MDZY-DMD-MLL200 DMD Литографска машина без маске , China MDZY-DMD-MLL200 DMD Литографска машина без маске Manufacturers, Suppliers, Factory

Опис производа

МДЗИ-ДМД-МЛЛ200
ДМД безмаска литографска машина

MDZY-DMD-MLL200 је литографска машина без маске заснована на технологији DMD (Digital Micromirror Device). Замена традиционалних маска ДМД-ом омогућава брз и флексибилан дизајн литографских обрасца, подржавајући 2Д и 8-битно литографију сивих скала. Може задовољити било које захтеве за литографију у микрону маштабу и широко се користи у различитим областима као што су МЕМС и микрофлуидика.

Особности

1. Постављање Компактни дизајн десктопа
2. Постављање Високомоћни, високоједнакосни светлосни извор за излагање ЛЕД-а
3. Постављање Излагање вођено зеленим светлом
4. Постављање Аутоматско фокусирање слике помоћу ЦЦД камере
5. Постављање Високопрецизни линеарни моторни стадион
6. Уколико је потребно. Лако за коришћење софтверски интерфејс

Параметри

УВ светлосног извора	405nm
Уједноставност експозиције	Више од 90%
Минимална ширина линије	0,5мм
Област изложености писањем пољу за једнопролаз	0,16*0,16 мм (@0,5мм)
Брзина писања	80 mm2/мин (ширина линије у 1уму)
Подржавани формати слика	DXF, GDS, bmp, png, итд.

Конфигурација

Конфигурација	Основна верзија	Професионална верзија
Извор светлости	Светлодиоди велике снаге: 405nm
ДМД чип	ДЛП6500
Област експозиције у једном пољу	0,160,16мм (@0.5ум), 0,40,4мм (@0.7ум), 0,80,8мм (@1ум), 1,61,6мм (@2ум)
Камера	Камера за микроскоп велике површине (подрже мерење величине)
Минимална ширина равноравнодалечне линије	0,8 мкм	0, 5 мкм
Прецизност шијања	± 0,3 мкм	± 0,3μм
Прецизност преклапања	± 0,5 мкм	± 0,5μм
Брзина писања	20 mm2/min (1 μm широчина линије)	80 mm2/min (1μm широчина линије)
Фаза покрета	Високопрецизни линеарни мотор (поновљива тачност позиционирања ±0,25μm), механизам за нивелирање, ручна ротациона фаза	Високопрецизни линеарни мотор (поновљива тачност позиционирања ±0,25μm), механизам за нивелирање, електрична ротациона станица
Промена објектива	Ручно пребацивање објективног објектива	Моторизована преласка објектива
Модул за фокусирање	Аутофокус СЦД слике	Ласерско активно фокусирање
Подржаване величине вафера	4 инча	4 инча/8 инча
Дебљина узорка	0-10ММ	0-10 мм

Примени

Микрофлуидни чип

УВ-литографија ДМД-а за функционалност преклапања

Телуријум наноретка еццинг праћен електродом прекривање

Литографија у сивом размере Френелових сочива, 3Д литографија у сивом размере за Френелове сочиве, која показује континуиране промене корака у сликовином попреку од сканирајућих електронских микроскопа.

Дводимензионалне материјалне електроде, дводимензионалне материјалне електроде након испарења и подизања, испарени електроди су Ti/Au/Ti (укупно 12 nm)

ДМД УВ и електронска зрачна комбинована литографија

Мека

Корисници могу да заврше све литографске операције са главног интерфејса без било каквих излазећих прозора.

Модул за резање слике:

Укључује функције као што су прилагођено резање, аутоматско попуњавање, инверзија боје и анти-алиазирање.

Везање објекта:

Корисници могу поставити везивање објеката на било којој локацији на површини узорка и истовремено прегледати кореспонденцију између било које подслике у слици са пуним полем и површине узорка, омогућавајући прецизно преклапање.

Функција цртања на месту:

Графике се могу нацртати директно на микроскопску слику и пројектовати на узор за постизање фотолитографије на месту.

Опрема стварне снимања

Паковање и испорука

Профил компаније

Од 2014. године, Миндр-Хигтех је представник за продају и сервис у полупроводничкој и електронској индустрији опреме. Посвећени смо пружању клијентима супериорних, поузданих и једносталних решења за машинску опрему. До данас су се производи нашег бренда проширили у велике индустријске земље широм света, помажући купцима да побољшају ефикасност, смање трошкове и побољшају квалитет производа.

Често постављене питања

1. Постављање О Прајсу:
Све наше цене су конкурентне и преговарају се. Цена варира у зависности од комплексности конфигурације и прилагођавања вашег уређаја.

2. Постављање О примерак:
Можемо вам пружити услуге производње узорака, али можете да платите неке накнаде.

3. Уколико је потребно. О плаћању:
Након што је план потврђен, прво морате нам платити депозит, а фабрика ће почети да припрема робу. Када опрема буде спремна и ти плати остатак, ми ћемо је испоручити.

4. Уколико је потребно. О испоруци:
Након што се производња опреме заврши, послаћемо вам видео за прихватање, а такође можете доћи на локацију да прегледате опрему.

5. Појам Инсталација и дебагирање:
Након што опрема стигне у вашу фабрику, можемо послати инжењере да инсталирају и дебагују опрему. Ову накнаду за услугу ћемо вам дати одвојеном цитатом.

6. Уколико је потребно. О гаранцији:
Наша опрема има гаранцију од 12 месеци. Након гарантног периода, ако су неки делови оштећени и треба их заменити, наплаћићемо само трошковну цену.

7. Послепродајна услуга:
Све машине имају гаранциони период од више од једне године. Наши технички инжењери су увек на мрежи да вам пруже услуге инсталације, дебаговања и одржавања опреме. Можемо пружити на сајту инсталацију и дебагирање услуге за специјалну и велику опрему.

Почетна страница

О нама

МХ опрема

Решење

Изванморски корисници

Видео

Контактирајте нас

MDZY-DMD-MLL200 DMD Литографска машина без маске