


|
Величина вафера
|
4~ 8 вафла
|
|
Дебљина вафера
|
100 до 750 микрона
|
|
Вид вафера
|
Си, СиЦ, ГаН или други материјали
|
|
Тип филма
|
Сини филм, УВ филм
Ширина: 230 ~ 300 мм Дужина: 100 м Дебљина: 0,05 ~ 0,2 mm |
|
Пеленови прстен
|
6、8ДИСКО
|
|
Метода учитавања и ислађивања
|
Ручно постављање и уклањање колача за вафере/носиоце
|
|
Прецизност позиционирања филма
|
±0,5 мм
Стандардне плоче за 6 и 8 вафере |
|
Вакуумска пумпа
|
Миндар-Хицтек
|
|
Антистатичка контрола
|
Деионизациони вентилатор
|
|
Контролна јединица
|
На основу ПЛЦ контроле, са 10 сенк дисплејем
|
|
Заштита безбедности
|
Конфигурисан са заштитом светлости завесе и дугме за хитно заустављање
|
|
Напетост напајања
|
Једнофазни АЦ 220В, 16А
|
|
Скушћени ваздух
|
0,45 ~ 0,6МПа, проток 70Л/мин
|
|
Обувљивање машине
|
Бела пластична метална кутија
|
|
Промет
|
850 мм (ширина) * 1750 мм (дубина) * 1970 мм (вишина)
|
|
Нето тежина
|
480 кг
|


Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана