 
  
| Model  | MDTS-WT2200  | 
| Broj osa za ređanje  |  2 | 
| Број радних столова  | 3, Indeksna metoda  | 
| Osovina čepiva  | Broj vazdušnih špindela: 2  Motor špindela: promenljivo frekvencijski motor od 7.5kW Brzina: 0~6000obr/min, bezstepeno prilagodljiva Specifikacija točnog kota: Φ203mm Tip točnog kota: dijamantski točni kot | 
| Sistem za povećanje točnog kota  | Količina: 2 komada  Metod upravljanja sistemo za pakanje: LM vodič i loptasta šipka комбинација Motor pogona: servomotor Najmanja brzina pakanja: 0.1um/sec Najveća brzina pakanja: 50mm/sec | 
| Radna klupa    | Količina: 3, indeksni režim  Motor vrtnice: Servomotor Brzina: 0~300okr/min, bezreperno prilagodljiva Metod adsorpcije: Vakuumska adsorpcija | 
| Radna ploča rotirajućeg stola  | Režim pogona: servomotor  Opseg rotacije: 0~240° Oblik pozicioniranja: senzorska asistencija za pozicioniranje | 
| Automatska debljina  sistem merenja | Metod merenja: IPG kontakt online stvarno-vremensko merenje  Broj mernih glava: 2 Merni senzor: senzor nivoa 0.1um | 
| Automatsko učitavanje/  sistem isključivanja | Tip kutije: 6-8inch Cassette, 25 slojeva  Metod automatskog učitavanja/isključivanja: koristi se manipulator za veštače da bi se osiguralo da se tanki veštači prevoze bez štete Debljina wafera: 150um-1000um | 
| Funkcija čišćenja radne površine  | Metod čišćenja: Poliranje olivnim kamenjem & DI voda + vazduh dvostručno pranje  | 
| Automatsko čišćenje/  sistem sušenja | Čišćenje: Pranje izljevom za DIW  Metod sušenja: Fukavanje + sušenje Brzina: max1000rpm bezstepeno prilagođiva | 
| Sistem za eliminaciju statičkog elektriciteta  | Ionska traka ili Orion ventilator  | 
| Hlačer špindla  | Temperatura: 18-22°C  Protok: 4~8L/min | 
| Kontrolni sistem    | Sistem kontrole: PC sistem kontrole, dodirni ekran, 3-bojni alarmski signal  Kineski/engleski sučelje s čovjekom i mašinom | 
| Maksimalna veličina plastine  | Maksimalno kompatibilno sa 8 inča  | 
| Opseg brzine    | 0~6000 RPM  | 
| Putovanje Z-ose    | 160mm    | 
| Brzina pomeranja Z ose  | 0.1~100um/sec  | 
| Brzina brze povlačenja Z-ose  | 50mm/sec  | 
| Rezolucija Z-ose  | 0.1um  | 
| Opseg merenja debljine online  | 0~1800um  | 
| Rezolucija merenja debljine u režimu online  | 0.1um  | 


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Sva prava zadržana