МДЛБ-МЦ200 фотомаска чистилац

Не, не, не.

Пројекат

Спецификације

Примењи

1

Преглед опреме

Име уређаја: Фотомаска чистилац

Модел опреме: МДЛБ-МЦ200

Укупне димензије (приближно): 1300 мм (W) * 1000 мм (D) * 1950 мм (H)

Цела маса машине (приближно): 300КГ

Вишина оперативног стола: 900 ± 50 mm

Спецификације величине супстрата: погодне за квадратне маске од 2/4/5/6/8 инча

Процесни ток: ручно постављање вафера → чишћење (чешћење, раствор за чишћење → вода под високим притиском → мегасонична вода → дејонизована вода → сушење азотним гасом) → ручно уклањање вафера

Тип опреме: полуавтоматско, ручно учињавање и ислађивање

2

Изградња опреме

Облица: нерђајући челик, глатка, отпорна на корозију, лако чишћење

Камера за чишћење: ПП, глатка, отпорна на корозију, лако чишћење

Провод: користи се ПУ/ПФА парење

Радно осветљење: антикорозивно светло

Стил отварања врата: Двострука врата са функцијом аларма за отварање врата

Точни екран: 10 инча пунобојни екран на додир * 1

ФФУ: Клас 100

Поддршка дна против цурења: доступна

3

Високопрецизни сервомотор

Количина: 1

Прелазак: - 3000 ~ 3000 рпм

Пусто оптерећење

Максимално убрзање ротације ваљка: 3000 рпм/с

Пусто оптерећење

Точност брзине: ± 1 рпм (50 рпм ~ 3000 рпм)

Резолуција брзине: 1 рпм

4

Автоматска рука за клање

Количина: 3

Брзина руке за клапање: 1 ~ 30 °/S

5

Уједиње за чишћење

Чишћење виљачке руке: 1 канал деионизоване воде, 1 канал азотног гаса

Мегасоничка рука: 1 Мегасоничка, 1 Вода под високим притиском

Рука четке: 1 четка, 1 вода, 1 раствор за чишћење

Метода чишћења: аутоматско чишћење

Функција засјекања дејонизоване воде: доступна

Завршна прања (деонизована вода): 1 пут

Метод снабдевања: раствор за чишћење: помпа дијафрагме

Деионизована вода: снабдевана директно од фабрике

Резервоар за притисак са детекцијом нивоа течности

6

Прушка

Количина: 1 (са функцијом самочишћења)

Прелазна брзина: до 1000 рпм, подешавана брзина

Ручно подешавано висином

7

Подносница за оптерећење

Количина: 5

Материјал: ППС+нерезандирани челик

Величина: Погодан за 2/4/5/6/8 инчеве квадратне маске

Метода фиксације субстрата: Метода фиксације нога

8

Контролни систем

Система управљања: коришћењем ПЛЦ контроле

Програм: 100 група, свака група се састоји од 100 корака, са максималним временом једног корака од 3000,0 секунди

Разрешавање: 0.1С

Програм се може сачувати, позивати, мењати и брисати

Уредите дозволе за шифровање: за операторе уређаја, техничаре, администраторе и произвођаче, респективно

Тип сигналног торна: црвена, жута, зелена 3 боје