MDLB-MC200 Photomask cleaner

Ne.

Projekat

Спецификације

Napomene

1

Pregled opreme

Naziv uređaja: Čišćač fotomaske

Model opreme: MDLB-MC200

Ukupne dimenzije (približno): 1300mm (Š) * 1000mm (D) * 1950mm (V)

Težina celog uređaja (približno): 300KG

Visina radne površine: 900 ± 50mm

Specifikacije veličine podloga: odgovara za kvadratne maskirajuće ploče dimenzija 2/4/5/6/8 inca

Tehnološki proces: ručno stavljane vejpera → čišćenje (čišćač, čišćeni rastvor → visokotisna voda → megasonična voda → deionizovana voda → usisavanje nitrogenom) → ručno uklanjanje vejpera

Tip opreme: poluautomatsko, ručno učitavanje i isključivanje

2

Konstrukcija opreme

Lopov: nerđajući čelik, glatki, otporan na koroziju, lako se čisti

Soba za čišćenje: PP, glatka, otporna na koroziju, lako se čisti

Cijevovod: koristi se cijevovod od PU/PFA

Osvetljenje rada: protivkorozivno žuto svetlo

Način otvaranja vrata: Dvostrašnja vrata sa funkcijom upozorenja pri otvaranju vrata

Dodirni ekran: 10 inčni punobojni dodirni ekran * 1

FFU: Klasa 100

Podrska za sprečavanje propusta: dostupna

3

Servo motor visoke preciznosti

Količina: 1

Brzina: -3000~3000obr/min

Prazan opterećenje

Maksimalna brzina uspešnog rotiranja: 3000obr/s

Prazan opterećenje

Tačnost brzine: ± 1obr/min (50obr/min~3000obr/min)

Rezolucija brzine: 1obr/min

4

Automatsko kretanje ruke

Količina: 3

Brzina kretanja ruke: 1~30°/s

5

Jedinica za čišćenje

Čišćenje kretanjem ruke: jedan kanal deionizovane vode, jedan kanal dušikovog plina

Megasonična ruka: 1 megasona, 1 viskokotni vodeni pritisak

Čistačka ruka: 1 četkica, 1 voda, 1 čistački rastvor

Način čišćenja: automatsko čišćenje

Funkcija za sušenje deionizovane vode: dostupna

Obratno pražnjenje (deionizovana voda): 1 putanja

Način dobijanja: Čistački rastvor: Membranska pumpe

Deionizovana voda: izravno dobavlja od fabrike

Tlakovački rezervoar sa detekcijom nivoa tekućine

6

Četkasti štapač

Količina: 1 (sa funkcijom samoodržavanja)

Brzina: do 1000obr/min, prilagodljiva brzina

Visina ručno prilagodljiva

7

Ploča za teret

Količina: 5

Materijal: PPS+nerđajući čelik

Veličina: Prikladna za kvadratne maskirane ploče od 2/4/5/6/8 inča

Metod fiksiranja podložaka: Metod sa šipkastim fiksiranjem

8

Kontrolni sistem

Kontrolni sistem: koristi PLC kontrolu

Program: 100 grupa, svaka grupa sastoji se od 100 koraka, sa maksimalnim vremenom jednog koraka od 3000.0 sekundi

Rezolucija: 0.1S

Program se može sačuvati, pozvati, izmeniti i obrisati

Postavite dozvole za šifrovanje: za operatere uređaja, tehničare, administratora i proizvođače redom

Tip signalne kule: crvena, žuta, zelena 3 boje