РИЕ (реактивно јонско еццинг) је кључна техника за производњу микроелектронике и полупроводника. У РИЕ алатима су потребни гасови за исправан рад као што су кисеоник, азот, комбинација нитрида/хидрида и хексафлуорида сумбра. Сваки од ових гасова има јединствену функцију када је реч о ецирању материјала на микроскали.

Већинска опрема за реактивно јонско оцепање

Трговање добрих понуда за опрему за РИЕ је тешко, али постоји неколико места где можете да погледате. Најбоље је да погледате на разне тржишта индустријске опреме на мрежи. Веб локације обично имају велики број различитих продаваца, што вам омогућава да упоредите цене и добијете најбоље понуде. Још један одличан избор су индустријски састави. Произвођачи и купци се окупљају, а понекад можете наћи понуде за најновију РИЕ технологију.

Уобичајени проблеми са реактивним јонским ецирањем

Током свог рада, бројни уобичајени проблеми су склони развоју у опреми РИЕ. Главна забринутост се тиче самих гасова. Сваки пут, проток гаса може да се мења, што доводи до неједнаког огребања. Газни баланс гасова као што су азот и водоник може утицати на то колико ће се материјал ецрати. То може довести до грешака у коначном резултату и то нико не жели.

Реактивно јонско ецкинг оптимизација испод 95% N2 и 5% H2

Реактивно јонско уље (РИЕ) је вредна техника обраде материјала у Опрема за обраду жица смеша гасова за процес ецкања, као што је 95% азот и 5% водоник, да би се ствари побољшале. Таква комбинација може послужити за успостављање чистих, оштрих образаца на материјалима. Ево како да се максимално искористи овај процес.

Шта је сулфур хексафлуорид гас у реактивној јонске ецкинг

Постоји неколико великих предности коришћења опрема за паковање чипова као испредни гас у реактивној јонској ецинг. Прво, СФ6 је заиста одличан у кретању материјала као што су силицијум и силицијум диоксид који се широко користе у електроници. То значи да када користите хексафлуорид сумпора, можете добити чисте и прецизне обрасце потребне за мале електронске компоненте.

Где сазнати више о реактивној јонској еци

Ако желите да се уђете даље у Опрема за уношење терминала постоји много ресурса који могу помоћи. Прво, можете проверити на мрежи. Такође постоји много онлајн технолошких и инжењерских веб локација, форума и блогова. Ове платформе обично имају чланке које су написали људи који су стручњаци за РИЕ и нуде своја мишљења и искуства са приступом.