколико је потребно "Снажног капацитета" (SN)
9. Точност поравнања: ≤ ± 1,5 μM;
десет. Точност излагања: контактна излагања ± 1 μm. Раздељење блиске експозиције 20 μ M угла зрака 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Методе излагања: тврди контакт, мек контакт и блиска излагања;
12. Режим изложености: Можете изабрати између једнократне или измењене изложености
13. Система за препознавање слике и аутоматску ротацију за предпозиционирање (укључујући радни стол за предпозиционирање): угао ротације Q ≥ ± 180 °, тачност ротације Q ≤ 0,01 °;
14. Система препознавања слике и аутоматског усклађивања (укључујући радни стол за усклађивање УВВ): распон усклађивања Х Y ≥ ± 5 мм, угао ротације К ≥ ± 3 °, а два сочива микроскопа управљају две електричне платформе XYZ.
15. - Да. Величина маске: 5 " × 5 " и 7 " × 7 ";
16. Величина вафера: 4 "и 6";
17. Горње и доње радне станице за филмове кутије: двоструке радне станице;
18. Аирбаг за јастуке ногу
19. Запрема и ислазак двојне роботичке руке: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. -Да. Број плочица у кутији за плочице: одређен на основу броја плочица у кутији за плочице купца;
21. Подизање стола за позиционирање: Z ≥ ± 25mm;
22. -Да. Времен експозиције: подешава се од 0 до 999,9 секунди;
23. Производња: > 120 комада на сат;
24. -Да. Податак енергије: једнофазни AC220V 50Hz, потрошња енергије ≤ 3KW;
25. -Да. притисак чистог ваздуха: ≥ 0,4 МПа;
26. Степен вакуума: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Величина: 1400 * 1000 * 2100 мм;
28. -Не. Тежина: око 400 кг

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Ова машина се састоји од ЛЕД ултраљубичастог главе експозиције, препознавања слике и аутоматског ротационог система, унапред постављене радне столице, и слике као препознавање и аутоматске системе усклађивања, усклађивања радне столице, пуњење робота, пуњење

Спецификација

1. у вези са "Снажна" (S) је једна од најзначајнијих у свету.
2. Уколико је потребно. Радна маса за препознавање слике и пре-распоређивање:
1) 1 камера (1,3 милиона пиксела)
2) Средња позиционирачка опрема
3) 1 сет ротирајуће платформе (са сервомотором)
4) 1 сет система позиционирања
3. Уколико је потребно. Система препознавања слике и аутоматског усклађивања:
1) 2 камере (5 милиона пиксела високе брзине кадра)
2) 2 сочива (4х сочива високе дефиниције)
3) Један индустријски рачунар
4) Један контролер (управљен ПЛЦ-ом)
5) један сет платформа за усклађивање (које користе 5-фазни стпепер мотор)
6) Наклад спортског система
7) Уређај за горњу плочу усваја мотор за подизање и спуштање
7) Софтвер усваја најновију верзију ЛабВИЕВ Професионал Едиције
4. Уколико је потребно. Механичка рука за учитавање и ислажавање:
1) Х И. Сет Z аутоматског покретачког механизма
2) Двострука роботизована рука (потопање и истопање руку)
5. Појам Механизам за фиксацију кутије за вафере:
1) АБ је фиксно положај кутије за похрање филмова
2) ЦД је фиксно положај кутије за резање филмова
3) Г је фиксно положај NG позиционе филмове кутије
6. Уколико је потребно. Камера фиксне платформе:
7. Два сета електричних механизама за регулисање Y.Z (управљани сервомоторима)
8. Уколико је потребно Рек и електрична контролна конзола:
1) 1 индустријски рачунар
2) један сет ПЛЦ-а;
3) Један сет електромагнетних вентила и контролног система
4) Комплет дигиталних пнеуматских инструмената
5) Један скуп контролне конзоле
8. Постање Запртни прикључци:
1) Трахеја: 15 метара
2) 2 соленоидни вентили
3) Вакуумска пумпа: 1 јединица
9. Технички подаци:
1) Један упутство за употребу
2) Један сертификат о усаглашености
десет. Додатна
Софтвер опреме треба да буде опремљен СЕКС комуникационим протоколом, а купац обезбеђује динамичку библиотеку са функцијом докинга са системом МЕС купаца, аутоматски снимајући број партије производа, број залога и статус рада и учитавајући их. Истовремено, има функцију идентификације КР кода маске, упоређивања са КР кодом маске МЕС система и спречавања узимања погрешне маске.

Паковање и испорука