пројекат |
Specifikacije |
примењи |
||
1 |
Преглед опреме |
Име опреме: У потпуности аутоматски униформан машина за развој лепка |
||
Модел опреме: MD-2C2D6 |
||||
Спецификације за обраду вафера: компатибилан са стандардним ваферима од 4/6,6 инча |
||||
Процесни проток једномерног лепка: резање цвеће → центрирање → једномерно лепило (капање → једномерно лепило → уклањање ивице, назад прање) → топло чишћење → хладно чишћење → постављање кошнице Процес развоја: резање цвеће → центрирање → развој (развој раствора → дејонизована вода, повратно прање → сушење азота) → топло плоче → хладно плоче → постављање кошнице |
||||
Укупна величина (приближно): 2100 мм (W) * 1800 мм (D) * 2100 мм (H) |
||||
Величина хемијског ормара (приближно): 1700 ((W) * 800 ((D) * 1600 мм (H) |
||||
Укупна тежина (приближно):1000kg |
||||
Вишина радне столице: 1020 ± 50 мм |
||||
2 |
Касетни уређај |
Количина: 2 |
||
Компатибилна величина: 4/6 инча |
||||
Касета детекција: детекција микросвичева |
||||
Детекција одступања: Да, рефлективни сензор |
||||
3 |
робот |
Количина: 1 |
||
Тип: Двоструко ручко вакуумско адсорпционо робот |
||||
Степен слободе: 4 оси (Р1, Р2, З, Т) |
||||
Материјал за прсте: керамика |
||||
Метода фиксације супстрата: вакуумска метода адсорпције |
||||
Функција мапирања: Да |
||||
Точност позиционирања: ± 0,1 mm |
||||
4 |
Уједиње за центрирање |
Количина: 1 комплет |
Опционално оптичко усклађивање |
|
Метода усклађивања: механичко усклађивање |
||||
Точност центрирања: ± 0,2 mm |
||||
5 |
Уједначена јединица за лепило |
Количина: 2 сета (доле су конфигурације за сваку јединицу) |
||
Брзина ротације вртача: -5000 рпм ~ 5000 рпм |
превоз леђа |
|||
Точност ротације вртача: ± 1 рпм (50 рпм ~ 5000 рпм) |
||||
Минимална регулисање брзине ротације вртача: 1рпм |
||||
Максимално убрзање ротације ваљка: 20000 обрнова/с |
превоз леђа |
|||
Рука за капување: 1 сет |
||||
Пут фоторезистивне цеви: 2 путања |
||||
Дијаметар фоторезистивне млазнице: 2,5 мм |
||||
Фоторезистентна изолација: 23 ± 0,5 °C |
неопходно |
|||
Увлачивачка млазница: Да |
||||
РРК: Да. |
||||
Да, 200 мл. |
||||
Метода падања лепила: централно падање и сканирање падања су опционални |
||||
Рука за уклањање ивице: 1 сет |
||||
Дијаметар млазнице за уклањање ивице: 0,2 мм |
||||
Мониторинг проток течности за уклањање ивице: протокмера за пловидбу |
||||
Диапазон проток течности за уклањање ивица: 5-50 мл/мин |
||||
Пружање за повратни пливач: 2 пута (4/6 инча сваки са 1 каналом) |
||||
Контрола проток противплаве: протокмера за пловилац |
||||
Дијапазон протока течности за повратно прање: 20-200 мл/мин |
||||
Метода фиксације чипа: вакуумска адсорпција малог подручја |
||||
Аларм за притисак вакуума: дигитални сензор притиска вакуума |
||||
Материјал за чекирање: ППС |
||||
Материјал чаше: ПП |
||||
Мониторинг изгашања чаше: дигитални сензор притиска |
||||
6 |
Развојна јединица |
Затвор: да |
||
Количина: 2 сета (доле су конфигурације за сваку јединицу) |
||||
Брзина ротације вртача: -5000 рпм ~ 5000 рпм |
превоз леђа |
|||
Точност ротације вртача: ± 1 рпм (50 рпм ~ 5000 рпм) |
||||
Минимална регулисање брзине ротације вртача: 1рпм |
||||
Максимално убрзање ротације ваљка: 20000 обрнова/с |
превоз леђа |
|||
Растећа рука: 1 сет |
||||
Развој цевовод: двонасочно (фан-облик/колонарна млазница) |
||||
Развијач филтрације: 0,2мм |
||||
Контрола температуре за развој: 23 ± 0,5 °C |
неопходно |
|||
Развојни опсег проток раствора: 100 ~ 1000 мл/мин |
||||
Режим покрета радне руке: фиксна тачка или скенирање |
||||
Рама за спој: 1 сет |
||||
Дионизована водна цевка: 1 коло |
||||
Дијаметар млазнице за дејонизовану воду: 4 мм (унутрашњи дијаметар) |
||||
Диапазон проток деонизоване воде: 100 ~ 1000 мл/мин |
||||
Трубопровод за сушење азота: 1 коло |
||||
Дијаметар азотне млазнице: 4 мм (унутрашњи дијаметар) |
||||
Диапазон проток азота: 5-50 л/мин |
||||
Развојник, дејонизована вода, мониторинг проток азота: пловилац протокмера |
||||
Пружање за повратни пливач: 2 пута (4/6 инча сваки са 1 каналом) |
||||
Контрола проток противплаве: протокмера за пловилац |
||||
Дијапазон протока течности за повратно прање: 20-200 мл/мин |
||||
Метода фиксације чипа: вакуумска адсорпција малог подручја |
||||
Аларм за притисак вакуума: дигитални сензор притиска вакуума |
||||
Материјал за чекирање: ППС |
||||
Материјал за чекирање: ППС |
||||
Материјал чаше: ПП |
||||
Мониторинг изгашања чаше: дигитални сензор притиска |
||||
7 |
Удружење за тактирање |
Количина: 2 |
неопходно |
|
Температурни опсег: собања температура ~ 180 °C |
||||
Уједноставност температуре: Собаска температура ~ 120 °C ± 0,75 °C 120,1°C~ 180°C ± 1,5°C (Одвуците 10 мм од ивице, осим за рупу за пин избацач) |
||||
Минимална количина прилагођавања: 0,1 °C |
||||
Метода контроле температуре: подешавање ПИД |
||||
ПИН опсег висине: 0-20mm |
||||
ПИН материјал: тело СУС304, ПИН капе ПИ |
||||
Пролаз за печење: 0,2 мм |
||||
Аларм за прегревање: аларм за позитивне и негативне одступања |
||||
Метод подајења: Бубрезирање, 10 ± 2 мл/мин |
||||
Вакуум за рад са камером: -5-20КПа |
||||
8 |
Уједиње за топле плоче |
Количина: 10 |
||
Температурни опсег: собања температура ~ 250 °C |
||||
Уједноставност температуре: Собаска температура ~ 120 °C ± 0,75 °C 120,1°C~ 180°C ± 1,5°C 180,1°C~ 250°C ± 2,0°C (Одвуците 10 мм од ивице, осим за рупу за пин избацач) |
||||
Минимална количина прилагођавања: 0,1 °C |
||||
Метода контроле температуре: подешавање ПИД |
||||
ПИН опсег висине: 0-20mm |
||||
ПИН материјал: тело СУС304, ПИН капе ПИ |
||||
Пролаз за печење: 0,2 мм |
||||
Аларм за прегревање: аларм за позитивне и негативне одступања |
||||
9 |
Уједиње за хладне плоче |
Количина: 2 |
||
Теплотни опсег: 15-25 °C |
||||
Метода хлађења: хлађење циркулационом пумпом на константној температури |
||||
10 |
Химијска снабдевања |
Фоторезистентно складиштење: пневматична помпа за лепило * 4 сета (опционални резервоар или електрична помпа за лепило) |
||
Объјекат додирирања лепила: максимум 12 мл по сесији, тачност ± 0,2 ml |
||||
Уколико је потребно, додајте број на прехрамбене резервоаре. |
||||
Узимање ивице/покривено прање/мониторинг нивоа течности РРЦ: фотоелектрички сензор |
||||
Мониторинг нивоа фоторезистивне течности: фотоелектрички сензор |
||||
Излазак уједначеног лијепца за лепило: резервоар за 10 л лијепце за лијепце |
||||
Добавка за програмера: резервоар под притиском од 18 л * 4 (Склађен у хемијском ормару изван машине) |
||||
Деионизована вода: фабричка директна снабдевања |
||||
Развој контроле нивоа течности: фотоелектрички сензор |
||||
Излазак отпада од градитеља: излазак фабричког отпада |
||||
Доставка таккифирача: 10Л резервоар под притиском * 1, 2Л резервоар под притиском * 1 |
||||
Контрола нивоа таккификера: фотоелектрички сензор |
||||
11 |
контролни систем |
Метода управљања: ПЛЦ |
||
Интерфејс за управљање човеком и машином: 17 инчни тач екран |
||||
Непрекидано снабдевање напајањем (UPS): Да |
||||
Поставите дозволе за шифровање за операторе уређаја, техничаре, администраторе |
||||
Тип сигналног торна: црвена, жута, зелена 3 боје |
||||
12 |
Индикатори поузданости система |
Увећавање брзине: ≥ 95% |
||
МТБФ: ≥ 500h |
||||
МТТР: ≤ 4h |
||||
МТБА: ≥ 24 часа |
||||
Стопа фрагментације: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Остале функције |
Желто светло: 4 сета (позиција: изнад јединице за мешање и развој лепила) |
||
ТХЦ: Да, 22,5 °C±0,5 °C, 45% ± 2% |
неопходно |
|||
ФФУ: Клас 100, 5 сета (процесна јединица и област РОБОТ) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
