Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
EN
Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
Добиј цитат

Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.

Почетна страница
О нама
МХ опрема
Решење
Изванморски корисници
Видео
Контактирајте нас
Домаћи Молец за вафере
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП
  • Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП

Автоматска једноплатна вафера хемијска механичка полирачка машина Плонирање ЦМП

Добијте бесплатни цитат
Опис производа
АТОМ ЦМП са једном плочицом

Карактеристике машине

Уређај је флексибилан и може да поддржи више глава.
Процесна способност опреме је близу нивоа стандардног модела производа исте величине.
Добра конзистенција интер уређај процеса.

Поља примене

4-8 инчева СТИ, ИЛД/ИМД, ТСВ, ТГВ полирање и полирање површине једињења као што су СиЦ, ЛТ, ЛН, ГаА, итд.

Технички параметри

4 инчева, 6 инчева, 8 инчева глава, контролу више зона
Тип Ф20 инче 508ММ Платне
Точност контроле притиска главе < 0,05 ПСИ
Точност контроле брзине ротације главе и плоча < 2RPM

1. у вези са Лоадпорт јединица

Порт се може превратити да потапа Касету у КТанк, избегавање формирања Кристала Слурри на
полирана површина вафера. Опремљен је функцијом мапирања касета.

2. Уколико је потребно. Уједиње за повраћање материјала за роботе

Опремљен је роботом са четири оси и може аутоматски преносити плочице са Касете на јединицу за полирање.

3. Уколико је потребно. Пољерски јединица

Ова јединица је опремљена са Плетен * 1, Глава * 1, ПЦ *
уколико је потребно, може се користити и за исхрану.
детекција. Може постићи аутоматско учитавање и ислажење вафера, контролу више зона главе, Слурри
појава точка мења са подешавања рецепта, откривање крајње тачке и друге функције.
Глава полирача ЦМП
Све главе полирача које су конфигуриране на овом уређају независно су развијене, дизајниране и произведене од стране наше компаније.
Међу њима, 4-инчни 3-кувост глава је јединствени производ креиран од стране наше компаније, попуњавање празнине нема више кувости 4-инчни глава у Кини. Наша компанија може брзо да модификује или прилагоди главу према карактеристикама производа купца. У развоју ТГВ производа са танким филмом (200м), унутрашња структура главе је модификована како би задовољила захтеве полирања танким филмом. Током процеса развоја технологије полирања површине ЛН ОХ, наша компанија је дубоко унапредила 6-инчни главу и успешно испунила захтеве производа купца.
Примене
Традиционални процес полирања ИЦ планаризације;
Процес ТГВ/ТСВ;
Смарт Цот и Пре-Боинг ЦМП;
СИЦ полирање субстрата/политирање галијум арсенидом.
Спецификација
Пристаниште
Количина * 1, са Ц-танком
Робот
Количина * 1, за пренос вафера
ХЦЛУ
Количина * 1, за аутоматско учитавање и ислажење вафера
Глава за полирање
Количина * 13 контроле шупљине, тачност контроле од 0,1 ПСИ, може подржати операције вафера од 400-1200 УМ.
Брзина главе за полирање
5-150RPM
Диско за полирање
Количина * 1 Диско за полирање Величина 508 мм, брзина полирања 10- 150 рпм.
Рука за резање
Количина * 1 полирачки пад. Пад за полирање се може полирати онлине (истовремено) или офлајн (после полирања). Окраска
рама је опремљена ваљом за резање, која се може окретати и кретати горе и доле, а брзина и привлачност могу бити контролисани. У
алат за резање је инсталиран на вали резања и може се брзо
уклоњен. Према различитим врстама полирајућих подлога, конфигуриране су различите врсте алата за превршене, укључујући и превршене
четке, дијамантски прстени и дијамантски дискови.
УПА контролна јединица за ваздушни притисак главе за полирање
Количина * 13Зона која се може регулисати за бољи ефекат површинске планаризације
Пумпа за снабдевање полирањем течности
Количина * 2. Перисталтичке пумпе се користе за снабдевање течности, са 2 перисталтичке пумпе конфигурисан да испоруче различите полирање
течности на диско за полирање. Свака пумпа може се користити у било којој фази процеса.
Рука за ламање
Количина * 1 може контролисати тачку слетања луге и може очистити полирање.
Система управљања операцијом може постићи контролу на нивоу корисника, као што су режим оператора, режим одржавања и технички режим, и вар
ови режими се контролишу лозинкама. Системски софтвер може да уређује параметре процеса сваког корака процеса и израмњива и
полирајте танки филм на површини чипа према програму. Може да прати стање рада опреме, прати
процесни параметри у реалном времену, и софтвер може аутоматски да чува различите процесне податке. Обухваћени са аваријском ставом
дугме, које се користи за одмах заустављање рада опреме и искључивање напајања управљања.
Паковање и испорука
Профил компаније
Често постављене питања
1. Постављање О Прајсу:
Све наше цене су конкурентне и преговарају се. Цена варира у зависности од комплексности конфигурације и прилагођавања вашег уређаја.

2. Постављање О примерак:
Можемо вам пружити услуге производње узорака, али можете да платите неке накнаде.

3. Уколико је потребно. О плаћању:
Након што је план потврђен, прво морате нам платити депозит, а фабрика ће почети да припрема робу. Након
опрема је спремна и ти плати остатак, ми ћемо је испоручити.

4. Уколико је потребно. О испоруци:
Након што се производња опреме заврши, послаћемо вам видео за прихватање, а такође можете доћи на локацију да прегледате опрему.

5. Појам Инсталација и дебагирање:
Након што опрема стигне у вашу фабрику, можемо послати инжењере да инсталирају и дебагују опрему. Ову накнаду за услугу ћемо вам дати одвојеном цитатом.

6. Уколико је потребно. О гаранцији:
Наша опрема има гаранцију од 12 месеци. Након гарантног периода, ако су неки делови оштећени и треба их заменити, наплаћићемо само трошковну цену.

Више производа

Истраживање

Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана

Политике приватности

Истраживање Email Ватсап Врх
×

УТРЕБНО