 
  
| Cepiva za čiscenje  | Величина  | Инчи  |  4,5,6,8 | 
| Kaseta za cepive  | Број  |  - |  2 | 
| Način trenja  |  - | Vertikalna metoda ponožnog čiscenja  | |
| Osovina čepiva  | Tipovi    |  - | Vazdušne nosače  | 
| Količina  |  - |  2 | |
| Brzina    | min    |  0~5000 | |
| Izlazna snaga  | KW    |  5.5/7.5 | |
| Удар  | mm  |  150 | |
| Brzina pomeranja  | um/s  |  0.01~100 | |
| Brzina naprednog prelaska  | mm/min  |  300 | |
| Rezolucija    | um    |  0.1 | |
| Os radnog dela  | Tip  |  - | Kugle nosači  | 
| Količina  |  - |  3 | |
| Tip sušioca  |  - | Mikroporozna keramika  | |
| Metoda sućenja vejfera  |  - | Vakuumska adsorpcija  | |
| Brzina    | min    |  0~300 | |
| Prenos vejfera  |  - | Робот Арм  | |
|  - | Vrtuljasti disk  | ||
| Ostale funkcije  | Centriranje vejfera  |  - | Poravnavanje mobilnog pin-a  | 
| Čišćenje vajfera  |  - | Čišćenje vode i vazduha, rotaciono sušenje  | |
| Čišćenje sugernog šešira  |  - | Čišćenje šlehatne ploče  | |
| Брусилица  | mm  | φ200  | |
| ONLINE  merenje | Opseg merenja  | um    |  0~1800 | 
| Rezolucija    | um    |  0.1 | |
| Tačnost ponavljanja    | um    |  ±0.5 | |
| Mašinska obrada  tačnost | Unutrašnja tačnost vajfera (TTV)  | um    |  ≤2 | 
| Vanjska tačnost vajfera (WTW)  | um    |  ±3 | |
| Rupestost površine (Ry)  | um    | 0.13(2000# završetak)  | |
| Изглед  | Boja izgleda  | um    | Narandžasti uzorak  | 
| Dimenzije (Š×D×V)  | mm  |  1200×2750×1950 | |
| Težina  | kg    |  4200 | 










Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Sva prava zadržana