Cepiva za čiscenje |
Veličina |
Инчи |
4,5,6,8 |
Kaseta za cepive |
Broj |
- |
2 |
Način trenja |
- |
Vertikalna metoda ponožnog čiscenja |
|
Osovina čepiva |
Tipovi |
- |
Vazdušne nosače |
Количина |
- |
2 |
|
Brzina |
min |
0~5000 |
|
Izlazna snaga |
KW |
5.5/7.5 |
|
Удар |
mm |
150 |
|
Brzina pomeranja |
um/s |
0.01~100 |
|
Brzina naprednog prelaska |
mm/min |
300 |
|
Rezolucija |
um |
0.1 |
|
Os radnog dela |
Tip |
- |
Kugle nosači |
Количина |
- |
3 |
|
Tip sušioca |
- |
Mikroporozna keramika |
|
Metoda sućenja vejfera |
- |
Vakuumska adsorpcija |
|
Brzina |
min |
0~300 |
|
Prenos vejfera |
- |
Робот Арм |
|
- |
Vrtuljasti disk |
||
Ostale funkcije |
Centriranje vejfera |
- |
Poravnavanje mobilnog pin-a |
Čišćenje vajfera |
- |
Čišćenje vode i vazduha, rotaciono sušenje |
|
Čišćenje sugernog šešira |
- |
Čišćenje šlehatne ploče |
|
Брусилица |
mm |
φ200 |
|
ONLINE merenje |
Opseg merenja |
um |
0~1800 |
Rezolucija |
um |
0.1 |
|
Tačnost ponavljanja |
um |
±0,5 |
|
Mašinska obrada tačnost |
Unutrašnja tačnost vajfera (TTV) |
um |
≤ 2 |
Vanjska tačnost vajfera (WTW) |
um |
±3 |
|
Rupestost površine (Ry) |
um |
0.13(2000# završetak) |
|
Изглед |
Boja izgleda |
um |
Narandžasti uzorak |
Dimenzije (Š×D×V) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Težina |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved