HighLight
Увод: Ова опрема је инструмент за обојено магнетроново премазивање. Опремљен је са две магнетроне циљеве и два сета истоправних напајања. Може се користити за премазивање вишеслојних проводних металних филмова. Истовремено, опрема се састоји од два дела: главне коморе и прелазне коморе. Прелазна комора је опремљена магнетним гусачем и вакуумски вентил је инсталиран између две коморе. Корисници се могу уложити у пробе у транзициону комору и превакуум док се прскају у главном комору. Након што је испрскање главне коморе завршено, узор може бити гуран у стадијум узорке главне коморе кроз магнетну гурачу. Овај дизајн може смањити број пута када се главна комора евакуише и ослобађа, што не само да ефикасно штеди време, већ и осигурава бољи локални вакуум и ефикасно побољшава квалитет премаза.
Примена: Може се користити за припрему једнослојних или вишеслојних ферроелектричких танких филмова, проводничких филмова, легуратних филмова, полупроводничких филмова, керамичких филмова, диелектричких филмова, оптичких филмова итд.