MDHS-AL8 8" Potpuno automatski jednostrani mašinski uređaj za fotolitografiju , China MDHS-AL8 8" Potpuno automatski jednostrani mašinski uređaj za fotolitografiju Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis Proizvoda

MDHS-AL8 8" Potpuno automatski jednostrani mašinski uređaj za fotolitografiju

1. Način rada: Robota za učitavanje automatski prenosi talase iz A-B (ponovno koristićeg) kutije za talase na prethodno pozicioniranje

radna površina, a putem prilagođavanja pozicioniranja kamerom i automatskog sistema rotacije wafera postiže se prethodno pozicioniranje wafera; nakon toga robota za učitavanje učitava prepozicionirane wafera na radnu površinu za poravnanje. Putem računarske slike prepoznavanja i automatske regulacije sistema poravnanja, može se postići automatsko poravnanje grafike na maski i waferima. Takođe je moguće izvršiti jedno ekspoziranje bez poravnanja grafike. Nakon automatskog ekspoziranja preko sistema prekomernog ekspoziranja, robota za isklapanje automatski stavlja wafera u kutiju za wafer (C-D - ponovno koristivu);
2. Područje ekspoziranja: 160 × 160mm;
3. Neregularnost ekspozicije osvetljenja: ≤ 3%;
4. Intenzitet ekspozicije: 0~≥ 40mw/cm2 prilagodljivo (ugao zraka 2 °);
5. UV ugao zraka: ≤ 3 °;
6. Centar talasne dužine ultraljubičastog svetla: 365nm;
7. Životni vek UV izvora svetlosti: ≥ 20000 sati;
8. Kapacitet odvojivanja: 0~≥ 1000um prilagodljivo;
9. Tačnost poravnanja: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Tačnost ekspozicije: Kontaktna ekspozicija ± 1 μm. Približna ekspozicija odvojena za 20 μm, ugao zraka 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Metode ekspozicije: tvrdi kontakt, meki kontakt i približna ekspozicija;
12. Režim ekspozicije: Možete izabrati između jednokratne ekspozicije ili pomernog otkaza
13. Prepoznavanje slike i sistem automatskog rotiranja (uključujući stol za prepoznavanje): ugao rotacije Q ≥ ± 180 °, tačnost rotacije Q ≤ 0.01 °;
14. Sistem prepoznavanja slike i automatskog poravnanja (uključujući UVW radnu površinu): opseg poravnanja X Y ≥ ± 5mm, ugao rotacije Q ≥ ± 3 °, a dva objektiva mikroskopa kontrolisu se sa dve XYZ električne platforme.
15. Veličina maska: 5 " × 5 "i 7" × 7 ";
16. Veličina wafera: 4 "i 6";
17. Gornja i donja film kutija radne stanice: dvostruka radna stanica;
18. Podnožje vazdušna vrećica
19. Dvostručna robota ruka za učitavanje i isklapanje: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Broj vafli u kutiji za vafle: određeno na osnovu broja vafli u kutiji za vafle kupca;
21. Povlačenje pozicioniranog stola: Z ≥ ± 25mm;
22. Vreme ekspozicije: podešivo između 0 i 999,9 sekundi;
23. Ritam proizvodnje: >120 komada po satu;
24. Električna snabdeva: jednofazni AC220V 50Hz, potrošnja snage ≤ 3KW;
25. Pritisak čistog zraka: ≥ 0,4MPa;
26. Stopnja vakuum-a: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Dimenzije: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Težina: Otprilike 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Ova mašina se sastoji od LED ultrafioleteksponirajuće glave, sistema za prepoznavanje slika i automatsko rotiranje, radne površine za prethodno pozicionisanje, kao i sistema za prepoznavanje slika i automatsko poravnanje, poravnih radnih površina, robota za učitavanje, robota za isklapanje, polica i električnog upravljanja Opreme, rezervnih dodataka itd.

Specifikacija

1. Glava za ekspoziciju: Jedna LED ultrafioletska glava za ekspoziciju (365nm);
2. Radna banka za prepoznavanje slike i preliminarno poravnanje:
1) 1 kamera (1.3 milijuna piksela)
2) Fiksna priključnica za centriranje
3) 1 skup rotirajuće platforme (koristeći servomotor)
4) 1 skup sistema za pozicioniranje
3. Sistem za prepoznavanje slike i automatsko poravnanje:
1) 2 kamere (5 milijuna piksela visoka brzina frejmova)
2) 2 leće (4x visoke definicije leće)
3) Jedan industrijski računar
4) Jedan kontroler (upravljan PLC-om)
5) Jedan skup aligmentne platforme (koristi 5-fazni korakmotor)
6) Skup sportskog sistema
7) Uređaj gornje ploče koristi motor za podizanje i spuštanje
7) Softver koristi najnoviju verziju LabVIEW Professional Edition
4. Mašinski robota za učitavanje i isključivanje:
1) X Y. Skup Z automatskog pomičnog mehanizma
2) Dvostruki robotaški ram (ramovi za učitavanje i isključivanje)
5. Mehanizam fiksacije wafer kutije:
1) AB je fiksno pozicioniranje filmske kutije
2) CD je fiksna pozicija kutije za seču film
3) G je fiksna pozicija kutije za NG poziciju filma
6. Fiksna platforma kamere:
7. Dve skupine Y.Z električnih regulacionih mehanizama (upravljaju se servomotorima)
8. Stojala i konzola električnog upravljanja:
1) 1 industrijski računar
2) Jedan skup PLC;
3) Jedan skup elektromagnetskih klape i sistema upravljanja
4) Skup digitalnih pneumatickih instrumenta
5) Jedan skup konzole upravljanja
8. Dodatne priloge:
1) Trahеalna: 15 metara
2) 2 solenoid vratila
3) Vakuumska pumpe: 1 jedinica
9. Tehnički podaci:
1) Jedan korisnički priručnik
2) Jedan sertifikat o ugovoru
10. Dodatno
Softver opreme mora da bude opremljen SECS komunikacionim protokolom, a prodavac pruža dinamičku biblioteku sa funkcijama za vezivanje sa MES sistemom kupca, automatski snimanje broja serije proizvoda, broja posla i stanja operacije te njihovo štampanje. Isto tako, ima mogućnost identifikacije QR koda maska, uspoređivanja istog sa QR kodom maska iz MES sistema i sprečavanja uzimanja pogrešne maske.

Pakovanje i dostava