






|
Плазма
|
RF
|
RF
|
||
|
Snaga
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
|
BIAS
|
600w(opcija)
|
600w(opcija)
|
||
|
Oblast primene
|
4~8 inch
|
4~8 inch
|
||
|
Broj jednokratno obrađivanih šalova
|
1
|
2
|
||
|
Димензије изгледа
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
|
Upravljanje sistemom
|
Sistem Za Industrijsko Upravljanje
|
Sistem Za Industrijsko Upravljanje
|
||
|
Ниво аутоматизације
|
automatski
|
automatski
|
||






Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Sva prava zadržana