Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.

Почетна страница
О нама
МХ опрема
Решење
Изванморски корисници
Видео
Контактирајте нас
Домаћи МХ опрема> Мелач и полирач
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење
  • Автоматски ЦМП Пост Чишћење

Автоматски ЦМП Пост Чишћење

Опис производа

Опрема за чишћење након хемијског механичког полирања вафера

ЦМП Пост Цхен

Карактеристике машине

Силна способност процеса
Двоночасни четкање, са широким опсегом примене процеса
Опрема заузима малу површину, са димензијама од 2200 * 800 * 2200 (мм)

Поља примене

6-8 инча ЦМП након четкања
Чишћење након брушења СИЦ-а или других супстрата

Технички параметри

Чишћење након 4-инч и 6-инч ЦМП
Дизајн двоструке коморе, независна операција коморе Мокри и суви или суви и суви
СРД за суво вртење са високим брзинама

ЛоадПорт јединица, јединица за учитавање

ЛоадПорт је јединица за учитавање овог уређаја
Мокра Касета за храњење
Има функцију хидратације спрејем

Уједност за четкице, Уједност за чишћење вафера

Двострука камера, која може да поддржи два различита раствора за чишћење
Позиција четкања може се подесити према рецептуПревозник по рему

SRD јединица, јединица за сушење вафера

Спирачко сушење типа ваферових запнута, са максималном брзином од 4000 обртака у минути
Може извршити чишћење АС на површини вафера и прскање ДИВ

Уредба за разгружање, урезање

У јединици за отклањање има независне ФФУ да би се осигурала чистоћа излазних вафера

Конвејер

Мокра површина је конвејер.
Сува зона за телепортацију робота

Опис јединице за четкице

Као што је приказано на лијевој слици, јединица за четкање овог уређаја састоји се од две јединице за четкање, а то су BU1 BU2.
Тешкост четке сваке јединице може се подешавати одвојено (као што је наведено у рецепту), а свака јединица клинчеве четке може се опрати различитим хемијским растворима за чишћење одвојено.
Четка машина усваја ПВА четка, која је обично коришћен тип на тржишту.
Предавање између шупљина је конвејер. У шупљини је и ВИВ РИНС

Јединица СРД

Уједиње СРД је опремљено запртним ЦХУКК-ом и АС АРМ-ом, који може даље физички очистити и иссушити површину вафера.
Спецификација
Величина опреме:
2200 * 800 * 2200 (мм)
Методе за превоз и ислазак
суво у/мокре у/суво из
Број јединица за четкање
2
Број јединица СРД
1
Метода превоза
Транспорт појаса у мокрим зонама, транспорт робота у сувим зонама
Величина опреме са чешћење комора од 1 је 1850 * 800 * 2200
Паковање и испорука
Профил компаније
Често постављене питања
1. Постављање О Прајсу:
Све наше цене су конкурентне и преговарају се. Цена варира у зависности од комплексности конфигурације и прилагођавања вашег уређаја.

2. Постављање О примерак:
Можемо вам пружити услуге производње узорака, али можете да платите неке накнаде.

3. Уколико је потребно. О плаћању:
Након што је план потврђен, прво морате нам платити депозит, а фабрика ће почети да припрема робу. Након
опрема је спремна и ти плати остатак, ми ћемо је испоручити.

4. Уколико је потребно. О испоруци:
Након што се производња опреме заврши, послаћемо вам видео за прихватање, а такође можете доћи на локацију да прегледате опрему.

5. Појам Инсталација и дебагирање:
Након што опрема стигне у вашу фабрику, можемо послати инжењере да инсталирају и дебагују опрему. Ову накнаду за услугу ћемо вам дати одвојеном цитатом.

6. Уколико је потребно. О гаранцији:

Наша опрема има гаранцију од 12 месеци. Након гарантног периода, ако су неки делови оштећени и треба их заменити, наплаћићемо само трошковну цену.

Истраживање

Истраживање Email Ватсап Врх
×

УТРЕБНО