СВД опрема за графенове и угљенске нанотрубе / полупроводничке опреме , China СВД опрема за графенове и угљенске нанотрубе / полупроводничке опреме Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис производа

Уређај за ЦВД за графенове и угљенске нанотрубе

Опрема се углавном користи за процесно премазивање графена и нано материјала; дифузија, оксидација и одгајање поликристалног силицијума и силицијум карбида.

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment details

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment factory

Спецификација

структурни стил	Улазници за уношење у углове
Прилагодити се величини вафера	2-8″
Метода испоруке и повлачења вафера	Автоматски кацкац за гушење и вучење кварца у кацкачи, у комбинацији са ручним узимањем и ослобађањем чипова.
максимална температура	1050℃
радна температура	400 °C ~ 850 °C континуирано подешавајући
Стабилност температуре у једној тачки	400°C до 850°C ≤ ± 0,5°C/24h
Ограничени вакуум система	Боље од 1Па
брзина пумпања	Времен пумпања за ограничење вакуума < 15 минута
Растојање радног притиска	5Па до 1 × 105Pa континуирано подешавајући
Податак енергије	3 фазе 5 жица 380V±10%,50Hz
вода за хлађење	2 ~ 4Кгф/см2,8Л/мин;

Паковање и испорука

Профил компаније

Имамо 16 година искуства у продаји опреме. Можемо вам пружити једноставан полупроводник фронт-енд и бацк-енд опрему пакета линије професионално решење из Кине.