
Модел |
МДТС-ВТ2200 |
Број осва за ређивање |
2 |
Број радних столова |
3, метода индекса |
Смељак тркача |
Број ваздушних шпиндела: 2 Мотор на вртловима: мотор променљиве фреквенције од 7,5 kW Брзина: 0 ~ 6000 обртних минута, подесива без корак Спецификација млинског точкова: Φ203mm Тип мелења: дијамантни мелењац |
Систем за нахрањење млинског тока |
Количина: 2 сета Метода контроле система за храну: ЛМ вођска шина и лопатка комбинација Увозни мотор: сервомотор Минимална брзина за додавање: 0,1м/сек Максимална брзина за додавање: 50 мм/сек |
Радна маса |
Количина: 3, индексни режим Мотор за вртење: Сервомотор Брзина: 0 ~ 300 рпм, безстепно подешава Метода адсорпције: адсорпција у вакууму |
Радни тркач |
Режим вожње: сервомотор Диапазон ротације: 0 ~ 240° Форма позиционирања: позиционирање помоћу сензора |
Автоматска дебљина систем мерења |
Метода мерења: IPG контакт на мрежи за мерење у реалном времену Број мерећих глава: 2 Сензор за мерење: сензор нивоа од 0,1 мм |
Автоматско пуњење/ систем ислачења |
Тип кутије: 6-8 инчева Касета, 25 слојева Метод аутоматског учитавања/испуштања: користи се манипулатор плочице како би се осигурало да су танке плочице превозене без оштећења Дебљина вафера: 150um-1000um |
Функција чишћења радне столице |
Метода чишћења: полирање масте и ИДИ вода + ваздух двотечно оперење |
Автоматско чишћење систем сушења |
Чишћење: Чишћење ДИВ млазнице Метода сушења: душење +сушење Брзина: макс1000 рпм, прилагодљива без корака |
Статички систем елиминације |
Ионски баровски орионски вентилатор |
Финдл чилер |
Температура: 18-22°C Проток: 4 ~ 8Л/мин |
Контролни систем |
Контролни систем: ПЦконтролни систем, сензорни екран 3 боје Кинеско/англијски интерфејс човек-машина |
Максимална величина вафера |
Максимално компатибилно са 8 инча |
Диапазон брзине |
0 ~ 6000 рпм |
Покрет у з-оси |
160 мм |
Брзина за напајање у окси Z |
0,1 ~ 100um/сек |
Заједничка оска |
50 мм/сек |
Разрешавање оси Z |
0,1м |
Онлине опсег мерења дебелине |
0~1800um |
Резолуција мерења дебелине на мрежи |
0,1м |


Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана