Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
EN
Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.
Добиј цитат

Гуангцоу Миндер-Хигтек Цо, Лтд.

Почетна страница
О нама
МХ опрема
Решење
Изванморски корисници
Видео
Контактирајте нас
Домаћи Молец за вафере
  • Високо прецизност Химијска механичка планаризација ЦМП процес
  • Високо прецизност Химијска механичка планаризација ЦМП процес
  • Високо прецизност Химијска механичка планаризација ЦМП процес
  • Високо прецизност Химијска механичка планаризација ЦМП процес
  • Високо прецизност Химијска механичка планаризација ЦМП процес
  • Високо прецизност Химијска механичка планаризација ЦМП процес
  • Високо прецизност Химијска механичка планаризација ЦМП процес
  • Високо прецизност Химијска механичка планаризација ЦМП процес

Високо прецизност Химијска механичка планаризација ЦМП процес

Добијте бесплатни цитат
Опис производа

Висока прецизност Опрема за хемијско-механичку планаризацију (CMP)

Прецизна опрема за ЦМП постиже ефикасно уклањање вишка материјала на површини вафера и глобалну наноскалу планаризацију кроз синергијски ефекат хемијске корозије и механичког брушења.
Машина за полирање хемијских материја за више сврха, посебно дизајнирана за апликације за полирање ЦМП-а и премаза који захтевају строгу геометријску тачност и квалитет површине, може постићи ниво под нанометра Ра.
Овај уређај може прецизно полирати на нанометрима на појединачним калупама, као и полирати танке листове са дијаметром до 8 инча. Поред тога, може се користити и у нетрадиционалним апликацијама полирања као што су полирање тврде супстрате, припрема површине Епи и побољшање рециклирања чипова.
Да би се машини серије ЦДП прилагодиле различитим материјалима и захтевима процеса, техничари прилагођавају и дизајнирају одговарајуће обрасце полирања према техничким захтевима корисника како би прецизно испунили захтеве процеса ЦМП. Слика са леве стране показује опсег једног плочића са пречником од 8 инча.
Да бисмо осигурали прецизно мерење и контролу плочица или уређаја полирани на ЦДП машинама, развили смо ЕПД систем, чија је прилагођена ЦДП скенирање графички програм може да ради на лаптопима. Овај програм прати и графички приказује процес полирања и аутоматски се зауставља када се достигне крајња тачка.
Не би требало превише полирати. Скенер CDP такође може служити као безбедносна карактеристика. Ако се открију промене у контролисаним параметрима процеса, ЦДП Сцан ће активирати аудио аларму како би се спречило прекомерно полирање. Примери у том погледу укључују промену брзине носача од његове унапред постављене вредности. ЕПД систем ће приметити ову ситуацију јер ће се ниво тријања између подлога и полираног материјала променити због било каквих промена у брзини носача, што би могло угрозити успешну планаризацију вафера / Ц. У овом тренутку, ЕПД систем ће изазвати звучни аларм пре уклањања
ACP систем се може боље користити у широком спектру апликација, а табела показује резултате тестова процеса ЦМП за силицијумски оксид, бакар, силицијум нитрид, алуминијум бакар, силицијум герман и волфрам.
Таблица показује да након ЦМП процеса, ВТВНУ може достићи 2,82%.
Примена
Планаризација силицијумских вафера
II-V сложена планаризација
Планрисација оксида
Углађивање инфрацрвене материјалне супстрате
Сафир, галијум нитрид и силицијум карбид планаризација супстрата, EPI планаризација субстрата
Преређивање SOS и SOI плочица на мање од 20 микрона
Хијерархијски реверс инжењеринг или апликације за ФА
Спецификација
Податак енергије
220В 10А
Величина вафера
4/100 мм
6/150 мм
8/200 мм
12/300 мм
Дијаметар радног диска
520 мм,780 мм
Брзина радног диска
0-120 обрт/мин
Брзина фиксације
0-120 обрт/мин
Фреквенција за кретање фиксације
0-30spm
Завршни притисак вафера
0-150 пси
Притисак у средишњој тачки вафера
0-50 пси
Временско време
0-10 часова
Канал за храну
≥2
Брзина подавања
0-150 мл/мин
Паковање и испорука
Профил компаније
Миндр-Хигтех је продајни и сервисни представник у полупроводничкој и електронској индустрији опреме. Од 2014. године, компанија је посвећена пружању клијентима супериорних, поузданих и једносталних решења за машинску опрему.
Често постављене питања
1. Постављање О Прајсу:
Све наше цене су конкурентне и преговарају се. Цена варира у зависности од комплексности конфигурације и прилагођавања вашег уређаја.

2. Постављање О примерак:
Можемо вам пружити услуге производње узорака, али можете да платите неке накнаде.

3. Уколико је потребно. О плаћању:
Након што је план потврђен, прво морате нам платити депозит, а фабрика ће почети да припрема робу. Након
опрема је спремна и ти плати остатак, ми ћемо је испоручити.

4. Уколико је потребно. О испоруци:
Након што се производња опреме заврши, послаћемо вам видео за прихватање, а такође можете доћи на локацију да прегледате опрему.

5. Појам Инсталација и дебагирање:
Након што опрема стигне у вашу фабрику, можемо послати инжењере да инсталирају и дебагују опрему. Ову накнаду за услугу ћемо вам дати одвојеном цитатом.

6. Уколико је потребно. О гаранцији:
Наша опрема има гаранцију од 12 месеци. Након гарантног периода, ако су неки делови оштећени и треба их заменити, наплаћићемо само трошковну цену.

Више производа

Истраживање

Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана

Политике приватности

Истраживање Email Ватсап Врх
×

УТРЕБНО