ИЦП сува плазмена фоторезистентна стриппер , China ИЦП сува плазмена фоторезистентна стриппер Manufacturers, Suppliers, Factory

ИЦП сува плазмена фоторезистентна стриппер

ИЦП сув фоторезистентни плазмен стриппер се првенствено користи за уклањање полимера, пепељивање, декумирање, уклањање пост-ионских фоторезистентних имплантација и чишћење површинских остатака. Камера МДСТ3100 може да прими узоре од 4 до 8 инча са капацитетом обраде једног вафера, док камера МДСТ3200 може да прими узоре од 4 до 8 инча са капацитетом од два вафера по партији.

Изглед опреме подлеже континуираним надоградњима и прилагођавању; преовладава стварни испоручени производ.

头图4.jpg

工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

АШИНГ

Одлазак полимера

ДЕСКУМ

Суво чишћење слоја тврде маске

Узимање фоторезиста након ионске имплантације

Уклањање површинских остатака

Узимање фоторезиста у процесу БАВ/САВ

Суво чишћење антирефлективног слоја графичког филма

Чишћење површине након ецкирања

Prednosti:

Високи степен јонизације и распадања плазме

Након плазмене терапије, репродуктивност је висока

Суво гравирање, без извора загађења

Регулација притиска и температуре помоћу лептирских вентила

Може одржавати плазму под високим притиском

Одвојеност високонапорног извора и јонског генератора

Микроталасне зглобове и магнетне колоне су компатибилни

Може задовољити захтеве клијената

Ниска температура током обраде

Брза брзина одговора и кратко време одговора

Test data 2.jpg Test data 1.jpg Test data 3.jpg

Model		МДСТ3100	МДСТ3200
ПЛАСМА извор		Рф	Рф
Snagu	ИЦП	1000 Вт	1000 Вт
	БИАС	НА	НА
Opseg primene		4-8 инча	4-8 инча
Број вафера обрађених у једној операцији		1	2
Укупне димензије		1300х1190х1847мм	1300х1650х1850мм
Системска контрола		Индустријски систем контроле
степен аутоматизације		Аутоматски