Резолуција маске је апертура за минималну величину линије или обрасца који вас води до откривања. Што је резолуција већа, то су обрасци финији и јаснији. Колико је добра (или лоша) резолуција Маска Алинер у лабораторији и шта могу очекивати купци од будућих модела ако пређу изван основних?

Која је максимална резолуција могуће на лабораторни маски уравњавач за апликацију високе резолуције?

Различите ствари такође утичу на то шта се може постићи максималном резолуцијом маске у лабораторији, укључујући врсту светлости коју она ради, квалитет његове оптике и колико је добро подешена. У лабораторијама, Маска за лабараторијску употребу могу постићи резолуцију до неколико микрометра (понекад чак и малу од 1 микрона или чак мање).

Још један проблем је сама маска ако није била добро израђена са високом прецизношћу, онда коначни образац неће бити оштр. Даље, поравнање мора бити тачно како би се спречило замагљење/превртање обрасца. Миндр-Хицх Маска за фотолитографију Машине имају најсавременије системе усклађивања који минимизирају грешке излагања.

Коју резолуцију може постићи Маски Алайнер који се користи у лабораторији?

Корисници оптованих маска за изравнивање морају знати коју резолуцију ће добити у зависности од њихових потреба ако купују напредне маске за изравнивање. Увек је најбоље пажљиво погледати техничке спецификације машине пре куповине у Миндер-Хигтех-у. Уобичајене опште апликације између 1-5 микрометра доступне су код већине модерних маска. Али неки модели могу бити још финији, до испод једног микрометра за посебне употребе.

Које су границе резолуције маске у лабораторији?

Ограничења резолуције маска у лабораторији одређују неколико критичних фактора. Знање о овим копчевима омогућава корисницима да максимално искористе своје уређаје. Ми правимо маске на тако начин да су релативно отпорне на такве утицаје, али је добро знати шта утиче на резолуцију.

Који су заједнички проблеми коришћења маске за масовно производњу?

Уобичајени проблем решења може се десити за масовну производњу ако су равначи маске типа Миндера-Хигцх. Масовна производња се односи на правење многих копија истог обрасца брзо и прецизно. Иако су маски из Миндера-Хигецх-а подешавани да буду прецизни, одређене компликације могу отежати одржавање најбоље резолуције.