Прецизни ЦМП систем

Уколико је потребно, може се користити и за прелазак.

Прецизни ЦМП систем

Преглед опреме:

Прецизни ЦМП систем се углавном користи за лапирање и ређивање главних полупроводничких чипова као што су силицијум, силицијум диоксид и индијум антимонид, и хемијско механичко полирање дна, површине и крајње лице.

Цела машина и сви делови опреме су потпуно антикорозивни, а параметри процеса се постављају преко интерактивног интерфејса на екрану на додир.

Величина узорка за обраду:

Величина узорка ≤152mm/6 инча

Машинска дебљина је 50μm ~ 10 mm

Показачи процеса који се могу постићи:

1.Укупна девијација дебљине (ТТВ) φ75мм вафера је у оквиру 2 мкм;

2.Укупна девијација дебљине (ТТВ) ф100мм вафера је у оквиру 3 мкм;

3.Укупно одступање дебелине (ТТВ) ф150мм вафера је у оквиру 4 мкм.

Типови узорака који се могу обрађивати:

Силикон, силицијум карбид, дијамант, керамика, галијум нитрид, кварц, галијум антимонид, индијум фосфид, галијум арсенид, кадмијум цинк телурид, живак кадмијум телурид, литијум ниобат и други полу

Обујећење

1. у вези са Реализовати функцију детекције крајње тачке за контролу дебелине узорка.

2. Уколико је потребно. Онлине реално време контроле температуре и функције хлађења лапирања и полирања плоча.

3. Уколико је потребно. Многоканални систем за храњење.

4. Уколико је потребно. Функција аутоматског пливања лапирања и полирања плоче.

5. Појам Функција аутоматског поправљања плоча.

6. Уколико је потребно. Укључак треба да буде опремљен дигиталним табелом за праћење дебелине са прецизношћу праћења од 0,1μm.

Технички параметри:

Konfiguracija uređaja:

Često postavljana pitanja

1. Постављање О Прајсу:

Све наше цене су конкурентне и преговарају се. Цена варира у зависности од комплексности конфигурације и прилагођавања вашег уређаја.

2. Постављање О примерак:

Можемо вам пружити услуге производње узорака, али можете да платите неке накнаде.

3. О плаћању:

Након што је план потврђен, прво морате нам платити депозит, а фабрика ће почети да припрема робу. Када опрема буде спремна и ти плати остатак, ми ћемо је испоручити.

4. Уколико је потребно. О испоруци:

Након што се производња опреме заврши, послаћемо вам видео за прихватање, а такође можете доћи на локацију да прегледате опрему.

5. Појам Инсталација и дебагирање:

Након што опрема стигне у вашу фабрику, можемо послати инжењере да инсталирају и дебагују опрему. Ову накнаду за услугу ћемо вам дати одвојеном цитатом.

6. Уколико је потребно. О гаранцији:

Наша опрема има гаранцију од 12 месеци. Након гарантног периода, ако су неки делови оштећени и треба их заменити, наплаћићемо само трошковну цену.

7. Послепродајна услуга:

Све машине имају гаранциони период од више од једне године. Наши технички инжењери су увек на мрежи да вам пруже услуге инсталације, дебаговања и одржавања опреме. Можемо пружити на сајту инсталацију и дебагирање услуге за специјалну и велику опрему.