Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.

Почетна страница
О нама
МХ опрема
Решење
Изванморски корисници
Видео
Контактирајте нас
Домаћи Лабораторијска полупроводничка опрема
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске
  • Машину за литографију маске

Машину за литографију маске

Опис производа

Машину за литографију маске

Маска Алайнер Такође познат као: маска алайнирање машине за излагање, систем излагања, литографски систем, итд., је основна опрема за производњу чипова. Користи технологију сличну фото штампању да би се фини обрасци на маски штампали на силицијумску вафер путем излагања светлости.
Карактеристично
врху једнородност главе експозиције у мушије око / механизам нивелирања флотације ваздуха / поуздана експозиција вакуумског запљачкања.
напредње карактеристике осигуравају високу резолуцију и високу униформитет.
метод изређивања маском одржава стабилно и подлоге хране, који осигурају конзистенцију водича гравитације и силе.
коришћење правог водича без празнина, висока прецизност, брза брзина.

Производња високопрецизног система усклађивања мора имати скоро савршен прецизан механички процес. Још један технички проблем система усклађивања је усклађивање микроскопа. Да би се побољшало поле вида микроскопа, многе литографске машине са високим квалитетом користе ЛЕД осветљење. Постоје два сета система усклађивања са функцијом фокусирања. Углавном се састоји од два ока и два поља вида која се усмеравају на главно тело микроскопа, једног пара окула и једног пара објективног сочива (литографија)
машина обично пружа окулатор и објективну лећу са различитим увећањем за кориснике). Функција ЦЦД система усклађивања је да увећа знакове усклађивања маске и узорка и слика их на монитору.
Спецификација
Произвођач
Миндар-Хицтек
Миндар-Хицтек
Миндар-Хицтек
Миндар-Хицтек
Модел
МД-Г25А
МД-Г25Д
МД-Г31
МД-Г33
Глава експозиције НО.
1 Глава експозиције
1 Глава експозиције
2 Глава експозиције
2 Глава експозиције
Тип извора светлости
Извор лампе за живац
Извор ултраљубичасте светлости
Извор лампе за живац
Извор ултраљубичасте светлости
Област експозиције
≤100 мм
φ100мм
≤120 мм
≥115 мм
Режим излагања
Изложеност контакту
технологија паралелног управљања микросилом
технологија паралелног управљања микросилом
технологија паралелног управљања микросилом
Неравномерност изложености
100 мм < ± 4%
≤±3%
100mm≤±6%
≤±3%Интензитет излагања ≥20mw/cm2 ((365nm,
404nm,435nmКомбинирани УВ
Дебљина субстрата
1-5 мм
≤ 5 мм
0,1-1 мм
≤ 5 мм
Резолуција експозиције
3μм
1 мкм
5 мкм
1 мкм
Размај осветљења
115мм
120 мм
120 мм
130мм
Систем камере
Бинокуларни систем за раздвајање
двоструко-поље ЦЦД систем
двоструко-поље ЦЦД систем
двоструко-поље ЦЦД систем
Микроскопски систем
50-375 континуиран зум
91х ~ 570Х континуиран зум (обицај 1.6х ~ 10х континуиран зум), подешавајући опсег удаљености двоструке објективне објекције је
50 мм ~ 120 мм
0,7-4,5 континуиран зум
60х, 120х континуиран зум
(оптерећење обектива 2х, 4х два), двоструки објекат подешавајући растојање 25mm-70mm
Профил компаније
Миндр-Хигтех је продајни и сервисни представник у полупроводничкој и електронској индустрији опреме. Од 2014. године, компанија је посвећена пружању клијентима супериорних, поузданих и једносталних решења за машинску опрему.
Често постављене питања
1. Постављање О Прајсу:
Све наше цене су конкурентне и преговарају се. Цена варира у зависности од комплексности конфигурације и прилагођавања вашег уређаја.

2. Постављање О примерак:
Можемо вам пружити услуге производње узорака, али можете да платите неке накнаде.

3. Уколико је потребно. О плаћању:
Након што је план потврђен, прво морате нам платити депозит, а фабрика ће почети да припрема робу. Када опрема буде спремна и ти плати остатак, ми ћемо је испоручити.

4. Уколико је потребно. О испоруци:
Након што се производња опреме заврши, послаћемо вам видео за прихватање, а такође можете доћи на локацију да прегледате опрему.

5. Појам Инсталација и дебагирање:
Након што опрема стигне у вашу фабрику, можемо послати инжењере да инсталирају и дебагују опрему. Ову накнаду за услугу ћемо вам дати одвојеном цитатом.

6. Уколико је потребно. О гаранцији:
Наша опрема има гаранцију од 12 месеци. Након гарантног периода, ако су неки делови оштећени и треба их заменити, наплаћићемо само трошковну цену.

Истраживање

Истраживање Email Ватсап Врх
×

УТРЕБНО