EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Увод: Ова опрема се углавном састоји од вакуумске коморе од нерђајућег челика, мета за путеррање магнетрона, уређаја за испаравање, табеле за узорке за постављање узорка, вакуумске помпе, мерника вакуума, система за улазак ваздуха и система Главна јединица опреме управља се тач-скрином и детектује се контролом температуре. Његов дигитални параметровни интерфејс и аутоматизована операција пружају корисницима одличну платформу за НИРД. Вакуумска комора усваја дизајн дна циља, а маса за узорке има функције загревања и ротације, што може учинити ефекат премаза једнакијим. Система за прикупљање вакуума опреме примењује групу вакуумске пумпе са две фазе. Пронтална стадијска пумпа је механичка пумпа велике брзине, која ефикасно скраћује време од нормалног притиска до ниског вакуума. Главна пумпа је турбомолекуларна пумпа са високом брзином пумпања и бржем брзином стицања вакуума. Свеукупни систем за стицање вакуума је чист и брз.
Примена: Може се користити за припрему једнослојних или вишеслојних ферроелектричких танких филмова, проводничких филмова, легуратних филмова, полупроводничких филмова, керамичких филмова, диелектричких филмова, оптичких филмова итд.
